[發明專利]一種耐磨導電金剛石定位器在審
| 申請號： | 202110645840.3 | 申請日： | 2021-06-10 |
| 公開（公告）號： | CN113523836A | 公開（公告）日： | 2021-10-22 |
| 發明（設計）人： | 胡常青;趙建海;王子龍 | 申請（專利權）人： | 上海鉑世光半導體科技有限公司 |
| 主分類號： | B23Q1/26 | 分類號： | B23Q1/26 |
| 代理公司： | 上海邦德專利代理事務所(普通合伙) 31312 | 代理人： | 余娜 |
| 地址： | 201707 上*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 耐磨 導電 金剛石 定位器 | ||
1.一種耐磨導電金剛石定位器，其特征在于，包括：
支撐座(4)、固定于所述支撐座(4)上的CVD絕緣金剛石膜(5)、固接于所述CVD絕緣金剛石膜(5)上的摻硼導電金剛石膜(2)及位于所述摻硼導電金剛石膜(2)上往復運動的運動件(1)；
所述摻硼導電金剛石膜(2)沿長度方向上刻蝕有多個溝槽(7)，多個所述溝槽(7)用于將摻硼導電金剛石膜(2)分割成多個獨立的區域段，所述區域段用于運動件(1)位于摻硼導電金剛石膜(2)上往復運動時與摻硼導電金剛石膜(2)形成接觸和脫離接觸兩個接觸狀態。
2.如權利要求1所述的一種耐磨導電金剛石定位器，其特征在于，所述支撐座(4)上開設有一安裝槽，所述安裝槽內固接有CVD絕緣金剛石膜(5)，且所述安裝槽的長度為第一長度值，所述第一長度值大于CVD絕緣金剛石膜(5)的長度值。
3.如權利要求1所述的一種耐磨導電金剛石定位器，其特征在于，所述區域段包括平面部以及與所述平面部一體式連接的豎直部，所述平面部位于CVD絕緣金剛石膜(5)遠離支撐座(4)的端面上，所述豎直部位于與平面部相鄰的CVD絕緣金剛石膜(5)側面上。
4.如權利要求3所述的一種耐磨導電金剛石定位器，其特征在于，所述運動件(1)位于所述平面部上做往復運動，所述豎直部的端面上固接有電極導線連接點(6)，所述電極導線連接點上固接有電極導線(3)。
5.如權利要求1所述的一種耐磨導電金剛石定位器，其特征在于，所述CVD絕緣金剛石膜(5)的電阻率1013Ω/cm，所述摻硼導電金剛石膜(2)的電阻率在10-3---106Ω/cm之間。
6.如權利要求1所述的一種耐磨導電金剛石定位器，其特征在于，每個區域段之間相互絕緣。
7.如權利要求1所述的一種耐磨導電金剛石定位器，其特征在于，所述CVD絕緣金剛石膜(5)與摻硼導電金剛石膜(2)構成固定電極，所述運動件(1)構成運動電極，所述固定電極的形狀根據運動電極的運動軌跡進行一一相對應。
8.如權利要求7所述的一種耐磨導電金剛石定位器，其特征在于，所述固定電極的形狀包括直線形、圓環形、、2D形狀或3D形狀。
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