[發(fā)明專利]陣列基板、陣列基板的加工工藝及顯示面板

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110599059.7
• 申請(qǐng)日: 2021-05-31
• 公開（公告）號(hào): CN113341622B
• 公開（公告）日: 2022-11-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 謝峰;袁海江
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 長(zhǎng)沙惠科光電有限公司;惠科股份有限公司
• 主分類號(hào): G02F1/1362
• 分類號(hào): G02F1/1362;G02F1/1337;G02F1/1333
• 代理公司: 深圳市世紀(jì)恒程知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 44287
• 代理人: 晏波

本發(fā)明公開一種陣列基板、陣列基板的加工工藝及顯示面板。其中，陣列基板具有相鄰設(shè)置的像素顯示區(qū)和像素非顯示區(qū)；在像素非顯示區(qū)，陣列基板包括基板和平坦層；平坦層設(shè)于基板的一側(cè)，平坦層具有通孔，通孔包括第一側(cè)壁和第二側(cè)壁，第一側(cè)壁靠近像素顯示區(qū)，第二側(cè)壁連接于第一側(cè)壁并遠(yuǎn)離像素顯示區(qū)，且第二側(cè)壁的至少部分與基板的夾角小于第一側(cè)壁與基板的夾角。本發(fā)明技術(shù)方案可改善配向液擴(kuò)散不良和像素顯示區(qū)膜厚不均而導(dǎo)致的暗態(tài)漏光問題。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及顯示面板技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種陣列基板、制作該陣列基板所采用的陣列基板的加工工藝及應(yīng)用該陣列基板的顯示面板。

背景技術(shù)

顯示面板的陣列基板包括像素顯示區(qū)和像素非顯示區(qū)，在像素非顯示區(qū)，陣列基板包括基板和設(shè)于基板一側(cè)的平坦層，平坦層通常通過光罩的中心透光孔光刻出一個(gè)較深的通孔，該通孔的孔壁與基板的夾角較大，通孔的孔壁較陡，從而導(dǎo)致配向液滴在平坦層時(shí)，其擴(kuò)散性不佳。

為了改善配向膜擴(kuò)散不佳的問題，傳統(tǒng)的解決方案是通過在光罩的中心透光孔四周均開設(shè)狹縫，從而使得曝光于平坦層上的通孔的孔壁變得較為平緩，但使得地勢(shì)不平坦，影響了像素顯示區(qū)膜厚的均勻性，進(jìn)而導(dǎo)致了暗態(tài)漏光的問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的主要目的是提出一種陣列基板，旨在改善陣列基板暗態(tài)漏光的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提出的陣列基板，具有相鄰設(shè)置的像素顯示區(qū)和像素非顯示區(qū)；在所述像素非顯示區(qū)，所述陣列基板包括基板和平坦層；所述平坦層設(shè)于所述基板的一側(cè)，所述平坦層具有通孔，所述通孔包括第一側(cè)壁和第二側(cè)壁，所述第一側(cè)壁靠近所述像素顯示區(qū)，所述第二側(cè)壁連接于第一側(cè)壁并遠(yuǎn)離所述像素顯示區(qū)，且所述第二側(cè)壁的至少部分與所述基板的夾角小于所述第一側(cè)壁與所述基板的夾角。

在本申請(qǐng)一實(shí)施例中，所述第二側(cè)壁包括連接子側(cè)壁和對(duì)應(yīng)子側(cè)壁，所述連接子側(cè)壁的一邊緣與所述第一側(cè)壁連接，另一邊緣朝遠(yuǎn)離所述像素顯示區(qū)的方向延伸；所述對(duì)應(yīng)子側(cè)壁與所述連接子側(cè)壁連接，并與所述第一側(cè)壁相對(duì)設(shè)置；所述連接子側(cè)壁與基板的夾角小于所述第一側(cè)壁與基板的夾角；和/或，所述對(duì)應(yīng)子側(cè)壁與基板的夾角小于所述第一側(cè)壁與基板的夾角。

在本申請(qǐng)一實(shí)施例中，所述第一側(cè)壁和所述第二側(cè)壁的壁面均呈平滑狀態(tài)。

在本申請(qǐng)一實(shí)施例中，所述第二側(cè)壁與所述基板的夾角為α，22°≤α≤38°。

在本申請(qǐng)一實(shí)施例中，所述通孔的開口形狀為矩形或者圓形。

本發(fā)明還提出一種如上述的陣列基板的加工工藝，該陣列基板的加工工藝包括：

形成自下而上依次疊層的金屬層、第一絕緣層、第二絕緣層及平坦層；

將光罩設(shè)置在所述平坦層的上方，并采用所述光罩對(duì)所述平坦層進(jìn)行光刻形成通孔，所述通孔包括第一側(cè)壁和第二側(cè)壁，所述第一側(cè)壁靠近所述像素顯示區(qū)，所述第二側(cè)壁連接于第一側(cè)壁并遠(yuǎn)離所述像素顯示區(qū)，且所述第二側(cè)壁的至少部分與所述基板的夾角小于所述第一側(cè)壁與所述基板的夾角。

在本申請(qǐng)一實(shí)施例中，所述光罩具有透光區(qū)和圍繞所述透光區(qū)的透光縫，在所述采用所述光罩對(duì)所述平坦層進(jìn)行光刻形成所述通孔時(shí)，通過所述透光區(qū)形成所述通孔，通過所述透光縫形成所述第二側(cè)壁。

在本申請(qǐng)一實(shí)施例中，在所述光罩具有透光區(qū)和圍繞所述透光區(qū)的透光縫時(shí)，所述光罩的透光區(qū)設(shè)置為具有第一邊緣和連接所述第一邊緣的連接邊緣，所述第一邊緣用于在所述平坦層上被顯影形成所述第一側(cè)壁；所述透光縫設(shè)置為具有第一透光縫，所述第一透光縫與所述透光區(qū)的連接邊緣間隔設(shè)置，且所述第一透光縫設(shè)于所述連接邊緣的外側(cè)；或者，所述透光縫設(shè)置為具有多個(gè)第二透光縫，多個(gè)所述第二透光縫依次排列于所述連接邊緣的外周；所述第二透光縫的一端與所述透光區(qū)連接，另一端朝遠(yuǎn)離所述透光區(qū)的一端延伸。