[發明專利]多通道高精度靜態稀釋系統

有效

• 申請號: 202110605984.6
• 申請日: 2021-06-02
• 公開（公告）號: CN113405887B
• 公開（公告）日: 2022-12-09
• 發明（設計）人: 不公告發明人
• 申請（專利權）人: 北京高斯匹克技術有限公司
• 主分類號: G01N1/38
• 分類號: G01N1/38
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

多通道高精度靜態稀釋系統。本發明應用于氣體靜態稀釋，使用五種不同的模塊化設計以實現不同稀釋比和不同精度要求的氣體自動稀釋、系統自動清潔、質控和自動輸出過程。通過對管路和接口的處理，有效的控制了死體積對結果的影響，達到明確評價系統誤差的目的。

技術領域：

氣體靜態稀釋

背景技術：

1.氣體靜態稀釋方法主要用于對目標氣體定量分析系統的校準和質控，目前高精度產品大多為進口產品，而進口產品受限于產品本身，氣體稀釋和清潔采用不同設備，稀釋比范圍較窄，很多情況需要使用多臺設備串聯使用才能達到目標效果，同時，串聯將帶來更大的誤差；

2.國產設備大多為動態稀釋法，受原理限制，動態稀釋法對于高稀釋比準確性無法做到高精度控制，同時，動態法會消耗更多的標準氣體，很多標準氣體價格非常高，會產生高運行成本；

3.很多生產廠家利用市場上購買的流量控制器進行控制，當對高靈敏度和高準確性設備進行校準和質控的時候，精度和重現性不能達到要求。

發明內容：

發明目的：

1.使用模塊化設計以實現多種不同稀釋比和不同精度的氣體自動稀釋、自動系統清潔、質控和自動輸出過程。

2.通過使用處理管路和接口有效控制死體積對結果的影響，可明確評價系統誤差。

實現過程：

1.多通道高精度靜態稀釋系統，由固定稀釋比模塊，任意稀釋比模塊，靜態稀釋氣并聯存儲模塊，靜態稀釋氣串聯存儲模塊，六通道并聯氣體存儲模塊幾個模塊組成。

2.固定稀釋比模塊：此模塊利用高精度體積校準方法和一路大流量稀釋氣，對被稀釋氣進行高精度的稀釋，采用對單點位稀釋氣校準和補償，通過改變不同氣罐體積和定量環體積實現最高精度多濃度的稀釋過程。

3.任意稀釋比模塊：此模塊利用一路大流量稀釋氣和一路小流量樣品氣進行分時進氣方式，采用對稀釋氣單點校準和補償，對樣品氣體的多點校準和補償實現任意稀釋比，通過緩沖腔、分流、限流的方式保證樣品系統擾動最小。

4.靜態稀釋氣并聯存儲模塊：此模塊利用兩路并聯的氣罐進行氣體存儲，通過稀釋氣、加濕氣體和真空泵進行系統清洗，通過切換閥的方式進行氣流變換。通過壓力控制流量模塊或直接進行氣體輸出。

5.靜態稀釋氣串聯存儲模塊：此模塊利用兩路串聯的氣罐進行氣體存儲，通過稀釋氣、加濕氣體和真空泵進行系統清洗，通過切換閥的方式進行氣流變換。通過壓力控制流量模塊或直接進行氣體輸出。

6.六通道并聯氣體存儲模塊：此模塊利用六路并聯的氣罐進行氣體存儲，通過稀釋氣、加濕氣體和真空泵進行系統清洗，通過切換閥的方式進行氣流變換。通過壓力控制流量模塊或直接進行氣體輸出。

實現過程體現技術特點：

1.高精度稀釋模塊(固定稀釋比模塊)：此過程無理論死體積，稀釋誤差來源于系統操作過程中的控制閥切換帶來的氣流擾動和稀釋氣輸入精度。

2.普通精度稀釋模塊(任意稀釋比模塊)：稀釋誤差來源于系統操作過程中的控制切換帶來的氣流擾動、

稀釋氣和樣品氣輸入精度，此系統比固定稀釋比模塊誤差略大。

3.并聯存儲方式：此方式特點在于在使用頻率不高的情況下，總有一罐氣體可供使用，清洗過程與配氣及使用不會互相干擾。

4.串聯存儲方式：此方式特點在于可實現更高的用氣量，當單次使用氣體量大時候，可以使用此模式進行配氣存儲。

5.六通道并聯存儲方式：當需要使用多點不同濃度氣體進行氣體分析設備校準時，可使用此方式。

發明效果：