[發明專利]一種微電子機械系統MEMS加速度計

在審

• 申請號: 202110675416.3
• 申請日: 2021-06-18
• 公開（公告）號: CN113387320A
• 公開（公告）日: 2021-09-14
• 發明（設計）人: 王福杰;秦毅;郭芳;任斌;姜鳴;胡耀華;姚智偉
• 申請（專利權）人: 東莞理工學院
• 主分類號: B81B7/02
• 分類號: B81B7/02;B81B7/00
• 代理公司: 北京欣鼎專利代理事務所(普通合伙) 11834
• 代理人: 王陽虹

1.一種微電子機械系統MEMS加速度計，包括底板(1)和MSME加速度計本體(2)，所述MSME加速度計本體(2)設置于底板(1)的上端，其特征在于，所述底板(1)的上端設有殼體(3)，所述殼體(3)的下端與底板(1)靠近左右兩側的上端活動卡接，所述底板(1)的上端設有若干上下連通的接線通孔(4)，所述殼體(3)靠近頂面的內壁上設有電磁屏蔽件，所述殼體(3)的頂面上設有散熱防塵機構。

2.根據權利要求1所述的一種微電子機械系統MEMS加速度計，其特征在于，所述底板(1)的上端固定連接有矩形環狀凸起(5)，所述MSME加速度計本體(2)插設于矩形環狀凸起(5)內，所述矩形環狀凸起(5)與底板(1)呈一體化成型設置。

3.根據權利要求1所述的一種微電子機械系統MEMS加速度計，其特征在于，所述殼體(3)的下端固定連接有矩形環狀墊圈(6)，所述矩形環狀墊圈(6)的下端與底板(1)的上端相抵接觸，若干所述接線通孔(4)的環形內壁上均固定連接有兩塊扇形擋塵片(7)。

4.根據權利要求3所述的一種微電子機械系統MEMS加速度計，其特征在于，所述殼體(3)位于左右兩側的下端均固定連接有固定塊(8)，兩塊所述固定塊(8)均貫穿矩形環狀墊圈(6)設置，所述底板(1)內設有兩個腔室(9)，兩個所述腔室(9)分別位于兩塊固定塊(8)的下方，兩塊所述固定塊(8)分別貫穿兩個腔室(9)的頂面設置，兩塊所述固定塊(8)位于腔室(9)內的相對側壁上均設有限位卡槽(10)，兩個所述腔室(9)遠離接線通孔(4)的內壁上均水平貫穿設有勾型卡塊(11)，兩塊所述勾型卡塊(11)分別插設于兩個限位卡槽(10)內，兩個所述腔室(9)的相對內壁上均固定連接有壓力彈簧(12)，所述壓力彈簧(12)遠離腔室(9)內壁的一端與勾型卡塊(11)固定連接。

5.根據權利要求3所述的一種微電子機械系統MEMS加速度計，其特征在于，所述電磁屏蔽件包括分別固定連接于殼體(3)左右兩側內壁上的兩塊限位片(13)，若干所述限位片(13)之間呈兩兩相對設置，且靠近殼體(3)的頂面設置，若干所述限位片(13)之間插設有同一塊電磁屏蔽片(14)，所述電磁屏蔽片(14)的側壁與殼體(3)的內壁相抵接觸。

6.根據權利要求5所述的一種微電子機械系統MEMS加速度計，其特征在于，所述矩形環狀墊圈(6)、扇形擋塵片(7)和限位片(13)均為橡膠制品。

7.根據權利要求1所述的一種微電子機械系統MEMS加速度計，其特征在于，所述散熱防塵機構設置于殼體(3)頂面上的矩形開口(15)，所述矩形開口(15)的左右兩側內壁上均設有條形插槽(16)，所述條形插槽(16)的前后兩側內壁分別與矩形開口(15)的前后兩側內壁無縫連接，兩個所述條形插槽(16)內插設有同一塊防塵軟片(17)。

8.根據權利要求7所述的一種微電子機械系統MEMS加速度計，其特征在于，所述防塵軟片(17)靠近兩個條形插槽(16)的上端均粘合固定有柱形拉桿(18)。