[發(fā)明專利]一種氣體檢測(cè)用雙帶通窄帶濾光片及制作方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110656250.0
• 申請(qǐng)日: 2021-06-11
• 公開（公告）號(hào): CN113341492B
• 公開（公告）日: 2022-06-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉文波;武斌
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市美思先端電子有限公司
• 主分類號(hào): G02B5/28
• 分類號(hào): G02B5/28;C23C14/08;C23C14/16;C23C14/18;C23C14/26;C23C14/30
• 代理公司: 深圳市合道英聯(lián)專利事務(wù)所(普通合伙) 44309
• 代理人: 廉紅果

1.一種氣體檢測(cè)用雙帶通窄帶濾光片，其特征在于，包括基板(1)、主膜系結(jié)構(gòu)(2)以及干涉截止膜系結(jié)構(gòu)(3)，所述的主膜系結(jié)構(gòu)(2)和干涉截止膜系結(jié)構(gòu)(3)分別設(shè)置于所述基板(1)的兩側(cè)，所述主膜系結(jié)構(gòu)(2)和所述干涉截止膜系結(jié)構(gòu)(3)均以鍺和一氧化硅為鍍膜材料，與所述基板(1)相鄰的膜層為第一層；

所述主膜系結(jié)構(gòu)(2)采用共計(jì)有47層幾何厚度的結(jié)構(gòu)，所述主膜系結(jié)構(gòu)(2)中第一層為鍺膜層，最后一層為鍺膜層，偶數(shù)層均為一氧化硅膜層，奇數(shù)層均為鍺膜層，設(shè)計(jì)波長(zhǎng)為3900nm；所述主膜系結(jié)構(gòu)(2)中：第1層幾何厚度為1175.84nm；第2層幾何厚度為302.13nm；第3層幾何厚度為999.52nm；第4層幾何厚度為401.76nm；第5層幾何厚度為892.02nm；第6層幾何厚度為496.11nm；第7層幾何厚度為414.26nm；第8層幾何厚度為637.26nm；第9層幾何厚度為188.61nm；第10層幾何厚度為480.18nm；第11層幾何厚度為214.56nm；第12層幾何厚度為175.24nm；第13層幾何厚度為104.31nm；第14層幾何厚度為700.14nm；第15層幾何厚度為220.88nm；第16層幾何厚度為468.58nm；第17層幾何厚度為215.90nm；第18層幾何厚度為1186.44nm；第19層幾何厚度為146.95nm；第20層幾何厚度為438.21nm；第21層幾何厚度為236.08nm；第22層幾何厚度為654.32nm；第23層幾何厚度為476.37nm；第24層幾何厚度為493.21nm；第25層幾何厚度為229.02nm；第26層幾何厚度為633.65nm；第27層幾何厚度為293.57nm；第28層幾何厚度為476.83nm；第29層幾何厚度為100.43nm；第30層幾何厚度為179.6nm；第31層幾何厚度為220.46nm；第32層幾何厚度為501.88nm；第33層幾何厚度為205.84nm；第34層幾何厚度為1286.99nm；第35層幾何厚度為201.95nm；第36層幾何厚度為394nm；第37層幾何厚度為127.31nm；第38層幾何厚度為382.37nm；第39層幾何厚度為192.4nm；第40層幾何厚度為492.21nm；第41層幾何厚度為222.87nm；第42層幾何厚度為1191.05nm；第43層幾何厚度為121.45nm；第44層幾何厚度為703.46nm；第45層幾何厚度為236.75nm；第46層幾何厚度為1169.74nm；第47層幾何厚度為153.54nm；

所述干涉截止膜系結(jié)構(gòu)(3)采用共計(jì)有42層幾何厚度的結(jié)構(gòu)，所述干涉截止膜系結(jié)構(gòu)(3)中第一層為鍺膜層，最后一層為一氧化硅膜層，偶數(shù)層均為一氧化硅膜層，奇數(shù)層均為鍺膜層，設(shè)計(jì)波長(zhǎng)為1400nm；所述干涉截止膜系結(jié)構(gòu)(3)中：第1層幾何厚度為65.08nm；第2層幾何厚度為141.53nm；第3層幾何厚度為108.85nm；第4層幾何厚度為193.53nm；第5層幾何厚度為67.98nm；第6層幾何厚度為230.76nm；第7層幾何厚度為72.9nm；第8層幾何厚度為224.18nm；第9層幾何厚度為87.92nm；第10層幾何厚度為142.18nm；第11層幾何厚度為117.18nm；第12層幾何厚度為146.48nm；第13層幾何厚度為83.65nm；第14層幾何厚度為236.15nm；第15層幾何厚度為61.58nm；第16層幾何厚度為406.54nm；第17層幾何厚度為84.64nm；第18層幾何厚度為360.26nm；第19層幾何厚度為82.92nm；第20層幾何厚度為402.94nm；第21層幾何厚度為132.66nm；第22層幾何厚度為160.62nm；第23層幾何厚度為192.07nm；第24層幾何厚度為381.77nm；第25層幾何厚度為56.66nm；第26層幾何厚度為451.21nm；第27層幾何厚度為132.57nm；第28層幾何厚度為313.82nm；第29層幾何厚度為91.12nm；第30層幾何厚度為349.7nm；第31層幾何厚度為506.17nm；第32層幾何厚度為1082.94nm；第33層幾何厚度為454.03nm；第34層幾何厚度為1072.78nm；第35層幾何厚度為474.3nm；第36層幾何厚度1064.21nm；第37層幾何厚度為448.05nm；第38層幾何厚度為1077.17nm；第39層幾何厚度為480.36nm；第40層幾何厚度為1054.08nm；第41層幾何厚度為407nm；第42層幾何厚度為463.88nm。