[發(fā)明專(zhuān)利]一種用于半導(dǎo)體二極管制造過(guò)程中擊穿電壓檢測(cè)裝置

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110602287.5
• 申請(qǐng)日: 2021-05-31
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113327865A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-08-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 姚丹祥
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 廣州貝萊光電科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/66
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/66;H01L29/861
• 代理公司: 北京高航知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11530
• 代理人: 王卓

1.一種用于半導(dǎo)體二極管制造過(guò)程中擊穿電壓檢測(cè)裝置，包括轉(zhuǎn)動(dòng)裝置(1)，其特征在于：所述轉(zhuǎn)動(dòng)裝置(1)的右側(cè)設(shè)置有測(cè)試裝置(2)，所述測(cè)試裝置(2)的右側(cè)設(shè)置有推出裝置(3)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于半導(dǎo)體二極管制造過(guò)程中擊穿電壓檢測(cè)裝置，其特征在于：所述轉(zhuǎn)動(dòng)裝置(1)包括動(dòng)力輪(11)，所述動(dòng)力輪(11)的表面轉(zhuǎn)動(dòng)連接有固定齒輪(12)，所述動(dòng)力輪(11)的表面固定連接有轉(zhuǎn)動(dòng)架(13)，所述轉(zhuǎn)動(dòng)架(13)的后側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有傳動(dòng)軸(14)，所述傳動(dòng)軸(14)的兩端固定連接有傳動(dòng)齒輪(15)，所述轉(zhuǎn)動(dòng)架(13)的右端轉(zhuǎn)動(dòng)連接有配合齒輪(16)，所述配合齒輪(16)的表面固定連接有托盤(pán)(17)，所述托盤(pán)(17)的表面設(shè)置有夾持架(18)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于半導(dǎo)體二極管制造過(guò)程中擊穿電壓檢測(cè)裝置，其特征在于：所述動(dòng)力輪(11)與外部電機(jī)連接，固定齒輪(12)固定并與動(dòng)力輪(11)轉(zhuǎn)動(dòng)連接且共圓心；所述轉(zhuǎn)動(dòng)架(13)有三個(gè)，轉(zhuǎn)動(dòng)架(13)的一端與動(dòng)力輪(11)固定連接，且在動(dòng)力輪(11)的徑向上，且三個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)架(13)之間的角度相等。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于半導(dǎo)體二極管制造過(guò)程中擊穿電壓檢測(cè)裝置，其特征在于：所述傳動(dòng)軸(14)有三個(gè)，分別設(shè)置在三個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)架(13)上，并分別與它們平行且轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述傳動(dòng)齒輪(15)有六個(gè)，每個(gè)傳動(dòng)軸(14)的兩端分別固定連接有兩個(gè)傳動(dòng)齒輪(15)，其中靠近固定齒輪(12)的一端的傳動(dòng)齒輪(15)與之嚙合。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于半導(dǎo)體二極管制造過(guò)程中擊穿電壓檢測(cè)裝置，其特征在于：所述配合齒輪(16)有三個(gè)，分別轉(zhuǎn)動(dòng)連接在三個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)架(13)的遠(yuǎn)離動(dòng)力輪(11)的一端，并與這一端的傳動(dòng)齒輪(15)嚙合；所述托盤(pán)(17)和夾持架(18)分別有三個(gè)，三個(gè)托盤(pán)(17)分別與三個(gè)配合齒輪(16)固定連接且共圓心，三個(gè)夾持架(18)分別設(shè)置在三個(gè)托盤(pán)(17)上，且方向與水平線垂直。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于半導(dǎo)體二極管制造過(guò)程中擊穿電壓檢測(cè)裝置，其特征在于：所述測(cè)試裝置(2)包括右測(cè)試塊(21)，所述右測(cè)試塊(21)的左側(cè)表面設(shè)置有正極觸點(diǎn)(22)，所述右測(cè)試塊(21)的表面固定連接有連接桿(23)，所述連接桿(23)的左端固定連接有左測(cè)試塊(24)，所述左測(cè)試塊(24)的右側(cè)表面設(shè)置有負(fù)極觸點(diǎn)(25)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種用于半導(dǎo)體二極管制造過(guò)程中擊穿電壓檢測(cè)裝置，其特征在于：所述右測(cè)試塊(21)固定并與水平線垂直，正極觸點(diǎn)(22)與外部電源的正極電連接，所述連接桿(23)與水平線平行，左測(cè)試塊(24)與右測(cè)試塊(21)正對(duì)，負(fù)極觸點(diǎn)(25)與正極觸點(diǎn)(22)正對(duì)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于半導(dǎo)體二極管制造過(guò)程中擊穿電壓檢測(cè)裝置，其特征在于：所述推出裝置(3)包括轉(zhuǎn)動(dòng)臂(31)，所述轉(zhuǎn)動(dòng)臂(31)的表面固定連接有限位扇形塊(32)，所述限位扇形塊(32)的表面設(shè)置有觸動(dòng)按鈕(33)，所述限位扇形塊(32)的右側(cè)設(shè)置有轉(zhuǎn)動(dòng)輪(34)，所述轉(zhuǎn)動(dòng)輪(34)的表面固定連接有轉(zhuǎn)動(dòng)推桿(35)，所述轉(zhuǎn)動(dòng)輪(34)的表面固定連接有間歇輪(36)。

9.根據(jù)權(quán)利要求6或8所述的一種用于半導(dǎo)體二極管制造過(guò)程中擊穿電壓檢測(cè)裝置，其特征在于：所述轉(zhuǎn)動(dòng)臂(31)有兩個(gè)，兩個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)臂(31)的一端固定連接，且連接位置與外部電機(jī)鉸接，該外部電機(jī)與負(fù)極觸點(diǎn)(25)電連接，轉(zhuǎn)動(dòng)臂(31)轉(zhuǎn)動(dòng)過(guò)程中帶動(dòng)間歇輪(36)間歇轉(zhuǎn)動(dòng)；所述限位扇形塊(32)與兩個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)臂(31)固定連接的一端固定連接，限位扇形塊(32)的轉(zhuǎn)動(dòng)軌跡與間歇輪(36)接觸，接觸時(shí)限制間歇輪(36)轉(zhuǎn)動(dòng)；所述轉(zhuǎn)動(dòng)推桿(35)有兩個(gè)，兩個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)推桿(35)關(guān)于轉(zhuǎn)動(dòng)輪(34)中心對(duì)稱(chēng)，轉(zhuǎn)動(dòng)推桿(35)的遠(yuǎn)離轉(zhuǎn)動(dòng)臂(31)的一端的轉(zhuǎn)動(dòng)軌跡經(jīng)過(guò)右測(cè)試塊(21)和左測(cè)試塊(24)之間。