[發(fā)明專(zhuān)利]基于滑臺(tái)機(jī)器人的12寸半導(dǎo)體晶圓倒片機(jī)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110656565.5
• 申請(qǐng)日: 2021-06-11
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113284834A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-08-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李健樂(lè);張豐;張淳;齊風(fēng);李倫;戴超;王彥君;孫晨光;陳健華
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中環(huán)領(lǐng)先半導(dǎo)體材料有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/677
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/677;H01L21/67
• 代理公司: 蘇州高專(zhuān)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 32474
• 代理人: 冷泠

1.基于滑臺(tái)機(jī)器人的12寸半導(dǎo)體晶圓倒片機(jī)，包括型材框架(2)，其特征在于：所述型材框架(2)的頂部固定安裝有離子消除器(1)，所述型材框架(2)的一側(cè)表面設(shè)置有第一工位(8)，所述第一工位(8)的一側(cè)設(shè)置有第二工位(10)，所述型材框架(2)的內(nèi)部固定安裝有X軸滑臺(tái)模組(7)，所述X軸滑臺(tái)模組(7)的頂部固定安裝有Z軸滑臺(tái)模組(5)，所述Z軸滑臺(tái)模組(5)的一側(cè)固定安裝有Y軸滑臺(tái)模組(4)，所述Y軸滑臺(tái)模組(4)上設(shè)置有圓晶調(diào)整器(3)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于滑臺(tái)機(jī)器人的12寸半導(dǎo)體晶圓倒片機(jī)，其特征在于：所述型材框架(2)的底部靠近四個(gè)邊角處皆開(kāi)設(shè)有升降槽(15)，且升降槽(15)的內(nèi)側(cè)固定安裝有電動(dòng)升降柱(16)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基于滑臺(tái)機(jī)器人的12寸半導(dǎo)體晶圓倒片機(jī)，其特征在于：所述電動(dòng)升降柱(16)的底端皆固定安裝有支撐座(9)，所述支撐座(9)的底部皆開(kāi)設(shè)有定位槽(11)，且定位槽(11)的內(nèi)側(cè)皆固定安裝有定位吸盤(pán)(12)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于滑臺(tái)機(jī)器人的12寸半導(dǎo)體晶圓倒片機(jī)，其特征在于：所述型材框架(2)的底部靠近四個(gè)邊角處皆固定安裝有萬(wàn)向輪(13)，且萬(wàn)向輪(13)皆固定安裝有制動(dòng)器。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于滑臺(tái)機(jī)器人的12寸半導(dǎo)體晶圓倒片機(jī)，其特征在于：所述型材框架(2)的一側(cè)表面固定安裝有銜接板(14)，且銜接板(14)的表面嵌入固定安裝有控制面板(6)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于滑臺(tái)機(jī)器人的12寸半導(dǎo)體晶圓倒片機(jī)，其特征在于：所述第一工位(8)和第二工位(10)皆為L(zhǎng)oad Port工位。