[發明專利]一種高側NMOSFET驅動器芯片研發用晶圓打磨設備

有效

• 申請號: 202110685334.7
• 申請日: 2021-06-21
• 公開（公告）號: CN113263435B
• 公開（公告）日: 2022-10-14
• 發明（設計）人: 楊躍瑾
• 申請（專利權）人: 深圳國融智能科技有限公司
• 主分類號: B24B37/00
• 分類號: B24B37/00;B24B37/11;B24B37/27;B24B37/34;B24B55/12
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種高側NMOSFET驅動器芯片研發用晶圓打磨設備，包括工作臺(11)，所述工作臺(11)端部中心處開設有矩形槽(12)，所述工作臺(11)側壁固定安裝有連接桿(13)，所述連接桿(13)端部固定安裝有第一電機(14)，所述第一電機(14)端部固定安裝有柱套(15)，其特征在于：所述柱套(15)遠離第一電機(14)的一側固定安裝有液壓桿(16)，所述液壓桿(16)內部貫穿設備有調節柱(17)，所述工作臺(11)側壁開設有第一條形槽(18)和第二條形槽(19)，所述第二條形槽(19)位于第一條形槽(18)下端；所述調節柱(17)表面套設有調節機構，所述調節機構包括螺紋套(21)，所述螺紋套(21)套設在調節柱(17)表面，所述調節柱(17)端部固定安裝有轉帽(22)，所述液壓桿(16)遠離柱套(15)的那側固定安裝有轉盤(23)，所述轉盤(23)側壁混勻等距開設有卡槽(24)，所述卡槽(24)內部設置有固定柱(25)，所述固定柱(25)表面套設有打磨套(26)，所述轉盤(23)遠離液壓桿(16)的那側固定安裝有擠壓柱(27)，所述擠壓柱(27)端部固定安裝有壓盤(28)；所述矩形槽(12)內壁固定安裝有緊固機構，所述緊固機構包括連接板(31)，所述連接板(31)固定安裝在矩形槽(12)內部，所述連接板(31)端部固定安裝有支撐柱(32)，所述支撐柱(32)端部固定安裝有限位盤(33)，所述限位盤(33)表面套設有放置板(34)，所述放置板(34)端部開設有圓槽(35)，所述圓槽(35)內壁開設有限位槽(36)，所述支撐柱(32)和限位盤(33)分別活動內設在圓槽(35)和限位槽(36)內部；

所述第一條形槽(18)內部設置有晃動機構；

所述晃動機構包括滑桿(41)，所述滑桿(41)設置在第一條形槽(18)內部，所述滑桿(41)端部側壁固定安裝有滑塊(42)，所述滑塊(42)端部固定安裝有第一活動柱(43)，所述第一活動柱(43)表面活動套設有弧形條(44)，所述弧形條(44)側壁開設有弧形槽(45)，所述第一活動柱(43)內設在位于上端的弧形槽(45)內部，所述弧形條(44)側壁中部內設有中心柱(46)，所述中心柱(46)與工作臺(11)相對的那面固定連接，所述第一活動柱(43)表面活動套設有第一轉桿(47)，所述第一轉桿(47)通過連接柱活動安裝有第二轉桿(48)，所述第二轉桿(48)側壁固定安裝有第二電機(49)；

兩根所述滑桿(41)相對的那面固定安裝有落料機構。

2.根據權利要求1所述的一種高側NMOSFET驅動器芯片研發用晶圓打磨設備，其特征在于：所述落料機構包括邊框(51)，兩個所述邊框(51)固定安裝在兩根滑桿(41)相對的那面上，兩個所述邊框(51)相背離的那面固定安裝有彈簧(52)，兩個所述邊框(51)之間固定安裝有第一傾斜板(53)和第二傾斜板(54)，所述第二傾斜板(54)位于第一傾斜板(53)后端，所述工作臺(11)底面設置有收集箱(55)。

3.根據權利要求1所述的一種高側NMOSFET驅動器芯片研發用晶圓打磨設備，其特征在于：兩個所述螺紋套(21)以調節柱(17)中點為中心點對稱設置，且兩個所述螺紋套(21)表面螺紋方向相反。

4.根據權利要求1所述的一種高側NMOSFET驅動器芯片研發用晶圓打磨設備，其特征在于：所述第二條形槽(19)內部設置與與第一條形槽(18)內壁相同的結構。