[發(fā)明專利]一種用于半導(dǎo)體二極管制造過程中擊穿電壓檢測裝置在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202110602287.5 | 申請(qǐng)日: | 2021-05-31 |
| 公開(公告)號(hào): | CN113327865A | 公開(公告)日: | 2021-08-31 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 姚丹祥 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 廣州貝萊光電科技有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L21/66 | 分類號(hào): | H01L21/66;H01L29/861 |
| 代理公司: | 北京高航知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11530 | 代理人: | 王卓 |
| 地址: | 510665 廣東*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 用于 半導(dǎo)體 二極管 制造 過程 擊穿 電壓 檢測 裝置 | ||
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體分立器件制造技術(shù)領(lǐng)域,且公開了一種用于半導(dǎo)體二極管制造過程中擊穿電壓檢測裝置,包括轉(zhuǎn)動(dòng)裝置,所述轉(zhuǎn)動(dòng)裝置的右側(cè)設(shè)置有測試裝置,所述測試裝置的右側(cè)設(shè)置有推出裝置。該用于半導(dǎo)體二極管制造過程中擊穿電壓檢測裝置,通過轉(zhuǎn)動(dòng)裝置、測試裝置和推出裝置的配合使用,從而達(dá)到了將裝置放在托盤上卡接好后,啟動(dòng)裝置就能自動(dòng)完成測試的操作,且能自動(dòng)篩選掉不合格的半導(dǎo)體二極管,簡化了操作難度,提高了檢測的效率的效果。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體分立器件制造技術(shù)領(lǐng)域,具體為一種用于半導(dǎo)體二極管制造過程中擊穿電壓檢測裝置。
背景技術(shù)
半導(dǎo)體分立器通常指半導(dǎo)體二極管、半導(dǎo)體三極管和半導(dǎo)體特殊器件,而半導(dǎo)體二極管在制造完成后出廠之前要對(duì)其擊穿電壓進(jìn)行檢測,保證出廠的半導(dǎo)體二極管的擊穿電壓都能達(dá)標(biāo),以保證產(chǎn)品的安全性能。而因?yàn)榘雽?dǎo)體二極管只允許電流從正極的一端流向負(fù)極一端,所以通常檢測方法是給半導(dǎo)體施加一個(gè)設(shè)定好的反向電壓,使電流從二極管的負(fù)極進(jìn)入,當(dāng)二極管被擊穿時(shí)電流從二極管的正極流出,產(chǎn)品不合格,這樣操作繁瑣,較為耗費(fèi)人力。
發(fā)明內(nèi)容
(一)解決的技術(shù)問題
針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足,本發(fā)明提供了一種用于半導(dǎo)體二極管制造過程中擊穿電壓檢測裝置,具備將裝置放在托盤上卡接好后,啟動(dòng)裝置就能自動(dòng)完成測試的操作,且能自動(dòng)篩選掉不合格的半導(dǎo)體二極管,簡化了操作難度,提高了檢測的效率的優(yōu)點(diǎn),解決了因?yàn)榘雽?dǎo)體二極管只允許電流從正極的一端流向負(fù)極一端,所以通常檢測方法是給半導(dǎo)體施加一個(gè)設(shè)定好的反向電壓,使電流從二極管的負(fù)極進(jìn)入,當(dāng)二極管被擊穿時(shí)電流從二極管的正極流出,產(chǎn)品不合格,這樣操作繁瑣,較為耗費(fèi)人力的問題。
(二)技術(shù)方案
為實(shí)現(xiàn)上述將裝置放在托盤上卡接好后,啟動(dòng)裝置就能自動(dòng)完成測試的操作,且能自動(dòng)篩選掉不合格的半導(dǎo)體二極管,簡化了操作難度,提高了檢測的效率的目的,本發(fā)明提供如下技術(shù)方案:一種用于半導(dǎo)體二極管制造過程中擊穿電壓檢測裝置,包括轉(zhuǎn)動(dòng)裝置,所述轉(zhuǎn)動(dòng)裝置的右側(cè)設(shè)置有測試裝置,所述測試裝置的右側(cè)設(shè)置有推出裝置。
所述轉(zhuǎn)動(dòng)裝置包括動(dòng)力輪,所述動(dòng)力輪的表面轉(zhuǎn)動(dòng)連接有固定齒輪,所述動(dòng)力輪的表面固定連接有轉(zhuǎn)動(dòng)架,所述轉(zhuǎn)動(dòng)架的后側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有傳動(dòng)軸,所述傳動(dòng)軸的兩端固定連接有傳動(dòng)齒輪,所述轉(zhuǎn)動(dòng)架的右端轉(zhuǎn)動(dòng)連接有配合齒輪,所述配合齒輪的表面固定連接有托盤,所述托盤的表面設(shè)置有夾持架。
優(yōu)選的,所述動(dòng)力輪與外部電機(jī)連接,固定齒輪固定并與動(dòng)力輪轉(zhuǎn)動(dòng)連接且共圓心;所述轉(zhuǎn)動(dòng)架有三個(gè),轉(zhuǎn)動(dòng)架的一端與動(dòng)力輪固定連接,且在動(dòng)力輪的徑向上,且三個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)架之間的角度相等。
優(yōu)選的,所述傳動(dòng)軸有三個(gè),分別設(shè)置在三個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)架上,并分別與它們平行且轉(zhuǎn)動(dòng)連接,所述傳動(dòng)齒輪有六個(gè),每個(gè)傳動(dòng)軸的兩端分別固定連接有兩個(gè)傳動(dòng)齒輪,其中靠近固定齒輪的一端的傳動(dòng)齒輪與之嚙合。
優(yōu)選的,所述配合齒輪有三個(gè),分別轉(zhuǎn)動(dòng)連接在三個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)架的遠(yuǎn)離動(dòng)力輪的一端,并與這一端的傳動(dòng)齒輪嚙合;所述托盤和夾持架分別有三個(gè),三個(gè)托盤分別與三個(gè)配合齒輪固定連接且共圓心,三個(gè)夾持架分別設(shè)置在三個(gè)托盤上,且方向與水平線垂直。
所述測試裝置包括右測試塊,所述右測試塊的左側(cè)表面設(shè)置有正極觸點(diǎn),所述右測試塊的表面固定連接有連接桿,所述連接桿的左端固定連接有左測試塊,所述左測試塊的右側(cè)表面設(shè)置有負(fù)極觸點(diǎn)。
優(yōu)選的,所述右測試塊固定并與水平線垂直,正極觸點(diǎn)與外部電源的正極電連接,所述連接桿與水平線平行,左測試塊與右測試塊正對(duì),負(fù)極觸點(diǎn)與正極觸點(diǎn)正對(duì)。
所述推出裝置包括轉(zhuǎn)動(dòng)臂,所述轉(zhuǎn)動(dòng)臂的表面固定連接有限位扇形塊,所述限位扇形塊的表面設(shè)置有觸動(dòng)按鈕,所述限位扇形塊的右側(cè)設(shè)置有轉(zhuǎn)動(dòng)輪,所述轉(zhuǎn)動(dòng)輪的表面固定連接有轉(zhuǎn)動(dòng)推桿,所述轉(zhuǎn)動(dòng)輪的表面固定連接有間歇輪。
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- 專利分類
H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造
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