[發(fā)明專利]圖像校準(zhǔn)方法和裝置、設(shè)備及存儲介質(zhì)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110607397.0
• 申請日: 2021-06-01
• 公開（公告）號: CN113327204A
• 公開（公告）日: 2021-08-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉成成;韓春營;陳晨;陳杰運(yùn);俞宗強(qiáng);蔣俊海
• 申請（專利權(quán)）人: 中科晶源微電子技術(shù)（北京）有限公司
• 主分類號: G06T5/00
• 分類號: G06T5/00;G06K9/62;G06T7/00
• 代理公司: 北京市鼎立東審知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11751
• 代理人: 陳佳妹;朱慧娟

本申請涉及一種圖像校準(zhǔn)方法和裝置、設(shè)備及存儲介質(zhì)，其中方法包括：由預(yù)先設(shè)置的兩種以上的校準(zhǔn)模式中選取當(dāng)前模式；基于當(dāng)前模式，由待檢測圖像中截取標(biāo)準(zhǔn)圖像，并使用標(biāo)準(zhǔn)圖像對待檢測圖像、第一參考圖像和第二參考圖像進(jìn)行匹配校準(zhǔn)，得到待檢測圖像與第一參考圖像的第一校準(zhǔn)結(jié)果，以及待檢測圖像與第二參考圖像的第二校準(zhǔn)結(jié)果；對第一校準(zhǔn)結(jié)果和第二校準(zhǔn)結(jié)果進(jìn)行準(zhǔn)確性判斷；在判斷出第一校準(zhǔn)結(jié)果和第二校準(zhǔn)結(jié)果均不準(zhǔn)確時，更換當(dāng)前的校準(zhǔn)模式，并基于更換后的校準(zhǔn)模式對待檢測圖像、第一參考圖像和第二參考圖像進(jìn)行匹配校準(zhǔn)。通過對待檢測圖像的不同截取方式進(jìn)行區(qū)分并定義為不同的校準(zhǔn)模式，有效提高了圖像校準(zhǔn)結(jié)果的準(zhǔn)確度。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請涉及半導(dǎo)體檢測技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種圖像校準(zhǔn)方法和裝置、設(shè)備及存儲介質(zhì)。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體制造流程中，通過缺陷檢測與分類進(jìn)行缺陷原因分析，并改善良率與生產(chǎn)。在缺陷檢測過程中，檢測精度（即，檢測的準(zhǔn)確度）對于改善良率至關(guān)重要，只有保證了檢測的準(zhǔn)確度，缺陷分類和分析等后續(xù)工藝才有意義，才能真實(shí)改善良率與生產(chǎn)。

其中，在半導(dǎo)體缺陷檢測領(lǐng)域中，各大成熟產(chǎn)品仍然使用C2C（Cellto Cell）方法和D2D（Die to Die）方法。兩種檢測方法中均包含校準(zhǔn)過程。在校準(zhǔn)過程中，校準(zhǔn)誤差問題是檢測過程中面臨的一大問題，特別是在D2D算法在處理同時含有周期性模板圖像和非周期性模板圖像時所面臨的校準(zhǔn)誤差較為明顯。因此，在校準(zhǔn)過程中有效降低校準(zhǔn)誤差對提升半導(dǎo)體缺陷檢測的準(zhǔn)確度具有非常關(guān)鍵的作用。

發(fā)明內(nèi)容

有鑒于此，本申請?zhí)岢隽艘环N圖像校準(zhǔn)方法，可以有效降低校準(zhǔn)過程中的校準(zhǔn)誤差，提高半導(dǎo)體缺陷檢測的準(zhǔn)確度。

根據(jù)本申請的一方面，提供了一種圖像校準(zhǔn)方法，包括：

由預(yù)先設(shè)置的兩種以上的校準(zhǔn)模式中選取當(dāng)前模式；其中，不同的所述校準(zhǔn)模式對應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)圖像在待檢測圖像中的不同截取方式；

基于所述當(dāng)前模式，由所述待檢測圖像中截取所述標(biāo)準(zhǔn)圖像，并使用所述標(biāo)準(zhǔn)圖像、第一參考圖像和第二參考圖像分別進(jìn)行匹配校準(zhǔn)，得到所述待檢測圖像與所述第一參考圖像的第一校準(zhǔn)結(jié)果，以及所述待檢測圖像與所述第二參考圖像的第二校準(zhǔn)結(jié)果；

對所述第一校準(zhǔn)結(jié)果和所述第二校準(zhǔn)結(jié)果進(jìn)行準(zhǔn)確性判斷；

在判斷出所述第一校準(zhǔn)結(jié)果和所述第二校準(zhǔn)結(jié)果均不準(zhǔn)確時，更換當(dāng)前的校準(zhǔn)模式，并基于更換后的校準(zhǔn)模式對所述待檢測圖像、所述第一參考圖像和所述第二參考圖像進(jìn)行匹配校準(zhǔn)。

在一種可能的實(shí)現(xiàn)方式中，所述校準(zhǔn)模式包括第一校準(zhǔn)模式、第二校準(zhǔn)模式和第三校準(zhǔn)模式；

所述第一校準(zhǔn)模式中所定義的所述標(biāo)準(zhǔn)圖像在所述待檢測圖像中的截取方式為：由所述待檢測圖像中的中心截取；

所述第二校準(zhǔn)模式中所定義的所述標(biāo)準(zhǔn)圖像在所述待檢測圖像中的截取方式為：由所述待檢測圖像中的左下角截取；

所述第三校準(zhǔn)模式中所定義的所述標(biāo)準(zhǔn)圖像在所述待檢測圖像中的截取方式為：由所述待檢測圖像中的右上角截取。

在一種可能的實(shí)現(xiàn)方式中，對所述第一校準(zhǔn)結(jié)果和所述第二校準(zhǔn)結(jié)果進(jìn)行準(zhǔn)確性判斷時，通過分別計(jì)算所述第一校準(zhǔn)結(jié)果所對應(yīng)的校準(zhǔn)分?jǐn)?shù)以及所述第二校準(zhǔn)結(jié)果所對應(yīng)的校準(zhǔn)分?jǐn)?shù)，并根據(jù)計(jì)算得到的所述校準(zhǔn)分?jǐn)?shù)進(jìn)行判斷。

在一種可能的實(shí)現(xiàn)方式中，分別計(jì)算所述第一校準(zhǔn)結(jié)果所對應(yīng)的校準(zhǔn)分?jǐn)?shù)以及所述第二校準(zhǔn)結(jié)果所對應(yīng)的校準(zhǔn)分?jǐn)?shù)，包括：

基于所述第一校準(zhǔn)結(jié)果和所述第二校準(zhǔn)結(jié)果，對所述第一參考圖像和所述第二參考圖像進(jìn)行平移矯正；

在所述待檢測圖像與所述第一參考圖像的重疊區(qū)域，以及所述待檢測圖像與所述第二參考圖像的重疊區(qū)域分別計(jì)算所述第一校準(zhǔn)結(jié)果對應(yīng)的校準(zhǔn)分?jǐn)?shù)以及所述第二校準(zhǔn)結(jié)果對應(yīng)的校準(zhǔn)分?jǐn)?shù)。

在一種可能的實(shí)現(xiàn)方式中，更換當(dāng)前的校準(zhǔn)模式之前，還包括：

判斷所述當(dāng)前模式是否為設(shè)定模式；