[發(fā)明專利]一種反應爐的爐門結構及反應爐

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110694283.4
• 申請日: 2021-06-22
• 公開（公告）號: CN113418396B
• 公開（公告）日: 2023-05-16
• 發(fā)明（設計）人: 郝曉明;李建國;張旸
• 申請（專利權）人: 北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司
• 主分類號: F27D1/18
• 分類號: F27D1/18;F27D17/00;H01L21/67
• 代理公司: 北京思創(chuàng)畢升專利事務所 11218
• 代理人: 孫向民;廉莉莉

1.一種反應爐的爐門結構，所述反應爐包括工藝管和設置在所述工藝管開口端的廢氣收集裝置，所述爐門結構包括第一爐門(3)、第二爐門(5)和定位軸組件，所述第一爐門(3)用于密封所述廢氣收集裝置背離所述工藝管的端部，所述第二爐門(5)用于密封所述工藝管靠近所述廢氣收集裝置的端部，其特征在于，所述定位軸組件包括定位管(2)、石英桿(4)和套筒(6)；其中，

所述定位管(2)套設于所述石英桿(4)的一端；

所述石英桿(4)的另一端卡接于所述第二爐門(5)；

所述套筒(6)套設于所述石英桿(4)且位于所述定位管(2)和所述第二爐門(5)之間，所述套筒(6)彈性連接于所述定位管(2)，以與所述石英桿(4)的所述另一端夾緊所述第二爐門(5)，使所述第二爐門(5)始終保持豎直狀態(tài)；

所述第一爐門(3)設于所述定位管(2)的中部；

所述定位軸組件還包括第一彈性元件(7)，所述第一彈性元件(7)的兩端分別連接于所述定位管(2)和所述套筒(6)，用于向套筒(6)提供推力。

2.根據(jù)權利要求1所述的反應爐的爐門結構，其特征在于，所述定位管(2)內(nèi)設有沿軸向貫穿所述定位管(2)的階梯通孔，包括大徑孔段和小徑孔段，所述石英桿(4)穿過所述小徑孔段，所述套筒(6)插設于所述大徑孔段內(nèi)，所述第一彈性元件(7)套設于所述石英桿(4)，所述第一彈性元件(7)的兩端分別連接于所述大徑孔段的孔底和所述套筒(6)的端部。

3.根據(jù)權利要求2所述的反應爐的爐門結構，其特征在于，所述第二爐門(5)由石英制成，所述第二爐門(5)朝向所述石英桿(4)的表面設有葫蘆形孔，所述葫蘆形孔包括大孔和小孔，所述第二爐門(5)上設有與所述葫蘆形孔相對應的卡接槽(51)，所述石英桿(4)的另一端卡接于所述卡接槽(51)內(nèi)。

4.根據(jù)權利要求3所述的反應爐的爐門結構，其特征在于，所述石英桿(4)的所述另一端設有柱形的凸臺，所述石英桿(4)的所述凸臺能夠穿過所述大孔至所述卡接槽(51)內(nèi)并被所述小孔卡住。

5.根據(jù)權利要求4所述的反應爐的爐門結構，其特征在于，所述葫蘆形孔的所述大孔的直徑大于所述凸臺的外徑，所述小孔的直徑小于所述凸臺的外徑。

6.根據(jù)權利要求4所述的反應爐的爐門結構，其特征在于，所述套筒(6)為石英制成，所述套筒(6)的所述另一端設有軸肩，所述軸肩的端面與所述第二爐門(5)的表面緊密貼合。

7.根據(jù)權利要求6所述的反應爐的爐門結構，其特征在于，所述軸肩的外徑大于所述葫蘆形孔的所述小孔的直徑。

8.根據(jù)權利要求1所述的反應爐的爐門結構，其特征在于，所述第一爐門(3)和所述第二爐門(5)上均設有槳孔，用于連接所述反應爐的SIC槳(8)。

9.根據(jù)權利要求1所述的反應爐的爐門結構，其特征在于，所述定位軸組件還包括第二彈性元件(9)和定位圓板(10)，所述第二彈性元件(9)套設于所述定位管(2)的外壁，一端連接于所述定位管(2)的遠離所述第二爐門(5)的一端，另一端連接于所述第一爐門(3)，所述定位圓板(10)套設于所述定位管(2)的外壁且與所述第一爐門(3)朝向所述第二爐門(5)的表面相貼合。

10.根據(jù)權利要求1所述的反應爐的爐門結構，其特征在于，所述定位軸組件為一對，一對所述定位軸組件平行設置于所述反應爐的臺架(1)上。

11.一種反應爐，其特征在于，包括權利要求1-10中任一項所述的反應爐的爐門結構、工藝管和設置在所述工藝管開口端的廢氣收集裝置，所述第一爐門(3)用于密封所述廢氣收集裝置背離所述工藝管的一端，所述第二爐門(5)用于密封所述工藝管靠近所述廢氣收集裝置的一端。