[發明專利]陣列基板、陣列基板的加工工藝及顯示面板

有效

• 申請號: 202110599059.7
• 申請日: 2021-05-31
• 公開（公告）號: CN113341622B
• 公開（公告）日: 2022-11-25
• 發明（設計）人: 謝峰;袁海江
• 申請（專利權）人: 長沙惠科光電有限公司;惠科股份有限公司
• 主分類號: G02F1/1362
• 分類號: G02F1/1362;G02F1/1337;G02F1/1333
• 代理公司: 深圳市世紀恒程知識產權代理事務所 44287
• 代理人: 晏波

1.一種陣列基板的加工工藝，其特征在于，所述陣列基板的加工工藝包括：

形成自下而上依次疊層的金屬層、第一絕緣層、第二絕緣層及平坦層；

將光罩設置在所述平坦層的上方，并采用所述光罩對所述平坦層進行光刻形成通孔，所述通孔包括第一側壁和第二側壁，所述第一側壁靠近像素顯示區，所述第二側壁連接于第一側壁并遠離所述像素顯示區，且所述第二側壁的至少部分與所述基板的夾角小于所述第一側壁與所述基板的夾角；

所述光罩具有透光區和圍繞所述透光區的透光縫，在所述采用所述光罩對所述平坦層進行光刻形成所述通孔時，通過所述透光區形成所述通孔，通過所述透光縫形成所述第二側壁；

其中，所述光罩的透光區設置為具有第一邊緣和連接所述第一邊緣的連接邊緣，所述第一邊緣用于在所述平坦層上被顯影形成所述第一側壁；所述透光縫設置為具有第一透光縫，所述第一透光縫與所述透光區的連接邊緣間隔設置，且所述第一透光縫設于所述連接邊緣的外側；

或者，所述透光縫設置為具有多個第二透光縫，多個所述第二透光縫依次排列于所述連接邊緣的外周；所述第二透光縫的一端與所述透光區連接，另一端朝遠離所述透光區的一端延伸。

2.如權利要求1所述的陣列基板的加工工藝，其特征在于，所述將光罩設置在所述平坦層的上方，并采用所述光罩對所述平坦層進行光刻形成通孔，通過所述透光區形成所述通孔的所述第一側壁，通過所述透光縫形成所述通孔的第二側壁的步驟之后，還包括：

在所述平坦層背離所述基板的一側、并由靠近所述第二側壁處開始涂布配向液，以形成配向膜。

3.一種陣列基板，采用如權利要求1或2所述的陣列基板的加工工藝制作，其特征在于，所述陣列基板具有相鄰設置的像素顯示區和像素非顯示區；在所述像素非顯示區，所述陣列基板包括：

基板；和

平坦層，所述平坦層設于所述基板的一側，所述平坦層具有通孔，所述通孔包括第一側壁和第二側壁，所述第一側壁靠近所述像素顯示區，所述第二側壁連接于第一側壁并遠離所述像素顯示區，且所述第二側壁的至少部分與所述基板的夾角小于所述第一側壁與所述基板的夾角。

4.如權利要求3所述的陣列基板，其特征在于，所述第二側壁包括：

連接子側壁，所述連接子側壁的一邊緣與所述第一側壁連接，另一邊緣朝遠離所述像素顯示區的方向延伸；和

對應子側壁，所述對應子側壁與所述連接子側壁連接，并與所述第一側壁相對設置；

所述連接子側壁與基板的夾角小于所述第一側壁與基板的夾角；和/或，所述對應子側壁與基板的夾角小于所述第一側壁與基板的夾角。

5.如權利要求3所述的陣列基板，其特征在于，所述第一側壁和所述第二側壁的壁面均呈平滑狀態。

6.如權利要求3所述的陣列基板，其特征在于，所述第二側壁與所述基板的夾角為α，22°≤α≤38°。

7.如權利要求3所述的陣列基板，其特征在于，所述通孔的開口形狀為矩形或者圓形。

8.一種顯示面板，其特征在于，包括彩膜基板、液晶及如權利要求3至7中任意一項所述的陣列基板；所述彩膜基板設于所述平坦層背離所述基板的一側，所述液晶設于所述平坦層與所述彩膜基板之間。