[發明專利]檢測方法及檢測設備

在審

• 申請號: 202110644261.7
• 申請日: 2021-06-09
• 公開（公告）號: CN113376180A
• 公開（公告）日: 2021-09-10
• 發明（設計）人: 陳魯;王天民;張嵩
• 申請（專利權）人: 深圳中科飛測科技股份有限公司
• 主分類號: G01N21/956
• 分類號: G01N21/956;G01N21/01
• 代理公司: 深圳市沈合專利代理事務所(特殊普通合伙) 44373
• 代理人: 蔡燕翔

本申請公開了一種檢測方法。檢測方法用于檢測工件的位置偏差，工件形成有第一標記及第二標記，檢測方法包括：利用成像裝置對準第一標記的目標物理位置，采集包括第一標記的圖像為第一圖像；驅動成像裝置與工件中的至少一個運動，以使成像裝置對準第二標記的目標物理位置；利用成像裝置采集包括第二標記的圖像為第二圖像；及依據第一圖像與第二圖像檢測工件的位置偏差。本申請還公開了一種檢測設備。無論工件的第一標記與第二標記如何分布，都能夠通過成像裝置采集圖像，然后檢測工件的位置偏差，使得運用檢測方法的檢測設備能夠適用多種元件的檢測需求。

技術領域

本申請涉及工業檢測技術領域，特別涉及一種檢測方法及檢測設備。

背景技術

目前，在面板、晶圓等元件的自動光學檢測(Automated Optical Inspection,AOI)設備中，在對元件進行缺陷檢測前，需要對元件的擺放位置進行校正，以保證后續缺陷檢測的正常進行。校正元件的擺放位置前，需要先確定元件的當前位置偏差，對于同一批次的元件而言，標記的位置和數量通常是固定的，通過固定好的相機對標記進行拍照后再進行分析可以得到位置偏差。然而，需要檢測的元件有不同種類或者不同批次，這些元件之間的標記分布情況存在較大的差異，一臺AOI設備只能針對一種標記分布情況的元件進行位置偏差的檢測，不能適用于多種元件的檢測需求。

發明內容

本申請實施方式提供了一種檢測方法及檢測設備。

本申請實施方式的檢測方法用于檢測工件的位置偏差，所述工件形成有第一標記及第二標記，所述檢測方法包括：

利用成像裝置對準所述第一標記的目標物理位置，采集包括所述第一標記的圖像為第一圖像；

驅動所述成像裝置與所述工件中的至少一個運動，以使所述成像裝置對準所述第二標記的目標物理位置；

利用所述成像裝置采集包括所述第二標記的圖像為第二圖像；及

依據所述第一圖像與所述第二圖像檢測所述工件的位置偏差。

在某些實施方式中，所述利用成像裝置對準所述第一標記的目標物理位置，采集包括所述第一標記的圖像為第一圖像，包括：

利用所述成像裝置對準所述第一標記的目標物理位置，以第一視場采集圖像為第一初始圖像；

若所述第一初始圖像中包括所述第一標記的圖像，則以所述第一初始圖像作為所述第一圖像；及

若所述第一初始圖像中不包括所述第一標記的圖像，則利用所述成像裝置對準所述第一標記的目標物理位置，以第二視場采集圖像作為所述第一圖像，所述第二視場大于所述第一視場。

在某些實施方式中，所述利用所述成像裝置采集包括所述第二標記的圖像為第二圖像，包括：

利用所述成像裝置以初始視場采集圖像為第二初始圖像，所述初始視場為采集得到所述第一圖像時所述成像裝置的視場。

在某些實施方式中，所述利用所述成像裝置采集包括所述第二標記的圖像為第二圖像，包括：若所述初始視場為所述第一視場，且所述第二初始圖像不包括所述第二標記的圖像，則利用所述成像裝置以所述第二視場采集圖像作為所述第二圖像；

在所述利用所述成像裝置采集包括所述第二標記的圖像為第二圖像后，所述檢測方法還包括：

驅動所述成像裝置與所述工件中的至少一個運動，以使所述成像裝置對準所述第一標記的目標物理位置；及

利用所述成像裝置以所述第二視場采集圖像作為更新后的第一圖像。

在某些實施方式中，所述驅動所述成像裝置與所述工件中的至少一個運動，以使所述成像裝置對準所述第二標記的目標物理位置，包括：