[發(fā)明專(zhuān)利]一種氣體檢測(cè)用雙帶通窄帶濾光片及制作方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110656250.0
• 申請(qǐng)日: 2021-06-11
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113341492B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-06-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉文波;武斌
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 深圳市美思先端電子有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G02B5/28
• 分類(lèi)號(hào): G02B5/28;C23C14/08;C23C14/16;C23C14/18;C23C14/26;C23C14/30
• 代理公司: 深圳市合道英聯(lián)專(zhuān)利事務(wù)所(普通合伙) 44309
• 代理人: 廉紅果

本發(fā)明公開(kāi)了一種氣體檢測(cè)用雙帶通窄帶濾光片及制作方法。一種氣體檢測(cè)用雙帶通窄帶濾光片，包括基板、主膜系結(jié)構(gòu)以及截止膜系結(jié)構(gòu)，所述的主膜系結(jié)構(gòu)和截止膜系結(jié)構(gòu)分別設(shè)置于所述基板的兩側(cè)。在同一片基板上同時(shí)實(shí)現(xiàn)中心波長(zhǎng)3.95um±20nm和中心波長(zhǎng)4.26um±20nm波段的高透射率，在400?11000nm內(nèi)除通帶外的其他波段截止。這樣用中心波長(zhǎng)4.26um為測(cè)試CO₂濃度的波長(zhǎng)，而中心波長(zhǎng)3.95um作為參考波長(zhǎng)，來(lái)實(shí)現(xiàn)CO₂濃度的數(shù)據(jù)修正，可以獲得真實(shí)的CO₂濃度數(shù)據(jù)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于濾光片的技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種氣體檢測(cè)用雙帶通窄帶濾光片及制作方法。

背景技術(shù)

二氧化碳是一種碳氧化物，化學(xué)式為CO₂，常溫下是一種無(wú)色無(wú)味或無(wú)色無(wú)嗅而其水溶液略有酸味的氣體，也是一種常見(jiàn)的溫室氣體，占大氣總體積的0.03％-0.04％，大量的二氧化碳會(huì)導(dǎo)致溫室效應(yīng)，全球氣候變暖；在冶金、汽車(chē)、室內(nèi)、醫(yī)療、環(huán)保等領(lǐng)域都需要對(duì)CO₂的濃度進(jìn)行定量檢測(cè)與控制，所以開(kāi)發(fā)出性能穩(wěn)定，靈敏度和準(zhǔn)確度高的傳感器具有很高的實(shí)用價(jià)值，而窄帶濾光片作為傳感器的重要組成成分，是限制傳感器性能的關(guān)鍵窗口，其性能的的優(yōu)劣直接影響到傳感器工作的靈敏度，準(zhǔn)確度。

現(xiàn)有的技術(shù)是有2片不同波段(中心波長(zhǎng)為3.95um的窄帶濾光片和中心波長(zhǎng)為4.26um的窄帶濾光片)組成的測(cè)試CO₂濃度的雙窗口傳感器；其一：鍍膜需要鍍2款不同波段的窄帶濾光片，鍍膜成本高，工藝調(diào)試時(shí)間長(zhǎng)；其二雙窗口傳感器的封裝難度較大，效率較低，制作時(shí)間長(zhǎng)。

發(fā)明內(nèi)容

為了解決上述現(xiàn)有技術(shù)存在的問(wèn)題和不足，本發(fā)明的目的是提供一種氣體檢測(cè)用雙帶通窄帶濾光片及制作方法。

為實(shí)現(xiàn)是上述目的，本發(fā)明首先提供一種氣體檢測(cè)用雙帶通窄帶濾光片。

本發(fā)明所采用的技術(shù)方案是：

一種氣體檢測(cè)用雙帶通窄帶濾光片，包括基板、主膜系結(jié)構(gòu)以及干涉截止膜系結(jié)構(gòu)，所述的主膜系結(jié)構(gòu)和干涉截止膜系結(jié)構(gòu)分別設(shè)置于所述基板的兩側(cè)；

所述主膜系結(jié)構(gòu)采用：

Sub/(0.5HL0.5H)⁶/Air，其中，Sub為所述基板，H為鍺的四分之一波長(zhǎng)光學(xué)厚度膜層，L為一氧化硅的四分之一波長(zhǎng)光學(xué)厚度膜層，Air為空氣，設(shè)計(jì)波長(zhǎng)為3900nm。

所述干涉截止膜系結(jié)構(gòu)采用：

Sub/1.04(0.5HL0.5H)⁷ 1.7(0.5HL0.5H)⁷ 5.66(0.5LH0.5L)⁶/Air，其中，Sub為所述基板，H為鍺的四分之一波長(zhǎng)光學(xué)厚度膜層，L為一氧化硅的四分之一波長(zhǎng)光學(xué)厚度膜層，Air為空氣，設(shè)計(jì)波長(zhǎng)為1400nm。

進(jìn)一步地，所述主膜系結(jié)構(gòu)和所述干涉截止膜系均以鍺和一氧化硅為鍍膜材料；與所述基板相鄰的膜層為第一層，所述主膜系結(jié)構(gòu)中第一層為鍺膜層，最后一層為鍺膜層，偶數(shù)層均為一氧化硅膜層，奇數(shù)層均為鍺膜層；所述干涉截止膜系結(jié)構(gòu)中第一層為鍺膜層，最后一層為一氧化硅膜層，偶數(shù)層均為一氧化硅膜層，奇數(shù)層均為鍺膜層。

進(jìn)一步地，所述基板可為單晶硅、藍(lán)寶石、鍺和氟化鈣中的一種。

進(jìn)一步地，所述基板為直徑100mm、厚度為0.49±0.02mm的單晶硅。

本發(fā)明同時(shí)提供一種氣體檢測(cè)用雙帶通窄帶濾光片及制作方法，包括如下步驟：

S1、采用超聲波清洗機(jī)清洗基板；

S2、將基板裝入夾具并放入鍍膜機(jī)真空腔體內(nèi)，抽真空，鍍膜傘加熱溫度150度，光控片加熱溫度150度，并保持恒溫30min以上；