[發明專利]一種耐磨導電金剛石定位器

在審

• 申請號: 202110645840.3
• 申請日: 2021-06-10
• 公開（公告）號: CN113523836A
• 公開（公告）日: 2021-10-22
• 發明（設計）人: 胡常青;趙建海;王子龍
• 申請（專利權）人: 上海鉑世光半導體科技有限公司
• 主分類號: B23Q1/26
• 分類號: B23Q1/26
• 代理公司: 上海邦德專利代理事務所(普通合伙) 31312
• 代理人: 余娜

本發明公開了一種耐磨導電金剛石定位器，包括：支撐座、固定于所述支撐座上的CVD絕緣金剛石膜、固接于所述CVD絕緣金剛石膜上的摻硼導電金剛石膜及位于所述摻硼導電金剛石膜上往復運動的運動件；所述摻硼導電金剛石膜沿長度方向上刻蝕有多個溝槽，多個所述溝槽用于將摻硼導電金剛石膜分割成多個獨立的區域段，所述區域段用于運動件位于摻硼導電金剛石膜上往復運動時與摻硼導電金剛石膜形成接觸和脫離接觸兩個接觸狀態。根據本發明，具有耐磨損，可以在惡劣的環境中穩定運行。

技術領域

本發明涉及真空微電子的技術領域，特別涉及一種耐磨導電金剛石定位器。

背景技術

在很多機械加工領域，在加工過程中對運動組件的位置時刻需要有精確的定位要求。利用已經定位的多電極組成的電極陣列與運動組件構成電極對的導電與否進行對往復運動件的定位是一種常用的定位方式。但是在使用中，由于運動件電極與固定件電極之間因為往復運動，容易產生磨損甚至失效，導致這種定位方式的使用期限不夠理想；另外，在一些有腐蝕性的使用環境中，對定位器的化學穩定性也有較高的要求。

金剛石具有最高的硬度，同時金剛石表面具有非常低的摩擦系數，因此金剛石具有非常優異的耐磨性能。如果能用金剛石作為往復運動之間的摩擦面材料，可以大幅度提高摩擦面的耐摩擦性能，從而提高定位器的使用壽命。同時金剛石在常溫環境中可以抵御任何化學物品的侵蝕，因此用金剛石作為定位器，可以使用在比較惡劣的環境中，比如含有輻射，有化學品輻射的環境中。

發明內容

針對現有技術中存在的不足之處，本發明的目的是提供一種耐磨導電金剛石定位器，具有耐磨損，可以在惡劣的環境中穩定運行。為了實現根據本發明的上述目的和其他優點，提供了一種耐磨導電金剛石定位器，包括：

支撐座、固定于所述支撐座上的CVD絕緣金剛石膜、固接于所述CVD絕緣金剛石膜上的摻硼導電金剛石膜及位于所述摻硼導電金剛石膜上往復運動的運動件；

所述摻硼導電金剛石膜沿長度方向上刻蝕有多個溝槽，多個所述溝槽用于將摻硼導電金剛石膜分割成多個獨立的區域段，所述區域段用于運動件位于摻硼導電金剛石膜上往復運動時與摻硼導電金剛石膜形成接觸和脫離接觸兩個接觸狀態。

優選的，所述支撐座上開設有一安裝槽，所述安裝槽內固接有CVD絕緣金剛石膜，且所述安裝槽的長度為第一長度值，所述第一長度值大于CVD絕緣金剛石膜的長度值。

優選的，所述區域段包括平面部以及與所述平面部一體式連接的豎直部，所述平面部位于CVD絕緣金剛石膜遠離支撐座的端面上，所述豎直部位于與平面部相鄰的CVD絕緣金剛石膜側面上。

優選的，所述運動件位于所述平面部上做往復運動，所述豎直部的端面上固接有電極導線連接點，所述電極導線連接點上固接有電極導線。

優選的，所述CVD絕緣金剛石膜的電阻率1013Ω/cm，所述摻硼導電金剛石膜的電阻率在10^-3---10⁶Ω/cm之間。

優選的，每個區域段之間相互絕緣。

優選的，所述CVD絕緣金剛石膜與摻硼導電金剛石膜構成固定電極，所述運動件構成運動電極，所述固定電極的形狀根據運動電極的運動軌跡進行一一相對應。

優選的，所述固定電極的形狀包括直線形、圓環形、2D形狀或3D形狀。

本發明與現有技術相比，其有益效果是：通過將摻硼導電金剛石膜分割成多個獨立的區段，使得運動電極在該摻硼導電金剛石膜上進行往復運動，使得運動電極分別與導電金剛石膜接觸和脫離接觸，使得不同區段的導電CVD金剛石膜處于電極接通和脫離接通的狀態，從而能確定運動部件的行程定位，該定位器具有耐磨損，可以在惡劣的環境中穩定運行。

附圖說明

圖1為根據本發明的耐磨導電金剛石定位器的結構示意圖；