[發明專利]熱電偶引導件及陶瓷加熱器

在審

• 申請號: 202110656062.8
• 申請日: 2021-06-11
• 公開（公告）號: CN113811030A
• 公開（公告）日: 2021-12-17
• 發明（設計）人: 松下諒平
• 申請（專利權）人: 日本礙子株式會社
• 主分類號: H05B3/02
• 分類號: H05B3/02;H05B3/06;H05B3/20
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 陳彥;孔博

1.一種熱電偶引導件，具備：

直線狀的第一管部；以及

第二管部，其與所述第一管部相連，具有以將所述第一管部的朝向進行轉換的方式設置的彎曲部，

所述彎曲部中的至少從前端到預定長度為止的前端側部分的外徑比所述第一管部的外徑小。

2.根據權利要求1所述的熱電偶引導件，所述第二管部焊接于所述第一管部。

3.根據權利要求1或2所述的熱電偶引導件，所述彎曲部中的至少所述前端側部分的內徑比所述第一管部的內徑小。

4.根據權利要求1～3中任一項所述的熱電偶引導件，所述第二管部的整體的外徑比所述第一管部的外徑小。

5.根據權利要求4所述的熱電偶引導件，所述第二管部的整體的內徑比所述第一管部的內徑小。

6.根據權利要求1～5中任一項所述的熱電偶引導件，

所述彎曲部的曲率半徑為20mm以上且50mm以下，

所述彎曲部的行程長度為20mm以上且50mm以下，

所述彎曲部以將所述第一管部的朝向轉換為50°以上且90°以下的方式設置。

7.一種陶瓷加熱器，具備：

具有晶片載置面的圓盤狀的陶瓷板，

與所述陶瓷板中的與所述晶片載置面相反側的背面接合的筒狀軸，

埋設于所述陶瓷板的內周部的內周側電阻發熱體，

埋設于所述陶瓷板的外周部的外周側電阻發熱體，

包括所述內周側電阻發熱體的一對端子及所述外周側電阻發熱體的一對端子的附帶部件，

從所述陶瓷板的所述背面中的所述筒狀軸的內側區域的起點到達所述陶瓷板的外周部的末端位置為止的長孔，

作為所述長孔的入口部分的長槽，以及

所述彎曲部的所述前端側部分被配置在所述長槽中的權利要求1～6中任一項所述的熱電偶引導件。

8.根據權利要求7所述的陶瓷加熱器，所述長孔是用于插入熱電偶的熱電偶插入用長孔。

9.根據權利要求7或8所述的陶瓷加熱器，所述長槽的長度設定為所述熱電偶引導件的所述彎曲部中配置于所述長槽的所述前端側部分的長度以上。

10.根據權利要求7～9中任一項所述的陶瓷加熱器，具備插入到所述熱電偶引導件和所述長孔中的熱電偶。