[發(fā)明專利]用于與工具對接的掩模版盒轉換板

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• 申請日: 2021-06-11
• 公開（公告）號: CN113805429A
• 公開（公告）日: 2021-12-17
• 發(fā)明（設計）人: M·拉加-巴龍
• 申請（專利權）人: 格芯（美國）集成電路科技有限公司
• 主分類號: G03F1/66
• 分類號: G03F1/66
• 代理公司: 北京市中咨律師事務所 11247
• 代理人: 賀月嬌;牛南輝

1.一種裝置，包括：

板，所述板具有正表面和背表面，所述背表面與所述正表面相對；

位于所述正表面上的掩模版盒接納結構，所述掩模版盒接納結構至少部分地界定所述正表面上的掩模版盒接納區(qū)域，所述背表面具有銷釘接合結構，所述銷釘接合結構適于與多個銷釘接合；以及

流體流動通道，其適于在掩模版盒被定位在所述掩模版盒接納區(qū)域中時允許與所述掩模版盒的內部區(qū)域流體連通。

2.根據權利要求1所述的裝置，其中，所述多個銷釘包括三個SEMI標準裝載端口銷釘，并且其中，所述掩模版盒接納結構包括多個單獨的掩模版盒接納導引件。

3.根據權利要求1所述的裝置，其中，所述流體流動通道的至少一部分位于所述板內。

4.根據權利要求1所述的裝置，其中，所述流體流動通道包括流體流動導管，并且其中，所述流體流動導管的至少一部分由所述板直接或間接地機械支撐。

5.根據權利要求1所述的裝置，進一步包括：

從所述板的所述正表面延伸到所述板的所述背表面的開口；以及

位于所述開口附近的接合表面，所述接合表面具有位于所述正表面的水平面下方的水平面處的表面。

6.根據權利要求1所述的裝置，進一步包括掩模版盒固定機構，所述掩模版盒固定機構可操作地耦接到所述板或所述掩模版盒接納結構中的至少一者，其中，所述掩模版盒固定機構適于與掩模版盒的表面接合，以將所述掩模版盒固定在所述掩模版盒接納區(qū)域中。

7.根據權利要求1所述的裝置，其中，所述銷釘接合結構包括多個通道，其中，所述多個通道中的每一個適于與所述多個銷釘之一接合。

8.根據權利要求1所述的裝置，其中，所述流體流動通道包括：

形成在所述板中的凹槽；

與所述凹槽流體連通的第一開口，所述第一開口從所述板的所述背表面延伸到所述凹槽；以及

位于所述凹槽上方的第一蓋板。

9.根據權利要求8所述的裝置，其中，所述凹槽具有底表面，并且其中，所述第一開口延伸到所述凹槽的底表面。

10.根據權利要求8所述的裝置，進一步包括：

與所述板的所述背表面耦接的第二蓋板；以及

位于所述第二蓋板中的第二開口，其中，所述第二開口與所述第一開口流體連通。

11.根據權利要求8所述的裝置，進一步包括：

銷釘，其具有位于所述第一蓋板的上表面的水平面上方的水平面處的最高表面；以及

墊圈，其位于所述銷釘周圍并且在所述第一蓋板的所述上表面上。

12.一種裝置，包括：

板，所述板具有正表面和背表面，所述背表面與所述正表面相對；

位于所述正表面上的掩模版盒接納結構，所述掩模版盒接納結構至少部分地界定所述正表面上的掩模版盒接納區(qū)域，所述背表面具有銷釘接合結構，所述銷釘接合結構適于與多個銷釘接合；

從所述板的所述正表面延伸到所述板的所述背表面的開口；以及

位于所述開口附近的接合表面，所述接合表面具有位于所述正表面的水平面下方的水平面處的表面。

13.根據權利要求12所述的裝置，進一步包括掩模版盒板固定機構，所述掩模版盒板固定機構可操作地耦接到所述板或所述掩模版盒接納結構中的至少一者，其中，所述掩模版盒板固定機構適于與掩模版盒的表面接合，以將所述掩模版盒固定在所述掩模版盒接納區(qū)域中。

14.根據權利要求12所述的裝置，進一步包括流體流動通道，所述流體流動通道適于在掩模版盒被定位在所述掩模版盒接納區(qū)域中時允許與所述掩模版盒的內部區(qū)域流體連通。