[發(fā)明專利]一種微電子機械系統(tǒng)MEMS加速度計

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110675416.3
• 申請日: 2021-06-18
• 公開（公告）號: CN113387320A
• 公開（公告）日: 2021-09-14
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王福杰;秦毅;郭芳;任斌;姜鳴;胡耀華;姚智偉
• 申請（專利權(quán)）人: 東莞理工學(xué)院
• 主分類號: B81B7/02
• 分類號: B81B7/02;B81B7/00
• 代理公司: 北京欣鼎專利代理事務(wù)所(普通合伙) 11834
• 代理人: 王陽虹

本發(fā)明公開了一種微電子機械系統(tǒng)MEMS加速度計，包括底板和MSME加速度計本體，所述MSME加速度計本體設(shè)置于底板的上端，所述底板的上端設(shè)有殼體，所述殼體的下端與底板靠近左右兩側(cè)的上端活動卡接。本發(fā)明通過將殼體置于底板上，使得兩塊固定塊分別插設(shè)于腔室內(nèi)，并由壓力彈簧帶動勾型卡塊插設(shè)于限位卡槽內(nèi)，有效對殼體進行卡接固定，方便進行拆裝，通過將電磁屏蔽片插設(shè)于若干橡膠制品的限位片之間，使得電磁屏蔽片對MSME加速度計本體提供有效電磁屏蔽，通過將防塵軟片插設(shè)于矩形開口上的條形插槽內(nèi)，有效對防塵軟片進行限位固定，使得防塵軟片配合接線通孔內(nèi)的扇形擋塵片和矩形環(huán)狀墊圈對殼體內(nèi)的MSME加速度計本體提供有效防塵防護。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及MEMS加速度計技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種微電子機械系統(tǒng)MEMS加速度計。

背景技術(shù)

加速度計是一種能夠測量物體加速度的慣性傳感器，MEMS是將微電子技術(shù)與機械工程融合到一起的技術(shù)，MEMS加速度計就是使用MSME技術(shù)制造的加速度計，MEMS加速度計采用了微機電系統(tǒng)技術(shù)，具有體積小、重量輕和能耗低等優(yōu)點，MEMS微加速度計包括壓阻式微加速度計、電容式微加速度計和扭擺式微加速度計等。

現(xiàn)有的MEMS加速度計在實際使用時，其殼體不方便進行拆裝，且殼體的電子屏蔽效果較差，現(xiàn)提出一種微電子機械系統(tǒng)MEMS加速度計來解決上述問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明提出了一種微電子機械系統(tǒng)MEMS加速度計，用于解決背景技術(shù)中現(xiàn)有的MEMS加速度計在實際使用時，其殼體不方便進行拆裝，且殼體的電子屏蔽效果較差的技術(shù)問題。

為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用了如下技術(shù)方案：

一種微電子機械系統(tǒng)MEMS加速度計，包括底板和MSME加速度計本體，所述MSME加速度計本體設(shè)置于底板的上端，所述底板的上端設(shè)有殼體，所述殼體的下端與底板靠近左右兩側(cè)的上端活動卡接，所述底板的上端設(shè)有若干上下連通的接線通孔，所述殼體靠近頂面的內(nèi)壁上設(shè)有電磁屏蔽件，所述殼體的頂面上設(shè)有散熱防塵機構(gòu)。

優(yōu)選地，所述底板的上端固定連接有矩形環(huán)狀凸起，所述MSME加速度計本體插設(shè)于矩形環(huán)狀凸起內(nèi)，所述矩形環(huán)狀凸起與底板呈一體化成型設(shè)置。

優(yōu)選地，所述殼體的下端固定連接有矩形環(huán)狀墊圈，所述矩形環(huán)狀墊圈的下端與底板的上端相抵接觸，若干所述接線通孔的環(huán)形內(nèi)壁上均固定連接有兩塊扇形擋塵片。

優(yōu)選地，所述殼體位于左右兩側(cè)的下端均固定連接有固定塊，兩塊所述固定塊均貫穿矩形環(huán)狀墊圈設(shè)置，所述底板內(nèi)設(shè)有兩個腔室，兩個所述腔室分別位于兩塊固定塊的下方，兩塊所述固定塊分別貫穿兩個腔室的頂面設(shè)置，兩塊所述固定塊位于腔室內(nèi)的相對側(cè)壁上均設(shè)有限位卡槽，兩個所述腔室遠(yuǎn)離接線通孔的內(nèi)壁上均水平貫穿設(shè)有勾型卡塊，兩塊所述勾型卡塊分別插設(shè)于兩個限位卡槽內(nèi)，兩個所述腔室的相對內(nèi)壁上均固定連接有壓力彈簧，所述壓力彈簧遠(yuǎn)離腔室內(nèi)壁的一端與勾型卡塊固定連接。

優(yōu)選地，所述電磁屏蔽件包括分別固定連接于殼體左右兩側(cè)內(nèi)壁上的兩塊限位片，若干所述限位片之間呈兩兩相對設(shè)置，且靠近殼體的頂面設(shè)置，若干所述限位片之間插設(shè)有同一塊電磁屏蔽片，所述電磁屏蔽片的側(cè)壁與殼體的內(nèi)壁相抵接觸。

優(yōu)選地，所述矩形環(huán)狀墊圈、扇形擋塵片和限位片均為橡膠制品。

優(yōu)選地，所述散熱防塵機構(gòu)設(shè)置于殼體頂面上的矩形開口，所述矩形開口的左右兩側(cè)內(nèi)壁上均設(shè)有條形插槽，所述條形插槽的前后兩側(cè)內(nèi)壁分別與矩形開口的前后兩側(cè)內(nèi)壁無縫連接，兩個所述條形插槽內(nèi)插設(shè)有同一塊防塵軟片。

優(yōu)選地，所述防塵軟片靠近兩個條形插槽的上端均粘合固定有柱形拉桿。

本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比，其有益效果為：

1、通過將殼體置于底板上，使得兩塊固定塊分別插設(shè)于腔室內(nèi)，并由壓力彈簧帶動勾型卡塊插設(shè)于限位卡槽內(nèi)，有效對殼體進行卡接固定，方便進行拆裝。