[發(fā)明專利]智能型坐標轉(zhuǎn)換校正方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110680060.2
• 申請日: 2017-11-07
• 公開（公告）號: CN113361225A
• 公開（公告）日: 2021-09-07
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 呂一云
• 申請（專利權(quán)）人: 敖翔科技股份有限公司
• 主分類號: G06F30/392
• 分類號: G06F30/392;G06F30/398;H01L21/66
• 代理公司: 上海申新律師事務(wù)所 31272
• 代理人: 董科

1.一種智能型坐標轉(zhuǎn)換校正方法，由坐標轉(zhuǎn)換校正系統(tǒng)來執(zhí)行，所述坐標轉(zhuǎn)換校正系統(tǒng)包括數(shù)據(jù)處理裝置及存儲裝置，其特征在于，所述智能型坐標轉(zhuǎn)換校正方法包括：

提供設(shè)計布局圖，并儲存于所述存儲裝置中，所述設(shè)計布局圖中配置復(fù)數(shù)條線路；

執(zhí)行晶圓制造程序，是于半導(dǎo)體廠根據(jù)所述設(shè)計布局圖將所述線路形成在晶圓上；

執(zhí)行晶圓缺陷掃描，是通過缺陷檢測機臺掃描所述晶圓以取得缺陷掃描數(shù)據(jù)，并將所述缺陷掃描數(shù)據(jù)經(jīng)過所述數(shù)據(jù)處理裝置處理成缺陷文字及影像數(shù)據(jù)文件后，儲存于所述存儲裝置中，其中，所述缺陷文字及影像數(shù)據(jù)文件包含所述晶圓上的多個缺陷數(shù)據(jù)，而各所述缺陷數(shù)據(jù)至少包括缺陷坐標、缺陷尺寸、缺陷面積及缺陷影像的圖案的強度值；

所述數(shù)據(jù)處理裝置調(diào)整單位尺寸，是將所述缺陷影像的單位尺寸及所述設(shè)計布局圖的單位尺寸調(diào)整成一致；

所述數(shù)據(jù)處理裝置執(zhí)行坐標轉(zhuǎn)換程序，是由所述數(shù)據(jù)處理裝置自所述缺陷文字及影像數(shù)據(jù)文件中，取得所述缺陷影像的圖案的缺陷坐標(X₁,Y₁)，并根據(jù)所述缺陷坐標(X₁,Y₁)轉(zhuǎn)換至所述設(shè)計布局圖中所述線路的相對坐標作為第一坐標(X₂,Y₂)；及

所述數(shù)據(jù)處理裝置執(zhí)行坐標校正程序，包括:

用戶執(zhí)行手動比對所述缺陷影像的圖案與所述設(shè)計布局圖中所述線路的圖案，以手動方式將所述缺陷影像的位置在所述設(shè)計布局圖的所述線路上相對的位置標示出新的坐標作為第二坐標(X₂’,Y₂’)；

所述數(shù)據(jù)處理裝置取得校正后的坐標偏差量，是當所述設(shè)計布局圖上的所述第一坐標(X₂,Y₂)與所述第二坐標(X₂’,Y₂’)不在同一個坐標位置時，可以由所述數(shù)據(jù)處理中心取得所述校正后的坐標偏差量(X₂’-X₂,Y₂’-Y₂)，所述校正后的坐標偏差量(X₂’-X₂,Y₂’-Y₂)包括經(jīng)過統(tǒng)計分析的平均坐標精度值及坐標精度的標準偏差值；及

將所述平均坐標精度值及所述坐標精度的標準偏差值導(dǎo)入所述坐標轉(zhuǎn)換校正系統(tǒng)，為了基于所述校正后的坐標偏差量(X₂’-X₂,Y₂’-Y₂)將所述缺陷坐標(X₁,Y₁)校正至所述第二坐標(X₂’,Y₂’)。

2.如權(quán)利要求1所述的智能型坐標轉(zhuǎn)換校正方法，其特征在于，所述手動方式包括在顯示器屏幕上進行比對、統(tǒng)計，及在所述顯示器屏幕上將所述缺陷影像的圖案及所述設(shè)計布局圖的所述線路執(zhí)行坐標對準。