[發明專利]異質結太陽能電池片的制造方法及異質結太陽能電池片

有效

• 申請號: 202110653832.3
• 申請日: 2021-06-11
• 公開（公告）號: CN113380926B
• 公開（公告）日: 2023-02-10
• 發明（設計）人: 王文靜;張良;徐曉華;周肅;龔道仁;郭琦
• 申請（專利權）人: 安徽華晟新能源科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L31/072;H01L31/0224;H01L21/78
• 代理公司: 北京三聚陽光知識產權代理有限公司 11250
• 代理人: 薛異榮

1.一種異質結太陽能電池片的制造方法，其特征在于，包括：形成初始太陽能電池片，所述初始太陽能電池片具有切割區，所述形成初始太陽能電池片的步驟包括：

提供半導體襯底層；

在所述半導體襯底層的一側形成第一導電類型半導體層，所述第一導電類型半導體層的導電類型與所述半導體襯底層的導電類型相反；

在所述第一導電類型半導體層背向所述半導體襯底層的一側形成第一透明導電層；

在所述切割區的所述第一透明導電層中形成貫穿所述第一透明導電層的厚度的第一切割槽，所述第一切割槽的底部暴露所述第一導電類型半導體層；

形成所述第一切割槽之后，沿著所述切割區切割所述初始太陽能電池片，所述第一切割槽的寬度大于沿著所述切割區切割所述初始太陽能電池片的步驟中對所述初始太陽能電池片的切割寬度。

2.根據權利要求1所述的異質結太陽能電池片的制造方法，其特征在于，

形成所述第一切割槽的步驟包括：采用第一激光切割工藝，沿著所述切割區對所述第一透明導電層進行切割。

3.根據權利要求2所述的異質結太陽能電池片的制造方法，其特征在于，所述第一切割槽的寬度為0.5mm-2mm。

4.根據權利要求2所述的異質結太陽能電池片的制造方法，其特征在于，

所述第一激光切割工藝采用的激光波長為220nm-300nm。

5.根據權利要求2所述的異質結太陽能電池片的制造方法，其特征在于，

所述第一激光切割工藝采用的激光波長為266nm。

6.根據權利要求2所述的異質結太陽能電池片的制造方法，其特征在于，

所述第一激光切割工藝采用的激光功率為2W-20W。

7.根據權利要求2所述的異質結太陽能電池片的制造方法，其特征在于，

所述第一激光切割工藝的激光沿著切割區的掃描速度為100mm/s-600mm/s。

8.根據權利要求1所述的異質結太陽能電池片的制造方法，其特征在于，所述切割區包括沿第一方向排布的第一邊緣切割區、中心切割區和第二邊緣切割區，所述第一邊緣切割區和第二邊緣切割區位于所述中心切割區的兩側，第一方向平行于所述初始太陽能電池片的正面和背面；

沿著所述切割區切割所述初始太陽能電池片的步驟包括：在所述第一邊緣切割區中形成第二切割槽，在所述第二邊緣切割區中形成第三切割槽；所述第一切割槽的寬度大于所述第二切割槽的寬度；所述第一切割槽的寬度大于所述第三切割槽的寬度；

形成所述第二切割槽和所述第三切割槽之后，沿所述切割區對所述初始太陽能電池片進行第四激光切割工藝，使所述初始太陽能電池片沿所述切割區裂開。

9.根據權利要求8所述的異質結太陽能電池片的制造方法，其特征在于，

所述第二切割槽的深度為所述初始太陽能電池片的厚度的1/3。

10.根據權利要求8所述的異質結太陽能電池片的制造方法，其特征在于，

所述第三切割槽的深度為所述初始太陽能電池片的厚度的1/3。

11.根據權利要求8所述的異質結太陽能電池片的制造方法，其特征在于，

所述第二切割槽的長度為200μm-1000μm，所述第二切割槽的寬度為20μm-60μm，所述第二切割槽的深度為20μm-80μm。

12.根據權利要求8所述的異質結太陽能電池片的制造方法，其特征在于，

所述第三切割槽的長度為200μm-1000μm，所述第三切割槽的寬度為20μm-60μm，所述第三切割槽的深度為20μm-80μm。