[發明專利]一種芯片檢測分選設備

有效

• 申請號: 202110605814.8
• 申請日: 2021-05-31
• 公開（公告）號: CN113426701B
• 公開（公告）日: 2023-05-30
• 發明（設計）人: 歐志榮;劉旭海;溫志剛;唐政;高云峰
• 申請（專利權）人: 大族激光科技產業集團股份有限公司;深圳市大族電機科技有限公司
• 主分類號: B07C5/34
• 分類號: B07C5/34;B07C5/02;B07C5/36
• 代理公司: 深圳市世聯合知識產權代理有限公司 44385
• 代理人: 汪琳琳

本發明涉及生產自動化設備技術領域，公開一種芯片檢測分選設備。該設備包括：吸取檢測組件，包括運動平臺、設置在運動平臺上的檢測模塊和吸附件；芯片料盤放置包括用于放置芯片的芯片料盤；滾輪流道組件用于承接芯片載具，并使芯片夾具與所述芯片載具相分離，待芯片被吸取后芯片夾具復位；相機模組用于檢測吸附件的位置和角度信息；所述檢測模塊用于對芯片進行檢測，在檢測符合要求后進行等級識別，并確定芯片和芯片料盤的位置信息；根據所述位置和角度信息，驅動所述吸附件平移吸取芯片，并將芯片放置在對應級別的所述芯片料盤上。本發明能夠實現對芯片進行自動檢測分選，大大提高設備的自動化程度，也提高了設備的工作效率。

技術領域

本發明涉及生產自動化設備技術領域，更具體的說，特別涉及一種芯片檢測分選設備。

背景技術

芯片在使用前需要確定每個芯片的品質等級和性能，這就需要經過多次的檢測。而每次的檢測又可能產生新的問題，比如磕碰傷，劃痕等。所以都要對芯片進行AOI檢測和掃碼識別，識別芯片在前工序的測試性能和品質等級情況，以便于把同品質等級的芯片放在同一個料盤中，便于后工序使用。現有的技術中，針對芯片的檢測和識別、以及將芯片放置在料盤上等工序，都是在不同設備上分別完成實現的，即現有設備都是單一的功能，實現不了多功能的要求和多產品兼容性。

發明內容

本發明的目的在于針對現有技術存在的技術問題，提供一種芯片檢測分選設備，能夠進行芯片檢測和分選，整體結構簡單、功能可靠也易于實現，提高了生產效率和自動化程度。

為了解決以上提出的問題，本發明采用的技術方案為：

一種芯片檢測分選設備，用于對承載于芯片夾具上的芯片進行檢測分選，芯片夾具承載于芯片載具上，該芯片檢測分選設備包括：吸取檢測組件、滾輪流道組件、芯片料盤放置組件和相機模組；所述吸取檢測組件包括運動平臺、設置在運動平臺上的檢測模塊和吸附件，所述運動平臺帶動檢測模塊和吸附件進行平移；所述芯片料盤放置組件包括用于放置芯片的芯片料盤；

所述滾輪流道組件用于承接芯片載具，并使芯片夾具與所述芯片載具相分離，待芯片被吸取后芯片夾具復位；

所述相機模組用于檢測吸附件的位置和角度信息；

所述檢測模塊用于對芯片進行檢測，在檢測符合要求后進行等級識別，并確定芯片和芯片料盤的位置信息；

根據所述吸附件的位置和角度信息、以及芯片和芯片料盤的位置信息，運動平臺驅動所述吸附件平移吸取芯片，并將芯片放置在對應級別的所述芯片料盤上。

進一步的，所述檢測模塊包括設置在所述運動平臺的AOI檢測相機和定位檢測相機，所述AOI檢測相機用于對芯片進行AOI檢測，所述定位檢測相機用于對芯片進行等級識別，并確定芯片和芯片料盤的位置信息。

進一步的，所述滾輪流道組件包括分揀輸送線、設置在分揀輸送線上的載具定位模塊、載具阻擋模塊及載具推出模塊；所述載具定位模塊用于對芯片載具進行定位，并使芯片夾具和芯片載具相分離后并復位；所述載具阻擋模塊用于對芯片載具進行阻擋；所述載具推出模塊用于將芯片分離后的芯片載具推出分揀輸送線。

進一步的，所述載具推出模塊包括推出氣缸、與所述推出氣缸的連接線規滑塊、設置在所述線規滑塊上的推座，所述推座上設置有推板、及帶動所述推板升降運動的推板升降氣缸。

進一步的，所述芯片料盤放置組件還包括支撐架，所述芯片料盤位于所述支撐架上；所述支撐架上還設置有與所述芯片料盤相對應的快速接頭模塊、以及連接所述快速接頭模塊的手動閥。

進一步的，所述相機模組包括視覺安裝板、同軸設置在所述視覺安裝板的相機、鏡頭及環形光源，所述鏡頭位于所述相機和環形光源之間，所述相機與芯片的位置相對應。