[發明專利]一種反應爐的爐門結構及反應爐

有效

• 申請號: 202110694283.4
• 申請日: 2021-06-22
• 公開（公告）號: CN113418396B
• 公開（公告）日: 2023-05-16
• 發明（設計）人: 郝曉明;李建國;張旸
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: F27D1/18
• 分類號: F27D1/18;F27D17/00;H01L21/67
• 代理公司: 北京思創畢升專利事務所 11218
• 代理人: 孫向民;廉莉莉

本申請公開了一種反應爐的爐門結構及反應爐，反應爐包括工藝管和設置在工藝管開口端的廢氣收集裝置，爐門結構包括第一爐門、第二爐門和定位軸組件，第一爐門用于密封廢氣收集裝置背離工藝管的端部，第二爐門用于密封工藝管靠近廢氣收集裝置的端部，定位軸組件包括定位管、石英桿和套筒；其中，定位管套設于石英桿的一端，石英桿的另一端卡接于第二爐門；套筒套設于石英桿且位于定位管和第二爐門之間，套筒彈性連接于定位管，以與石英桿的另一端夾緊第二爐門，使第二爐門始終保持豎直狀態；第一爐門設于定位管的中部。本發明涉及的反應爐的爐門結構，可以使第二爐門在運動過程中始終保持豎直狀態，避免在第二爐門開啟與關閉過程中與SIC槳及石英桿的刮擦與碰撞。

技術領域

本發明屬于半導體技術領域，更具體地，涉及一種反應爐的爐門結構及反應爐。

背景技術

臥式擴散爐是半導體生產線上進行擴散工藝的重要工藝設備，主要由加熱爐體、石英管、氣路系統、取送料裝置等組成。帶爐門機構的懸臂推拉舟是反應爐的重要裝置，爐門機構用于密封石英管和氣路系統中的廢氣收集箱。如圖1所示，在將待加工的晶圓送入反應腔室的過程中，步進電機11通過螺旋傳動系統12驅動臺架1朝石英管方向做直線運動，固定于臺架1上的SIC槳8將裝載的硅片自動放入石英管14內，同時爐門機構13與石英管14接觸進而實現爐門關閉操作，待工藝進程結束后，懸臂推拉舟反向直線運動取出完成工藝流程的硅片，同時爐門隨懸臂推拉舟反向運動而開啟。

現有技術中，爐門機構包括金屬爐門和石英爐門，石英爐門通過孔軸配合安裝于與臺架1連接的石英桿上。爐門關閉和開啟的過程中，石英爐門接觸石英管14而沒有完全貼合時，石英爐門與豎直平面之間存在一定夾角，從而導致石英爐門與SIC槳以及石英桿發生刮擦與碰撞，造成零件磨損，壽命降低。

因此，需要設計一種新型的反應爐的爐門結構，能夠避免反應爐的爐門開啟過程中，石英爐門與SIC槳及石英桿發生刮擦與碰撞，提高爐門、石英桿及SIC槳的使用壽命。

發明內容

本發明的目的是提供一種反應爐的爐門結構及反應爐，能夠避免反應爐的爐門開啟過程中石英爐門與SIC槳及石英桿發生刮擦與碰撞，提高爐門、石英桿及SIC槳的使用壽命。

為了實現上述目的，本發明提供一種反應爐的爐門結構，所述反應爐包括連通的工藝管和設置在所述工藝管開口端的廢氣收集裝置，所述爐門結構包括第一爐門、第二爐門和定位軸組件，所述第一爐門用于密封所述廢氣收集裝置背離所述工藝管的端部，所述第二爐門用于密封所述工藝管靠近所述廢氣收集裝置的端部，所述定位軸組件包括定位管、石英桿和套筒；其中，

所述定位管套設于所述石英桿的一端；

所述石英桿的另一端卡接于所述第二爐門；

所述套筒套設于所述石英桿且位于所述定位管和所述第二爐門之間，所述套筒彈性連接于所述定位管，以與所述石英桿的所述另一端夾緊所述第二爐門；

所述第一爐門設于所述定位管的中部。

優選地，所述定位軸組件還包括第一彈性元件，所述定位管內設有沿軸向貫穿所述定位管的階梯通孔，包括大徑孔段和小徑孔段，所述石英桿穿過所述小徑孔段，所述套筒插設于所述大徑孔段內，所述第一彈性元件套設于所述石英桿，所述第一彈性元件的兩端分別連接于所述大徑孔段的孔底和所述套筒的端部。

優選地，所述第二爐門由石英制成，所述第二爐門朝向所述石英桿的表面設有葫蘆形孔，所述葫蘆形孔包括大孔和小孔，所述第二爐門上設有與所述葫蘆形孔相對應的卡接槽。

優選地，所述石英桿的所述另一端設有柱形的凸臺，所述石英桿的所述凸臺能夠穿過所述大孔至所述卡接槽內并被所述小孔卡住。

優選地，所述葫蘆形孔的所述大孔的直徑大于所述凸臺的外徑，所述小孔的直徑小于所述凸臺的外徑。