[發明專利]熱電偶引導件及陶瓷加熱器

在審

• 申請號: 202110656062.8
• 申請日: 2021-06-11
• 公開（公告）號: CN113811030A
• 公開（公告）日: 2021-12-17
• 發明（設計）人: 松下諒平
• 申請（專利權）人: 日本礙子株式會社
• 主分類號: H05B3/02
• 分類號: H05B3/02;H05B3/06;H05B3/20
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 陳彥;孔博

本發明提供熱電偶引導件和陶瓷加熱器。本發明的課題是在保持熱電偶引導件的剛性的同時使熱電偶通路的入口部分的寬度變窄。本發明的熱電偶引導件(32)具備：直線狀的第一管部(33)；以及第二管部(34)，其與第一管部(33)相連，具有以將第一管部(33)的朝向進行轉換的方式設置的彎曲部(34c)。彎曲部(34c)中的至少從前端到預定長度為止的前端側部分(34b)的外徑比第一管部(33)的外徑小。

技術領域

本發明涉及熱電偶引導件和陶瓷加熱器。

背景技術

以往，作為陶瓷加熱器，已知有在具有晶片載置面的圓盤狀的陶瓷板的內周側和外周側分別獨立地埋入電阻發熱體的、被稱為雙區加熱器的陶瓷加熱器。例如在專利文獻1中公開了圖9所示的帶軸的陶瓷加熱器410。該帶軸的陶瓷加熱器410利用外周側熱電偶450測定陶瓷板420的外周側的溫度。熱電偶引導件432是筒狀部件，在直軸440的內部從下方筆直地向上方延伸后彎曲成圓弧狀而進行90°方向轉換。該熱電偶引導件432安裝于在陶瓷板420的背面中由直軸440包圍的區域設置的狹縫426a。狹縫426a構成熱電偶通路426的入口部分。外周側熱電偶450插入熱電偶引導件432的筒內并到達熱電偶通路426的末端位置。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：國際公開第2012/039453號小冊子(圖11)

發明內容

發明所要解決的課題

然而，熱電偶引導件432通過將1根筒狀構件彎曲成圓弧狀來形成直線管部432a和彎曲管部432b，因此存在以下的問題。即，若使彎曲管部432b變細，則直線管部432a也變細，因此產生熱電偶引導件432的剛性不足這樣的問題。另一方面，若使直線管部432a變粗，則彎曲管部432b也變粗，因此產生不得不增大狹縫426a的寬度這樣的問題。

本發明是為了解決這樣的課題而完成的，其主要目的在于，在保持熱電偶引導件的剛性的同時使熱電偶通路的入口部分的寬度變窄。

用于解決課題的方法

本發明的熱電偶引導件具備：

直線狀的第一管部；以及

第二管部，其與上述第一管部相連，具有以將上述第一管部的朝向進行轉換的方式設置的彎曲部，

上述彎曲部中的至少從前端到預定長度為止的前端側部分的外徑比上述第一管部的外徑小。

該熱電偶引導件如以下那樣使用。即，在內置有電阻發熱體的板的熱電偶通路的入口部分配置熱電偶引導件的前端側部分，使細長的熱電偶穿過熱電偶引導件的直線狀的第一管部和具有彎曲部的第二管部，將熱電偶引導至熱電偶通路。該熱電偶引導件中，第二管部所具有的彎曲部中的至少從前端到預定長度為止的前端側部分的外徑比第一管部的外徑小。該前端側部分是配置于熱電偶通路的部分，其外徑比第一管部的外徑小，因此能夠減小熱電偶通路的入口部分的寬度。另外，熱電偶引導件的第一管部的外徑比前端側部分的外徑大。因此，能夠將第一管部的剛性保持得比較高。

在本發明的熱電偶引導件中，上述第二管部也可以焊接于上述第一管部。這樣一來，只要預先分別準備第二管部和第一管部，并將兩者焊接，就能夠得到本發明的熱電偶引導件。

在本發明的熱電偶引導件中，也可以使上述彎曲部中的至少上述前端側部分的內徑比上述第一管部的內徑小。這樣一來，與前端側部分的內徑與第一管部的內徑相同的情況相比，能夠使前端側部分的外徑進一步比第一管部的外徑小。另外，在將前端側部分的外徑設為預定值的情況下，由于前端側部分的內徑小而相應地前端側部分的壁厚變厚，因此能夠提高前端側部分的剛性。