[發明專利]載置臺和檢查裝置

在審

• 申請號: 202110672681.6
• 申請日: 2021-06-17
• 公開（公告）號: CN113851416A
• 公開（公告）日: 2021-12-28
• 發明（設計）人: 小林將人;中山博之;小林大
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687;H01L21/66
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳;劉芃茜

1.一種載置臺，其特征在于，包括：

載置部，其具有用于載置被檢查體的板部件和透光性部件；以及

光照射機構，其照射光以使所述被檢查體升溫，

所述板部件和所述透光性部件由線膨脹系數為1.0×10^-6/K以下的低熱膨脹材料形成。

2.如權利要求1所述的載置臺，其特征在于：

所述板部件由具有透光性的材料形成，

在所述板部件的表面具有熱噴涂膜，

所述熱噴涂膜能夠被照射從所述光照射機構輻射的光而被加熱。

3.如權利要求1所述的載置臺，其特征在于：

所述板部件由金屬材料形成，

所述金屬材料能夠被照射從所述光照射機構輻射的光而被加熱。

4.如權利要求1所述的載置臺，其特征在于：

所述板部件包括：金屬材料，其具有在厚度方向上貫通的孔；和形成于該金屬材料的表面的熱傳導膜，

所述板部件能夠被照射從所述光照射機構輻射的光而被加熱。

5.如權利要求3或4所述的載置臺，其特征在于：

在所述板部件的表面具有熱噴涂膜。

6.如權利要求2或5所述的載置臺，其特征在于：

所述熱噴涂膜具有：

在所述板部件上形成的第一絕緣膜；

在所述第一絕緣膜上形成的測溫電阻體膜；和

在所述測溫電阻體膜上形成的第二絕緣膜。

7.如權利要求1～6中任一項所述的載置臺，其特征在于：

所述載置部具有供致冷劑流動的流路。

8.一種檢查裝置，其特征在于，包括：

用于載置被檢查體的載置臺；

與所述載置臺相對地配置的探針卡；和

與所述探針卡連接的測試器，

所述載置臺具有：

載置部，其具有用于載置所述被檢查體的板部件和透光性部件；以及

光照射機構，其照射光以使所述被檢查體升溫，

所述板部件和所述透光性部件由線膨脹系數為1.0×10^-6/K以下的低熱膨脹材料形成。