[發(fā)明專利]晶舟、擴(kuò)散設(shè)備及半導(dǎo)體器件制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110600198.7
• 申請(qǐng)日: 2021-05-31
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113363190B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-07-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 梁兆龍;谷玲玲;任宏志
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北海惠科半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/673
• 分類號(hào): H01L21/673;H01L21/02;H01L21/66;H01L21/67
• 代理公司: 深圳市百瑞專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 44240
• 代理人: 邢濤

1.一種晶舟，包括若干固定柱和固定板，所述固定板與若干所述固定柱連接，其特征在于，包括：

連接臺(tái)，設(shè)有第一可拆卸部件；

承載結(jié)構(gòu)，設(shè)置有多個(gè)，多個(gè)所述承載結(jié)構(gòu)設(shè)置在每一所述固定柱上，若干所述固定柱通過(guò)各所述固定柱上對(duì)應(yīng)的所述承載結(jié)構(gòu)共同承載晶圓，其中，所述晶圓包括產(chǎn)品晶圓和控片晶圓；

所述承載結(jié)構(gòu)包括產(chǎn)品承載部、控片承載部和連接臺(tái)承載部，所述產(chǎn)品承載部用于承載所述產(chǎn)品晶圓，所述控片承載部用于承載所述控片晶圓，所述連接臺(tái)承載部設(shè)于所述控片承載部的上方，所述連接臺(tái)承載部設(shè)有第二可拆卸部件，所述第二可拆卸部件與所述第一可拆卸部件對(duì)應(yīng)設(shè)置并可拆卸連接，使所述連接臺(tái)可相對(duì)固定安裝于所述連接臺(tái)承載部。

2.如權(quán)利要求1所述的晶舟，其特征在于，所述第二可拆卸部件為卡槽，所述第一可拆卸部件為卡柱，或者，所述第二可拆卸部件為卡柱，所述第一可拆卸部件為卡槽；

當(dāng)所述卡柱插入所述卡槽時(shí)，所述連接臺(tái)相對(duì)固定安裝于所述連接臺(tái)承載部。

3.如權(quán)利要求2所述的晶舟，其特征在于，所述卡槽的中部向內(nèi)形成有一圈限位凸起，或者，所述卡柱的中部向外形成一圈限位凸起；

所述卡柱與所述卡槽通過(guò)所述限位凸起過(guò)盈配合。

4.如權(quán)利要求1所述的晶舟，其特征在于，

所述產(chǎn)品承載部包括產(chǎn)品卡托，所述產(chǎn)品卡托從所述固定柱向所述晶舟的中軸方向延伸凸起；各所述固定柱上對(duì)應(yīng)的所述產(chǎn)品卡托高度相同，以共同承載所述產(chǎn)品晶圓；

所述控片承載部包括控片卡托，所述控片卡托從所述固定柱向所述晶舟的中軸方向延伸凸起；各所述固定柱上對(duì)應(yīng)的所述控片卡托高度相同，以共同承載所述控片晶圓；

所述連接臺(tái)可放置在所述控片卡托或所述產(chǎn)品卡托上。

5.如權(quán)利要求2所述的晶舟，其特征在于，所述第二可拆卸部為母卡扣，所述第一可拆卸部為公卡扣，所述公卡扣包括：固定部和與所述固定部相連的卡鉤部，所述卡鉤部由所述固定部先向遠(yuǎn)離其自身的方向水平延伸再向上彎曲而形成；所述母卡扣設(shè)置有與所述卡鉤部掛扣在一起的開(kāi)孔，將所述連接臺(tái)與所述連接臺(tái)承載部卡扣連接。

6.如權(quán)利要求1所述的晶舟，其特征在于，所述產(chǎn)品承載部和所述控片承載部上均設(shè)置有第二可拆卸部件，所述產(chǎn)品晶圓和所述控片晶圓放置在所述第二可拆卸部件上。

7.如權(quán)利要求1所述的晶舟，其特征在于，所述控片承載部包括第一控片承載部、第二控片承載部和第三控片承載部，所述第一控片承載部、所述第二控片承載部和所述第三控片承載部分部設(shè)于所述晶舟的上、中、下部；所述連接臺(tái)包括第一連接臺(tái)、第二連接臺(tái)和第三連接臺(tái)；所述第一連接臺(tái)、所述第二連接臺(tái)和所述第三連接臺(tái)分別設(shè)于所述第一控片承載部、所述第二控片承載部和所述第三控片承載部的上方；

所述晶圓還包括擋片晶圓，所述承載結(jié)構(gòu)還包括擋片承載部，所述擋片承載部分別設(shè)置在所述第一連接臺(tái)的上方和所述第三控片承載部的下方形成上擋片放置部和下?lián)跗胖貌浚錾蠐跗胖貌亢退鱿聯(lián)跗胖貌坑糜诔休d所述擋片晶圓；

所述第一連接臺(tái)可拆卸設(shè)置在靠近所述上擋片放置部的位置，所述第三連接臺(tái)可拆卸設(shè)置在靠近所述下?lián)跗胖貌康奈恢茫龅诙B接臺(tái)可拆卸設(shè)置在所述上擋片放置部與所述下?lián)跗胖貌恐g。

8.一種擴(kuò)散設(shè)備，包括工藝爐和權(quán)利要求1-7任一項(xiàng)所述的晶舟。