[發(fā)明專利]檢測方法及檢測設(shè)備

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110644261.7
• 申請日: 2021-06-09
• 公開（公告）號: CN113376180A
• 公開（公告）日: 2021-09-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳魯;王天民;張嵩
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳中科飛測科技股份有限公司
• 主分類號: G01N21/956
• 分類號: G01N21/956;G01N21/01
• 代理公司: 深圳市沈合專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 44373
• 代理人: 蔡燕翔

1.一種檢測方法，其特征在于，用于檢測工件的位置偏差，所述工件形成有第一標(biāo)記及第二標(biāo)記，所述檢測方法包括：

利用成像裝置對準(zhǔn)所述第一標(biāo)記的目標(biāo)物理位置，采集包括所述第一標(biāo)記的圖像為第一圖像；

驅(qū)動所述成像裝置與所述工件中的至少一個運動，以使所述成像裝置對準(zhǔn)所述第二標(biāo)記的目標(biāo)物理位置；

利用所述成像裝置采集包括所述第二標(biāo)記的圖像為第二圖像；及

依據(jù)所述第一圖像與所述第二圖像檢測所述工件的位置偏差。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測方法，其特征在于，所述利用成像裝置對準(zhǔn)所述第一標(biāo)記的目標(biāo)物理位置，采集包括所述第一標(biāo)記的圖像為第一圖像，包括：

利用所述成像裝置對準(zhǔn)所述第一標(biāo)記的目標(biāo)物理位置，以第一視場采集圖像為第一初始圖像；

若所述第一初始圖像中包括所述第一標(biāo)記的圖像，則以所述第一初始圖像作為所述第一圖像；及

若所述第一初始圖像中不包括所述第一標(biāo)記的圖像，則利用所述成像裝置對準(zhǔn)所述第一標(biāo)記的目標(biāo)物理位置，以第二視場采集圖像作為所述第一圖像，所述第二視場大于所述第一視場。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的檢測方法，其特征在于，所述利用所述成像裝置采集包括所述第二標(biāo)記的圖像為第二圖像，包括：

利用所述成像裝置以初始視場采集圖像為第二初始圖像，所述初始視場為采集得到所述第一圖像時所述成像裝置的視場。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的檢測方法，其特征在于，所述利用所述成像裝置采集包括所述第二標(biāo)記的圖像為第二圖像，包括：若所述初始視場為所述第一視場，且所述第二初始圖像不包括所述第二標(biāo)記的圖像，則利用所述成像裝置以所述第二視場采集圖像作為所述第二圖像；

在所述利用所述成像裝置采集包括所述第二標(biāo)記的圖像為第二圖像后，所述檢測方法還包括：

驅(qū)動所述成像裝置與所述工件中的至少一個運動，以使所述成像裝置對準(zhǔn)所述第一標(biāo)記的目標(biāo)物理位置；及

利用所述成像裝置以所述第二視場采集圖像作為更新后的第一圖像。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至4任意一項所述的檢測方法，其特征在于，所述驅(qū)動所述成像裝置與所述工件中的至少一個運動，以使所述成像裝置對準(zhǔn)所述第二標(biāo)記的目標(biāo)物理位置，包括：

驅(qū)動所述工件沿第一方向運動，及/或，驅(qū)動所述成像裝置沿第二方向運動；其中，所述第一方向與所述第二方向不同。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至4任意一項所述的檢測方法，其特征在于，所述根據(jù)所述第一圖像與所述第二圖像檢測所述工件的位置偏差，包括：

識別所述第一標(biāo)記在所述第一圖像中的第一圖上位置，以及所述第二標(biāo)記在所述第二圖像中的第二圖上位置；

依據(jù)所述第一圖上位置、以及所述第一標(biāo)記的目標(biāo)圖上位置，計算所述第一標(biāo)記的當(dāng)前物理位置與目標(biāo)物理位置的第一物理距離；

依據(jù)所述第二圖上位置、以及所述第二標(biāo)記的目標(biāo)圖上位置，計算所述第二標(biāo)記的當(dāng)前物理位置與目標(biāo)物理位置的第二物理距離；及

依據(jù)所述第一物理距離、所述第二物理距離、以及所述第一標(biāo)記與所述第二標(biāo)記之間的標(biāo)準(zhǔn)物理距離，計算所述工件的位置偏差。

7.一種檢測設(shè)備，其特征在于，用于檢測工件的位置偏差，所述工件形成有第一標(biāo)記及第二標(biāo)記，所述檢測設(shè)備包括：

成像裝置，所述成像裝置用于對準(zhǔn)所述第一標(biāo)記的目標(biāo)物理位置，采集包括所述第一標(biāo)記的圖像為第一圖像；及

驅(qū)動裝置，所述驅(qū)動裝置用于驅(qū)動所述成像裝置與所述工件中的至少一個運動，以使所述成像裝置對準(zhǔn)所述第二標(biāo)記的目標(biāo)物理位置；

所述成像裝置還用于采集包括所述第二標(biāo)記的圖像為第二圖像；

所述檢測設(shè)備還包括處理裝置，所述處理裝置用于依據(jù)所述第一圖像與所述第二圖像檢測所述工件的位置偏差。