[發(fā)明專利]一種適用于柔性電子制造的雙翻轉(zhuǎn)頭芯片轉(zhuǎn)移裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110684422.5
• 申請(qǐng)日: 2021-06-21
• 公開（公告）號(hào): CN113410171B
• 公開（公告）日: 2022-10-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊躍瑾
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳國融智能科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/677
• 分類號(hào): H01L21/677;H01L21/683
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發(fā)明公開了一種適用于柔性電子制造的雙翻轉(zhuǎn)頭芯片轉(zhuǎn)移裝置，包括主支架，所述主支架上固定安裝有芯片傳輸管，所述主支架上設(shè)置有芯片拿取裝置和芯片轉(zhuǎn)盤裝置，所述芯片轉(zhuǎn)盤裝置在芯片拿取裝置的下方，所述芯片拿取裝置包括主驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和輔轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，所述主驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括電動(dòng)機(jī)一，所述電動(dòng)機(jī)一固定安裝在主支架上，通過齒輪三旋轉(zhuǎn)通過傳輸履帶帶動(dòng)齒輪四旋轉(zhuǎn)，齒輪四旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)轉(zhuǎn)桿七旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)桿七在十字轉(zhuǎn)架上旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)桿七旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)固定盒旋轉(zhuǎn)，此時(shí)固定盒在隨著十字轉(zhuǎn)架做圓周旋轉(zhuǎn)時(shí)，自身也在旋轉(zhuǎn)，且四個(gè)固定盒在旋轉(zhuǎn)到吸附架下方時(shí)，方向總是一致，有效接收芯片，防止因固定盒方向錯(cuò)位，導(dǎo)致芯片放置不穩(wěn)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種適用于柔性電子制造的雙翻轉(zhuǎn)頭芯片轉(zhuǎn)移裝置技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種適用于柔性電子制造的雙翻轉(zhuǎn)頭芯片轉(zhuǎn)移裝置。

背景技術(shù)

集成電路英語：integrated circuit，縮寫作IC；或稱微電路(microcircuit)、微芯片(microchip)、晶片/芯片(chip)在電子學(xué)中是一種將電路(主要包括半導(dǎo)體設(shè)備，也包括被動(dòng)組件等)小型化的方式，并時(shí)常制造在半導(dǎo)體晶圓表面上

如中國專利公開了“芯片轉(zhuǎn)移裝置”，公開號(hào)：CN110349897A，通過可調(diào)節(jié)的第一支撐部以調(diào)節(jié)用于吸附芯片的彈性體的半徑，達(dá)到了調(diào)整芯片之間間距的作用，解決現(xiàn)有芯片巨量轉(zhuǎn)移問題，實(shí)現(xiàn)了提高轉(zhuǎn)移效率和降低轉(zhuǎn)移成本的效果，同時(shí)還實(shí)現(xiàn)了芯片轉(zhuǎn)移時(shí)的密度調(diào)整，但是該芯片轉(zhuǎn)移裝置具有一下缺點(diǎn)：

(1)由于不同生產(chǎn)線的位置不同，在將芯片進(jìn)行轉(zhuǎn)移時(shí)，該芯片轉(zhuǎn)移裝置，無法將芯片大角度旋轉(zhuǎn)進(jìn)行轉(zhuǎn)移。

(2)由于芯片本身較為脆弱，該芯片轉(zhuǎn)移裝置在進(jìn)行芯片轉(zhuǎn)移時(shí)，采用直線流水線轉(zhuǎn)移，芯片可能會(huì)因存放不當(dāng)，導(dǎo)致芯片損壞。

(3)該芯片轉(zhuǎn)移裝置，在對(duì)芯片進(jìn)行放置時(shí)，無法使芯片每次放置時(shí)位置相同，導(dǎo)致芯片容易出現(xiàn)錯(cuò)位，導(dǎo)致轉(zhuǎn)移失敗。

實(shí)用發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種適用于柔性電子制造的雙翻轉(zhuǎn)頭芯片轉(zhuǎn)移裝置，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種適用于柔性電子制造的雙翻轉(zhuǎn)頭芯片轉(zhuǎn)移裝置，包括主支架，所述主支架上固定安裝有芯片傳輸管，所述主支架上設(shè)置有芯片拿取裝置和芯片轉(zhuǎn)盤裝置，所述芯片轉(zhuǎn)盤裝置在芯片拿取裝置的下方，所述芯片拿取裝置包括主驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和輔轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，所述主驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括電動(dòng)機(jī)一，所述電動(dòng)機(jī)一固定安裝在主支架上，所述電動(dòng)機(jī)一的輸出軸上固定安裝有轉(zhuǎn)板一，所述轉(zhuǎn)板一的端部固定安裝有轉(zhuǎn)桿一。

優(yōu)選的，所述轉(zhuǎn)桿一上水平轉(zhuǎn)動(dòng)安裝有轉(zhuǎn)板二，所述轉(zhuǎn)板二的端部固定安裝有拉桿，所述拉桿的端部固定安裝有轉(zhuǎn)板三，所述轉(zhuǎn)板三的內(nèi)側(cè)壁水平轉(zhuǎn)動(dòng)安裝有轉(zhuǎn)桿二，所述轉(zhuǎn)桿二的端部固定安裝有轉(zhuǎn)板四，所述轉(zhuǎn)板四的端部固定安裝有轉(zhuǎn)桿三，所述轉(zhuǎn)桿三水平轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在主支架內(nèi)。

優(yōu)選的，所述輔轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括轉(zhuǎn)板五，所述轉(zhuǎn)板五的端部固定安裝有轉(zhuǎn)桿三，所述轉(zhuǎn)板五的端部水平轉(zhuǎn)動(dòng)安裝有轉(zhuǎn)桿四，所述轉(zhuǎn)桿四上固定安裝有吸附架，所述吸附架上設(shè)有抽氣盤組件，所述吸附架的端部固定安裝有上滑桿，所述上滑桿上豎直滑動(dòng)安裝有轉(zhuǎn)盒，所述轉(zhuǎn)盒與主支架之間水平轉(zhuǎn)動(dòng)安裝有轉(zhuǎn)桿五。

優(yōu)選的，所述芯片轉(zhuǎn)盤裝置包括主轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和反轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，所述主轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括電動(dòng)機(jī)二，所述電動(dòng)機(jī)二固定安裝在主支架上，所述電動(dòng)機(jī)二的輸出軸上固定安裝有主轉(zhuǎn)桿，所述主轉(zhuǎn)桿上固定安裝有十字轉(zhuǎn)架，所述主轉(zhuǎn)桿上固定安裝有齒輪一，所述主轉(zhuǎn)桿的端部固定安裝有上轉(zhuǎn)盤。

優(yōu)選的，所述反轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括轉(zhuǎn)桿六，所述轉(zhuǎn)桿六豎直轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在十字轉(zhuǎn)架上，所述轉(zhuǎn)桿六上固定安裝有齒輪三，所述轉(zhuǎn)桿六的端部固定安裝有齒輪二，所述齒輪二與齒輪一相配合，所述十字轉(zhuǎn)架上豎直轉(zhuǎn)動(dòng)安裝有轉(zhuǎn)桿七，所述轉(zhuǎn)桿七上固定安裝有齒輪四，所述齒輪四與齒輪三之間安裝有傳輸履帶，所述轉(zhuǎn)桿七的端部固定安裝有固定盒。

本發(fā)明具有的有益效果是：