[發(fā)明專利]平臺移動裝置

有效

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• 申請日: 2021-06-01
• 公開（公告）號: CN113315411B
• 公開（公告）日: 2022-09-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 左蕾;王振華;黃孝山;許良
• 申請（專利權(quán)）人: 上海隱冠半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
• 主分類號: H02N2/02
• 分類號: H02N2/02
• 代理公司: 上海上谷知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31342
• 代理人: 陳程;蔡繼清

本發(fā)明公開了一種平臺移動裝置。本發(fā)明中，平臺移動裝置包括：底板；基座，設(shè)置在底板的上方；至少三個尺蠖電機(jī)，用于驅(qū)動基座，以帶動位于基座上方的平臺移動；尺蠖電機(jī)設(shè)置在底板上，且尺蠖電機(jī)中至少三個不共線；各尺蠖電機(jī)的輸出方向一致；以及，至少三個壓電陶瓷致動器，用于驅(qū)動平臺；壓電陶瓷致動器與基座相連，且壓電陶瓷致動器中至少三個不共線；各壓電陶瓷致動器的輸出方向與尺蠖電機(jī)的輸出方向相同。與現(xiàn)有技術(shù)相比，使得可在真空、無磁條件中使用，且滿足大行程位移量和微米級、納米級位移調(diào)整。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及微驅(qū)動應(yīng)用技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種平臺移動裝置。

背景技術(shù)

隨著各種儀器設(shè)備對高精度位移的控制要求越來越高，微納精度的執(zhí)行器需求也隨之越來越多，比如高精密光學(xué)檢測設(shè)備，變形鏡，電子顯微鏡掃描運(yùn)動臺，膜厚檢測設(shè)備，壓電點(diǎn)膠設(shè)備等。

中國專利CN104362890A中提出了利用慣性電機(jī)原理實(shí)現(xiàn)雙向運(yùn)動的慣性粘滑式跨尺度精密運(yùn)動平臺，利于慣性沖擊力形成驅(qū)動，從而實(shí)現(xiàn)平臺快速大行程的精密定位、多自由度驅(qū)動、并且不需要專門的位置保持裝置。但是，因利用慣性沖擊力驅(qū)動導(dǎo)致平臺負(fù)載低，無法在高精度高負(fù)載條件下使用。

美國專利US6959484B1提出了一種在光刻機(jī)中應(yīng)用的壓電陶瓷技術(shù)，通過使用多組壓電致動器，從而實(shí)現(xiàn)光刻機(jī)的高精密移動，并實(shí)現(xiàn)了較高的負(fù)載，相對完美的實(shí)現(xiàn)了光刻機(jī)的微動高精度需求。但該方案只能適用于微米級納米級的移動，大行程的移動依舊采用機(jī)械式、液壓式、氣動式、電磁式等執(zhí)行器。該類驅(qū)動件的零部件較多，本征頻率較低，穩(wěn)態(tài)較低。

因此，在大平臺檢測機(jī)構(gòu)中，無法在真空、無磁條件運(yùn)用，且無法同時滿足大行程位移量和微米級、納米級的位移微調(diào)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種平臺移動裝置，可在真空、無磁條件中使用，且滿足大行程位移量和微米級、納米級位移調(diào)整。

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明的實(shí)施方式提供了一種平臺移動裝置，包括：

底板；

基座，設(shè)置在所述底板的上方；

至少三個尺蠖電機(jī)，用于驅(qū)動所述基座，以帶動位于所述基座上方的平臺移動；所述尺蠖電機(jī)設(shè)置在所述底板上，且所述尺蠖電機(jī)中至少三個不共線；各所述尺蠖電機(jī)的輸出方向一致；以及，

至少三個壓電陶瓷致動器，用于驅(qū)動所述平臺；所述壓電陶瓷致動器與所述基座相連，且所述壓電陶瓷致動器中至少三個不共線；各所述壓電陶瓷致動器的輸出方向與所述尺蠖電機(jī)的輸出方向相同。尺蠖電機(jī)中至少三個在底板上的正投影不共線，壓電陶瓷致動器中至少三個在底板上的正投影不共線。

在一實(shí)施例中，所述尺蠖電機(jī)沿所述基座的周邊設(shè)置并間隔開。

在一實(shí)施例中，任意相鄰的兩個所述尺蠖電機(jī)之間距離相等。

在一實(shí)施例中，所述壓電陶瓷致動器沿所述基座的周邊設(shè)置并間隔開。

在一實(shí)施例中，任意相鄰的兩個所述壓電陶瓷致動器之間距離相等。

在一實(shí)施例中，相鄰的兩個所述壓電陶瓷致動器之間設(shè)置有至少一個所述尺蠖電機(jī)。

在一實(shí)施例中，所述基座為框形結(jié)構(gòu)。

在一實(shí)施例中，所述基座為矩形框結(jié)構(gòu)，包括四條側(cè)邊，四條所述側(cè)邊圍設(shè)形成所述基座；

四條所述側(cè)邊上分別至少設(shè)置有一個所述尺蠖電機(jī)。

在一實(shí)施例中，所述基座的直角處設(shè)置有所述壓電陶瓷致動器。

在一實(shí)施例中，所述基座的底部開設(shè)有安裝槽；所述尺蠖電機(jī)安裝在所述安裝槽中，且所述尺蠖電機(jī)的動子抵持所述安裝槽的頂部，所述尺蠖電機(jī)的定子設(shè)置在所述底板(200)上。