[發明專利]一種精密金屬掩膜版張網拉伸精確度檢測方法

有效

• 申請號: 202110677014.7
• 申請日: 2021-06-18
• 公開（公告）號: CN113295093B
• 公開（公告）日: 2023-06-09
• 發明（設計）人: 錢超;楊柯;牛恩眾;余強根
• 申請（專利權）人: 常州高光半導體材料有限公司
• 主分類號: G01B11/00
• 分類號: G01B11/00;C23C14/04;C23C14/24;H10K71/16
• 代理公司: 南京天華專利代理有限責任公司 32218
• 代理人: 徐冬濤

1.一種精密金屬掩膜版張網拉伸精確度檢測方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1：在精密掩膜版的兩側長邊中點對稱焊接有校準點(3)；所述校準點(3)在檢測完畢后需要切除；

S2：以兩個校準點(3)的中點為原點建立直角坐標系，將掩膜版(1)分割成四個象限塊；

S3：在四個象限塊內選取四個激光標記點a，b，c，d；所述激光標記點a，b，c，d依次兩兩關于坐標軸對稱；

S4：計算激光標記點a，b，c，d的拉伸后理論點A₁，B₁，C₁，D₁；所述S4具體包括：記錄掩膜版(1)拉伸前的長邊長度E₁和拉伸后的長邊長度E₂，計算長邊長度E₁與長邊長度E₂的比例系數為記錄掩膜版(1)拉伸前的寬邊長度F₁和拉伸后的寬邊長度F₂，計算寬邊長度F₁與寬邊長度F₂的比例系數β，設激光標記點a坐標為(x,y)，則拉伸后理論點A₁的坐標則為

S5：檢測并獲取四個激光標記點a，b，c，d在拉伸后的掩膜版(1)實際位置點A₂，B₂，C₂，D₂坐標；

S6：設定誤差閾值μ為30μm，分別計算實際位置點A₂，B₂，C₂，D₂與對應的理論點A₁，B₁，C₁，D₁的絕對距離L；

S7：所有點的絕對距離L都小于誤差閾值μ時，則為合格。