[發(fā)明專利]一種多通道節(jié)能型半導(dǎo)體溫控裝置及半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備

在審

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• 申請日: 2021-06-18
• 公開（公告）號: CN113433983A
• 公開（公告）日: 2021-09-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 胡文達(dá);芮守禎;曹小康;靳李富;劉紫陽;馮濤;宋朝陽;李文博
• 申請（專利權(quán)）人: 北京京儀自動化裝備技術(shù)股份有限公司
• 主分類號: G05D23/20
• 分類號: G05D23/20;F25B1/00;F25B43/00
• 代理公司: 北京路浩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002
• 代理人: 張建利

1.一種多通道節(jié)能型半導(dǎo)體溫控裝置，其特征在于，包括：

制冷系統(tǒng)，包括第一換熱器、壓縮機(jī)、至少兩個第二換熱器和至少兩個控制閥組，所述控制閥組包括第一控制閥和第二控制閥，所述第一換熱器的第一入口和第一出口分別與冷卻水循環(huán)管路連通，所述第一換熱器的第二出口與所述第一控制閥的第一接口連通；所述壓縮機(jī)的出口分別與所述第一換熱器的第二入口、所述第二控制閥的第一接口連通，所述壓縮機(jī)的入口與所述第二換熱器的第一出口連通；所述第二換熱器的第一入口分別與所述第一控制閥的第二接口、所述第二控制閥的第二接口連通；

至少兩個循環(huán)系統(tǒng)，所述循環(huán)系統(tǒng)的入口與對應(yīng)的所述第二換熱器的第二出口連通，所述循環(huán)系統(tǒng)的出口與對應(yīng)的所述第二換熱器的第二入口連通。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多通道節(jié)能型半導(dǎo)體溫控裝置，其特征在于，所述制冷系統(tǒng)還包括：

氣液分離裝置，所述氣液分離裝置的入口與所述第二換熱器的第一出口連通，所述氣液分離裝置的出口與所述壓縮機(jī)的入口連通。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的多通道節(jié)能型半導(dǎo)體溫控裝置，其特征在于，所述氣液分離裝置為氣液分離器。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任意一項所述的多通道節(jié)能型半導(dǎo)體溫控裝置，其特征在于，所述制冷系統(tǒng)還包括：

儲液器，所述儲液器的入口與所述第一換熱器的第二出口連通，所述儲液器的出口與所述第一控制閥的第一接口連通。

5.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的多通道節(jié)能型半導(dǎo)體溫控裝置，其特征在于，所述控制閥組還包括：

第三控制閥，所述第三控制閥的第一接口與所述氣液分離裝置的入口連通，所述第三控制閥的第二接口與所述第二換熱器的第一出口連通。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任意一項所述的多通道節(jié)能型半導(dǎo)體溫控裝置，其特征在于，所述循環(huán)系統(tǒng)包括：緩沖箱、循環(huán)泵、加熱裝置和第一溫度傳感器，所述緩沖箱的入口與對應(yīng)的所述第二換熱器的第二出口連通，所述緩沖箱的出口與所述循環(huán)泵的入口連通，所述循環(huán)泵的出口與對應(yīng)的負(fù)載的入口連通，所述負(fù)載的出口與對應(yīng)的所述第二換熱器的第二入口連通；所述加熱裝置用于加熱進(jìn)入所述緩沖箱內(nèi)的介質(zhì)，所述第一溫度傳感器用于檢測進(jìn)入所述負(fù)載中介質(zhì)的溫度。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的多通道節(jié)能型半導(dǎo)體溫控裝置，其特征在于，所述加熱裝置為加熱桶，所述加熱桶設(shè)置于所述緩沖箱。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的多通道節(jié)能型半導(dǎo)體溫控裝置，其特征在于，所述循環(huán)系統(tǒng)還包括：

第二溫度傳感器，所述第二溫度傳感器設(shè)置于所述緩沖箱的入口。

9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的多通道節(jié)能型半導(dǎo)體溫控裝置，其特征在于，所述負(fù)載為刻蝕工藝設(shè)備。

10.一種半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備，其特征在于，所述半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備包括權(quán)利要求1至9中任意一項所述的多通道節(jié)能型半導(dǎo)體溫控裝置。