[發(fā)明專(zhuān)利]一種多通道節(jié)能型半導(dǎo)體溫控裝置及半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110678964.1
• 申請(qǐng)日: 2021-06-18
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113433983A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-09-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 胡文達(dá);芮守禎;曹小康;靳李富;劉紫陽(yáng);馮濤;宋朝陽(yáng);李文博
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 北京京儀自動(dòng)化裝備技術(shù)股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G05D23/20
• 分類(lèi)號(hào): G05D23/20;F25B1/00;F25B43/00
• 代理公司: 北京路浩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002
• 代理人: 張建利

本發(fā)明提供一種多通道節(jié)能型半導(dǎo)體溫控裝置及半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備，涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，多通道節(jié)能型半導(dǎo)體溫控裝置包括制冷系統(tǒng)和至少兩個(gè)循環(huán)系統(tǒng)，所述循環(huán)系統(tǒng)的入口與對(duì)應(yīng)的所述第二換熱器的第二出口連通，所述循環(huán)系統(tǒng)的出口與對(duì)應(yīng)的所述第二換熱器的第二入口連通。本發(fā)明提供的多通道節(jié)能型半導(dǎo)體溫控裝置，通過(guò)制冷系統(tǒng)可使循環(huán)介質(zhì)的溫度降低至?45℃；升溫過(guò)程利用壓縮機(jī)排出的高溫氣體進(jìn)入第二換熱器進(jìn)行熱量交換，使得循環(huán)介質(zhì)迅速升溫，降低能源消耗；由于多個(gè)循環(huán)系統(tǒng)與一個(gè)制冷系統(tǒng)進(jìn)行熱量交換，減小了溫控裝置的體積，每個(gè)循環(huán)系統(tǒng)都可單獨(dú)控制溫度。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種多通道節(jié)能型半導(dǎo)體溫控裝置及半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體溫控裝置作為生產(chǎn)半導(dǎo)體的輔助設(shè)備，在晶圓的制作過(guò)程中起著至關(guān)重要的作用，隨著產(chǎn)線(xiàn)數(shù)量的增加，附屬設(shè)備的占地和能耗問(wèn)題也是眼下的大難題，此外，負(fù)載在晶圓的制程工藝中要求保持恒定的溫度輸出，同時(shí)對(duì)于降溫和加載條件下的控溫也有很高要求。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明提供一種多通道節(jié)能型半導(dǎo)體溫控裝置及半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備，用以解決現(xiàn)有的溫控設(shè)備存在能耗高、占用空間大和溫控精度低的問(wèn)題。

本發(fā)明提供一種多通道節(jié)能型半導(dǎo)體溫控裝置，包括：

制冷系統(tǒng)，包括第一換熱器、壓縮機(jī)、至少兩個(gè)第二換熱器和至少兩個(gè)控制閥組，所述控制閥組包括第一控制閥和第二控制閥，所述第一換熱器的第一入口和第一出口分別與冷卻水循環(huán)管路連通，所述第一換熱器的第二出口與所述第一控制閥的第一接口連通；所述壓縮機(jī)的出口分別與所述第一換熱器的第二入口、所述第二控制閥的第一接口連通，所述壓縮機(jī)的入口與所述第二換熱器的第一出口連通；所述第二換熱器的第一入口分別與所述第一控制閥的第二接口、所述第二控制閥的第二接口連通；

至少兩個(gè)循環(huán)系統(tǒng)，所述循環(huán)系統(tǒng)的入口與對(duì)應(yīng)的所述第二換熱器的第二出口連通，所述循環(huán)系統(tǒng)的出口與對(duì)應(yīng)的所述第二換熱器的第二入口連通。

根據(jù)本發(fā)明提供的一種多通道節(jié)能型半導(dǎo)體溫控裝置，所述制冷系統(tǒng)還包括：

氣液分離裝置，所述氣液分離裝置的入口與所述第二換熱器的第一出口連通，所述氣液分離裝置的出口與所述壓縮機(jī)的入口連通。

根據(jù)本發(fā)明提供的一種多通道節(jié)能型半導(dǎo)體溫控裝置，所述氣液分離裝置為氣液分離器。

根據(jù)本發(fā)明提供的一種多通道節(jié)能型半導(dǎo)體溫控裝置，所述制冷系統(tǒng)還包括：

儲(chǔ)液器，所述儲(chǔ)液器的入口與所述第一換熱器的第二出口連通，所述儲(chǔ)液器的出口與所述第一控制閥的第一接口連通。

根據(jù)本發(fā)明提供的一種多通道節(jié)能型半導(dǎo)體溫控裝置，所述控制閥組還包括：

第三控制閥，所述第三控制閥的第一接口與所述氣液分離裝置的入口連通，所述第三控制閥的第二接口與所述第二換熱器的第一出口連通。

根據(jù)本發(fā)明提供的一種多通道節(jié)能型半導(dǎo)體溫控裝置，所述循環(huán)系統(tǒng)包括：緩沖箱、循環(huán)泵、加熱裝置和第一溫度傳感器，所述緩沖箱的入口與對(duì)應(yīng)的所述第二換熱器的第二出口連通，所述緩沖箱的出口與所述循環(huán)泵的入口連通，所述循環(huán)泵的出口與對(duì)應(yīng)的負(fù)載的入口連通，所述負(fù)載的出口與對(duì)應(yīng)的所述第二換熱器的第二入口連通；所述加熱裝置用于加熱進(jìn)入所述緩沖箱內(nèi)的介質(zhì)，所述第一溫度傳感器用于檢測(cè)進(jìn)入所述負(fù)載中介質(zhì)的溫度。

根據(jù)本發(fā)明提供的一種多通道節(jié)能型半導(dǎo)體溫控裝置，所述加熱裝置為加熱桶，所述加熱桶設(shè)置于所述緩沖箱。

根據(jù)本發(fā)明提供的一種多通道節(jié)能型半導(dǎo)體溫控裝置，所述循環(huán)系統(tǒng)還包括：

第二溫度傳感器，所述第二溫度傳感器設(shè)置于所述緩沖箱的入口。

根據(jù)本發(fā)明提供的一種多通道節(jié)能型半導(dǎo)體溫控裝置，所述負(fù)載為刻蝕工藝設(shè)備。