[發(fā)明專利]一種精密金屬掩膜版張網(wǎng)拉伸精確度檢測方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110677014.7
• 申請日: 2021-06-18
• 公開（公告）號(hào): CN113295093B
• 公開（公告）日: 2023-06-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 錢超;楊柯;牛恩眾;余強(qiáng)根
• 申請（專利權(quán)）人: 常州高光半導(dǎo)體材料有限公司
• 主分類號(hào): G01B11/00
• 分類號(hào): G01B11/00;C23C14/04;C23C14/24;H10K71/16
• 代理公司: 南京天華專利代理有限責(zé)任公司 32218
• 代理人: 徐冬濤

本發(fā)明提供一種精密金屬掩膜版張網(wǎng)拉伸精確度檢測方法，本發(fā)明方法在拉伸前的掩膜版上設(shè)置激光標(biāo)記點(diǎn)，通過實(shí)際點(diǎn)與理論點(diǎn)之間的距離來檢測是否合格，可以在掩膜版用于蒸鍍之前對(duì)掩膜版張網(wǎng)精確度進(jìn)行檢測，防止掩膜版投入使用后才發(fā)現(xiàn)張網(wǎng)不合格導(dǎo)致的蒸鍍材料以及設(shè)備使用的能源浪費(fèi)，而且本發(fā)明方法操作簡單，檢測效率高。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于掩膜版技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種精密金屬掩膜版張網(wǎng)拉伸精確度檢測方法。

背景技術(shù)

有機(jī)發(fā)光二極管(OLED，Organic?Light?Emitting?Diode)顯示是一種應(yīng)用在平板顯示領(lǐng)域的新技術(shù)，因其具有包括廣視角、廣色域、高對(duì)比度、低功耗等優(yōu)點(diǎn)，近年來發(fā)展迅速并已成功量產(chǎn)。

在生產(chǎn)OLED顯示屏的過程中，多層金屬材料、無機(jī)材料或有機(jī)材料需采用蒸鍍的方式逐層沉積到玻璃基板上。在蒸鍍制程中，金屬掩膜版被用來遮擋待蒸鍍的玻璃基板以形成特定圖案，金屬掩膜版可以分為普通金屬掩膜版(Common?Metal?Mask，縮寫：CMM)和高精度的精細(xì)金屬掩膜版(Fine?Metal?Mask，縮寫：FMM)，分別用于不同膜層的沉積。在蒸鍍前，需要使用張網(wǎng)設(shè)備將網(wǎng)格狀的CMM或多張條狀的FMM對(duì)位并焊接到金屬掩膜版框架上，這種工藝被稱為張網(wǎng)工藝。在張網(wǎng)過程中，為了保證各發(fā)光層能夠被蒸鍍在玻璃基板正確的位置上，張網(wǎng)過程中需要對(duì)CMM或FMM的每個(gè)端部施加一定的拉力并使得其上的每一個(gè)標(biāo)記點(diǎn)都對(duì)位到需求的精度規(guī)格內(nèi)，然后將其焊接到掩膜框架上。

然而金屬掩膜版的本身材質(zhì)制作不均勻和張網(wǎng)機(jī)張網(wǎng)拉力不均勻因素都會(huì)導(dǎo)致掩膜版上的內(nèi)部特定圖案發(fā)生畸變或者相對(duì)位置發(fā)生變化，也就會(huì)導(dǎo)致蒸鍍不良率大大提升，所以在將掩膜版用于蒸鍍之前需要對(duì)張網(wǎng)后的掩膜版進(jìn)行精度檢測。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是針對(duì)上述問題，提供一種精密金屬掩膜版張網(wǎng)拉伸精確度檢測方法，包括以下步驟：

S1：在精密掩膜版的兩側(cè)長邊中點(diǎn)對(duì)稱焊接有校準(zhǔn)點(diǎn)；

S2：以兩個(gè)校準(zhǔn)點(diǎn)的中點(diǎn)為原點(diǎn)建立直角坐標(biāo)系，將掩膜版分割成四個(gè)象限塊；

S3：在四個(gè)象限塊內(nèi)選取四個(gè)激光標(biāo)記點(diǎn)a，b，c，d；

S4：計(jì)算激光標(biāo)記點(diǎn)a，b，c，d的拉伸后理論點(diǎn)A1，B1，C1，D1；

S5：檢測并獲取四個(gè)激光標(biāo)記點(diǎn)a，b，c，d在拉伸后的掩膜版實(shí)際位置點(diǎn)A2，B2，C2，D2坐標(biāo)；

S6：設(shè)定誤差閾值μ，分別計(jì)算實(shí)際位置點(diǎn)A2，B2，C2，D2與對(duì)應(yīng)的理論點(diǎn)A1，B1，C1，D1的絕對(duì)距離L；

S7：所有點(diǎn)的絕對(duì)距離L都小于誤差閾值μ時(shí)，則為合格。

進(jìn)一步的，所述S4具體包括：記錄掩膜版1拉伸前的長邊長度E₁和拉伸后的長邊長度E₂，計(jì)算長邊長度E₁與長邊長度E₂的比例系數(shù)記錄掩膜版1拉伸前的寬邊長度F₁和拉伸后的寬邊長度F₂，計(jì)算寬邊長度F₁與寬邊長度F₂的比例系數(shù)β，設(shè)激光標(biāo)記點(diǎn)a坐標(biāo)為(x，y)，則拉伸后理論點(diǎn)A1的坐標(biāo)則為

進(jìn)一步的，所述步驟S1中焊接的校準(zhǔn)點(diǎn)在檢測完畢后需要切除。

進(jìn)一步的，所述激光標(biāo)記點(diǎn)a，b，c，d依次兩兩關(guān)于坐標(biāo)軸對(duì)稱，設(shè)置對(duì)稱主要是為了反映拉力不均勻區(qū)域以及起到對(duì)比的作用。

進(jìn)一步的，所述誤差閾值μ為30μm。

與現(xiàn)有的技術(shù)相比具有以下有益效果：