[發明專利]一種晶圓抓取裝置及控制方法

在審

• 申請號: 202110631220.4
• 申請日: 2021-06-07
• 公開（公告）號: CN113380689A
• 公開（公告）日: 2021-09-10
• 發明（設計）人: 尹明清
• 申請（專利權）人: 深圳市星國華先進裝備科技有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683
• 代理公司: 合肥國晟知識產權代理事務所(普通合伙) 34204
• 代理人: 戈余麗

1.一種晶圓抓取裝置，包括盒體(1)和吸附端，所述吸附端設置于所述盒體(1)一側，所述盒體(1)底部設置有控制器，其特征在于：所述吸附端包括吸附機構(2)，所述吸附機構(2)包括若干個負壓凹槽(21)，

彈性聯動組件(3)，設置在所述負壓凹槽(21)內部，用于檢測負壓凹槽(21)內壓力是否充足；

觸發機構，設置在所述負壓凹槽(21)內腔底部，與所述彈性聯動組件(3)配合使用；

通風管道(4)，所述通風管道(4)共有兩組，所述通風管道(4)與所述負壓凹槽(21)底部連接，每個所述通風管道(4)另一端設置有進風機構(5)，所述進風機構(5)用于所述吸附機構(2)提供動力；

進氣轉換閥(6)，設置在通風管道(4)靠近所述進風機構(5)的一端，用于轉換所述通風管道(4)與所述進風機構(5)之間的連通方式；

進氣控制閥(7)，設置在所述進氣轉換閥(6)的另一端，用于調節通風管道(4)內的風速。

2.根據權利要求1所述的一種晶圓抓取裝置，其特征在于：所述吸附機構(2)中部設置有環形開口(22)，所述負壓凹槽(21)分布在所述環形開口(22)周側，所述吸附機構(2)還包括出風口(23)，所述出風口(23)位于所述負壓凹槽(21)端部，且所述出風口(23)延伸于所述盒體(1)上方。

3.根據權利要求2所述的一種晶圓抓取裝置，其特征在于：所述彈性聯動組件(3)包括彈性連桿(31)，所述彈性連桿(31)底部與所述觸發機構連接，所述彈性連桿(31)端部設置有懸浮件(32)，所述懸浮件(32)在彈性連桿(31)作用下懸在所述觸發機構上方，且位于所述負壓凹槽(21)內腔上部。

4.根據權利要求3所述的一種晶圓抓取裝置，其特征在于：所述懸浮件(32)包括聯動桿(33)，所述聯動桿(33)上方設置有聯動片(34)，所述聯動片(34)位于所述出風口(23)端部，使得產生一定負壓后，聯動片(34)帶動聯動桿(33)與所述觸發機構接觸。

5.根據權利要求1所述的一種晶圓抓取裝置，其特征在于：所述通風管道(4)包括主線管道(41)，所述主線管道(41)延伸于所述吸附機構(2)中部，所述主線管道(41)端部分別設置有與所述負壓凹槽(21)連接的支線管道(42)，每個所述支線管道(42)長度相等，所述主線管道(41)另一端與所述進風機構(5)連接，所述進風機構(5)包括進風接頭(51)，所述進風接頭(51)端部延伸于所述盒體(1)外側。

6.根據權利要求5所述的一種晶圓抓取裝置，其特征在于：所述進氣轉換閥(6)包括閥體(61)，所述閥體(61)中部開設有換氣凹槽(62)，所述換氣凹槽(62)兩側分別設置有進氣接口和出氣接口，所述進氣接口和出氣接口分別連接有兩個所述主線管道(41)，所述換氣凹槽(62)內設置有開閉板(63)，所述開閉板(63)靠近所述進氣接口一端通過驅動軸(64)與所述換氣凹槽(62)連接，所述換氣凹槽(62)正對所述驅動軸(64)位置和兩側均設置有限位開關(65)，所述開閉板(63)上開設有與所述限位開關(65)相對應的限位凹槽，驅動軸(64)可由驅動裝置帶動進行轉動。

7.根據權利要求6所述的一種晶圓抓取裝置，其特征在于：所述進氣控制閥(7)包括空氣流量調節閥(71)，所述進氣控制閥(7)設置在所述進氣轉換閥(6)的出氣接口一側，所述空氣流量調節閥(71)分別與所述主線管道(41)連接。

8.根據權利要求1所述的一種晶圓抓取裝置，其特征在于：所述進風機構(5)和進氣轉換閥(6)具有兩種模式，雙口進氣模式，通過兩個進風機構(5)連接兩個通風管道(4)并與吸附機構(2)連接，使得抓取裝置正常運作時，擁有兩個動力源；單口進氣模式，在其中一個動力源出現故障后，通過進氣轉換閥(6)更換關閉一個進風機構(5)連接的通風管道(4)，使得所述吸附機構(2)由一個進風機構(5)提供動力源，使得抓取裝置可以短時間內持續工作。

9.一種根據權利要求8所述的晶圓抓取裝置的控制方法，其特征在于：所述抓取裝置遠離吸附機構(2)的一端與機械臂連接，控制抓取裝置對晶圓片進行吸附抓取；

所述晶圓抓取裝置抓取晶圓時執行步驟：

S1吸附機構(2)對晶圓片進行吸附抓取；

S2所述抓取裝置在機械臂控制下，將晶圓片送至指定區域；

S3當一側進風機構(5)出現故障時，負壓凹槽(21)中的彈性聯動組件(3)與觸發機構斷開，控制器控制進氣轉換閥(6)對抓取裝置的吸附動力源由雙口進氣模式更改為單口進氣模式，繼續完成晶圓片的抓取。