[發明專利]檢查裝置及檢查方法

在審

• 申請號: 202110695969.5
• 申請日: 2021-06-23
• 公開（公告）號: CN113834812A
• 公開（公告）日: 2021-12-24
• 發明（設計）人: 河崎武士;藤井雅治
• 申請（專利權）人: JUKI株式會社
• 主分類號: G01N21/84
• 分類號: G01N21/84;G01N21/01
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 何立波;張天舒

1.一種檢查裝置，其具有：

工作臺，其對具有彎曲面的對象物進行支撐；

照明裝置，其通過照明光對支撐于所述工作臺的所述對象物進行照明；

拍攝裝置，其具有光學系統及圖像傳感器；

拍攝控制部，其使所述拍攝裝置對在所述光學系統的視野范圍配置的所述彎曲面的調整用圖像進行拍攝；以及

工作臺控制部，其將所述工作臺傾斜，對所述調整用圖像的亮度進行調整，

所述拍攝控制部在所述調整用圖像的亮度被調整后，使所述拍攝裝置對在所述視野范圍配置的所述彎曲面的檢查用圖像進行拍攝。

2.根據權利要求1所述的檢查裝置，其中，

所述工作臺控制部將所述工作臺傾斜，以使得構成所述調整用圖像的多個像素各自的亮度成為大于或等于亮度閾值。

3.根據權利要求1或2所述的檢查裝置，其中，

所述工作臺控制部將所述工作臺傾斜，以使得所述調整用圖像中的所述亮度的最大值和最小值的差成為小于或等于差分閾值。

4.根據權利要求1或2所述的檢查裝置，其中，

所述拍攝控制部在對所述調整用圖像的亮度被調整后的所述工作臺的傾斜度進行維持的狀態下，使所述拍攝裝置對所述檢查用圖像進行拍攝。

5.根據權利要求1或2所述的檢查裝置，其中，

所述照明裝置具有在所述光學系統的入射面的周圍配置的光源，

所述光源向與所述光學系統的光軸平行的方向射出所述照明光。

6.根據權利要求1或2所述的檢查裝置，其中，

所述對象物以所述彎曲面和所述拍攝裝置相對的方式支撐于所述工作臺，

所述彎曲面朝向所述拍攝裝置凸出，

在所述調整用圖像中存在所述亮度小于亮度閾值的第1區域和所述亮度大于或等于亮度閾值的第2區域的情況下，所述工作臺控制部將所述工作臺傾斜，以使得與所述第1區域相對應的所述彎曲面的第1部分接近所述拍攝裝置，或與所述第2區域相對應的所述彎曲面的第2部分從所述拍攝裝置遠離。

7.根據權利要求1或2所述的檢查裝置，其中，

所述對象物以所述彎曲面和所述拍攝裝置相對的方式支撐于所述工作臺，

所述彎曲面相對于所述拍攝裝置凹陷，

在所述調整用圖像中存在所述亮度小于亮度閾值的第1區域和所述亮度大于或等于亮度閾值的第2區域的情況下，所述工作臺控制部將所述工作臺傾斜，以使得與所述第1區域相對應的所述彎曲面的第1部分從所述拍攝裝置遠離，或與所述第2區域相對應的所述彎曲面的第2部分接近所述拍攝裝置。

8.根據權利要求1或2所述的檢查裝置，其中，

所述工作臺和所述拍攝裝置在與所述光學系統的光軸正交的方向能夠相對移動，

所述拍攝控制部在所述彎曲面的第1范圍的所述調整用圖像的亮度被調整后，使所述拍攝裝置對所述第1范圍的所述檢查用圖像進行拍攝，在所述彎曲面的第2范圍的所述調整用圖像的亮度被調整后，使所述拍攝裝置對所述第2范圍的所述檢查用圖像進行拍攝。

9.根據權利要求1或2所述的檢查裝置，其中，

具有使所述檢查用圖像在顯示裝置進行顯示的顯示控制部。

10.一種檢查方法，其包含下述步驟：

通過照明光對具有彎曲面的對象物進行照明；

對在拍攝裝置的光學系統的視野范圍配置的所述彎曲面的調整用圖像進行拍攝；

將所述對象物傾斜，對所述調整用圖像的亮度進行調整；以及

在所述調整用圖像的亮度被調整后，對在所述視野范圍配置的所述彎曲面的檢查用圖像進行拍攝。