[發明專利]一種適用于柔性電子制造的雙翻轉頭芯片轉移裝置有效
| 申請號: | 202110684422.5 | 申請日: | 2021-06-21 |
| 公開(公告)號: | CN113410171B | 公開(公告)日: | 2022-10-14 |
| 發明(設計)人: | 楊躍瑾 | 申請(專利權)人: | 深圳國融智能科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/677 | 分類號: | H01L21/677;H01L21/683 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 518000 廣東省深圳市福田區福*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 適用于 柔性 電子 制造 轉頭 芯片 轉移 裝置 | ||
1.一種適用于柔性電子制造的雙翻轉頭芯片轉移裝置,包括主支架(1),所述主支架(1)上固定安裝有芯片傳輸管(11),其特征在于:所述主支架(1)上設置有芯片拿取裝置和芯片轉盤裝置,所述芯片轉盤裝置在芯片拿取裝置的下方;
所述芯片拿取裝置包括主驅動機構和輔轉機構,所述主驅動機構包括電動機一(12),所述電動機一(12)固定安裝在主支架(1)上,所述電動機一(12)的輸出軸上固定安裝有轉板一(13),所述轉板一(13)的端部固定安裝有轉桿一(14);
所述轉桿一(14)上水平轉動安裝有轉板二(15),所述轉板二(15)的端部固定安裝有拉桿(16),所述拉桿(16)的端部固定安裝有轉板三(17);
所述轉板三(17)的內側壁水平轉動安裝有轉桿二(18),所述轉桿二(18)的端部固定安裝有轉板四(19),所述轉板四(19)的端部固定安裝有轉桿三(2),所述轉桿三(2)水平轉動安裝在主支架(1)內;
所述輔轉機構包括轉板五(21),所述轉板五(21)的端部固定安裝有轉桿三(2),所述轉板五(21)的端部水平轉動安裝有轉桿四(22);
所述轉桿四(22)上固定安裝有吸附架(23),所述吸附架(23)上設有抽氣盤組件(27),所述吸附架(23)的端部固定安裝有上滑桿(24),所述上滑桿(24)上豎直滑動安裝有轉盒(25),所述轉盒(25)與主支架(1)之間水平轉動安裝有轉桿五(26);
所述芯片轉盤裝置包括主轉機構和反轉機構,所述主轉機構包括電動機二(3),所述電動機二(3)固定安裝在主支架(1)上,所述電動機二(3)的輸出軸上固定安裝有主轉桿(31)。
2.根據權利要求1所述的一種適用于柔性電子制造的雙翻轉頭芯片轉移裝置,其特征在于:所述主轉桿(31)上固定安裝有十字轉架(41),所述主轉桿(31)上固定安裝有齒輪一(32),所述主轉桿(31)的端部固定安裝有上轉盤(42)。
3.根據權利要求2所述的一種適用于柔性電子制造的雙翻轉頭芯片轉移裝置,其特征在于:所述反轉機構包括轉桿六(34),所述轉桿六(34)豎直轉動安裝在十字轉架(41)上,所述轉桿六(34)上固定安裝有齒輪三(35),所述轉桿六(34)的端部固定安裝有齒輪二(33),所述齒輪二(33)與齒輪一(32)相配合。
4.根據權利要求3所述的一種適用于柔性電子制造的雙翻轉頭芯片轉移裝置,其特征在于:所述十字轉架(41)上豎直轉動安裝有轉桿七(38),所述轉桿七(38)上固定安裝有齒輪四(37),所述齒輪四(37)與齒輪三(35)之間安裝有傳輸履帶(36),所述轉桿七(38)的端部固定安裝有固定盒(4)。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





