[發(fā)明專利]制作成像板的方法及成像板

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110589021.1
• 申請(qǐng)日: 2021-05-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113327844A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-08-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張?jiān)蒲?/a>;宋丹;何玉國(guó);黃安琳
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 寧波市知行光學(xué)科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/033
• 分類號(hào): H01L21/033;G03F7/00
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 鐘揚(yáng)飛

本申請(qǐng)公開(kāi)了一種制作成像板的方法及成像板，涉及制造工藝技術(shù)領(lǐng)域，本申請(qǐng)的制作成像板的方法，包括在基板上進(jìn)行旋涂光刻膠，形成光刻膠層；對(duì)光刻膠層進(jìn)行曝光顯影，形成光刻板的反向圖案；在反向圖案上鍍膜，形成遮擋膜層；將鍍有遮擋膜層的基板放入預(yù)設(shè)溶液中，對(duì)光刻膠進(jìn)行溶解，得到與光刻板具備相同圖案的成像板。故根據(jù)本申請(qǐng)的制作成像板的方法所制成的成像板，能夠利用成像板上的遮擋膜層遮擋紅外光，從而對(duì)紅外相機(jī)進(jìn)行標(biāo)定。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請(qǐng)涉及制造工藝技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種制作成像板的方法及成像板。

背景技術(shù)

現(xiàn)如今紅外相機(jī)的使用已經(jīng)廣泛地用于軍事偵查、自動(dòng)駕駛、野生動(dòng)物保護(hù)等領(lǐng)域，且紅外相機(jī)拍攝的圖像信息能拓展視覺(jué)系統(tǒng)的使用場(chǎng)景。紅外相機(jī)在使用前需要對(duì)相機(jī)進(jìn)行標(biāo)定，獲得相應(yīng)的內(nèi)外參數(shù)，但是由于紅外相機(jī)和普通可見(jiàn)光相機(jī)的感應(yīng)光譜不同，常規(guī)的材料無(wú)法遮擋紅外光，因此，現(xiàn)有技術(shù)中的黑白棋盤(pán)格標(biāo)定板或者普通圓形陣列標(biāo)定板在紅外相機(jī)下并不能清晰成像，也就不能利用黑白棋盤(pán)格標(biāo)定板對(duì)紅外相機(jī)進(jìn)行標(biāo)定。

發(fā)明內(nèi)容

本申請(qǐng)的目的在于提供一種制作成像板的方法及成像板，其能夠?qū)t外相機(jī)進(jìn)行標(biāo)定。

本申請(qǐng)的實(shí)施例是這樣實(shí)現(xiàn)的：

一種制作成像板的方法，包括在基板上進(jìn)行旋涂光刻膠，形成光刻膠層；對(duì)所述光刻膠層進(jìn)行曝光顯影，形成光刻板的反向圖案；在所述反向圖案上鍍膜，形成遮擋膜層；將鍍有所述遮擋膜層的所述基板放入預(yù)設(shè)溶液中，對(duì)所述光刻膠進(jìn)行溶解，得到與所述光刻板具備相同圖案的成像板。

于一實(shí)施例中，所述在所述反向圖案上鍍膜，形成遮擋膜層之前，還包括：在所述反向圖案的表面上進(jìn)行鍍膜，形成過(guò)渡膜層。

于一實(shí)施例中，所述在將鍍有所述遮擋膜層膜后的所述基板放入預(yù)設(shè)溶液中，對(duì)所述光刻膠進(jìn)行溶解，得到紅外成像板之前，還包括：在所述遮擋膜層上鍍膜，形成保護(hù)膜層。

于一實(shí)施例中，所述預(yù)設(shè)溶液為去膠溶液或丙酮溶液。

于一實(shí)施例中，所述過(guò)渡膜層的材料為Cr，所述過(guò)渡膜層的厚度范圍為10nm－20nm。

于一實(shí)施例中，所述遮擋膜層的材料為Ag或Al，所述遮擋膜層的厚度大于500nm。

于一實(shí)施例中，所述保護(hù)膜層的材料為T(mén)iO₂、SiO₂、Al₂O₃中的一種或多種，所述保護(hù)膜層的厚度范圍為10nm－50nm。

于一實(shí)施例中，所述鍍膜的方法為蒸發(fā)鍍膜或者濺射鍍膜。

于一實(shí)施例中，所述光刻膠層的厚度大于所述過(guò)渡膜層的厚度、所述遮擋膜層的厚度和所述保護(hù)膜層的厚度之和。

一種成像板，包括：基板、過(guò)渡膜層、遮擋膜層和保護(hù)膜層，其中，過(guò)渡膜層形成于所述基板上；遮擋膜層形成于所述過(guò)渡膜層上；保護(hù)膜層形成于所述遮擋膜層上；其中，所述過(guò)渡膜層和所述遮擋膜層上形成有預(yù)定圖案。

本申請(qǐng)與現(xiàn)有技術(shù)相比的有益效果是：

本申請(qǐng)的制作成像板的方法及成像板，首先在基板上進(jìn)行旋涂光刻膠，形成光刻膠層，然后對(duì)光刻膠層進(jìn)行曝光顯影，形成光刻板的反向圖案，并在反向圖案上鍍膜，形成遮擋膜層，最后將鍍有遮擋膜層的基板放入預(yù)設(shè)溶液中，對(duì)光刻膠進(jìn)行溶解，得到與光刻板具備相同圖案的成像板。根據(jù)該方法所制成的成像板，能夠利用成像板上的遮擋膜層遮擋紅外光，從而對(duì)紅外相機(jī)進(jìn)行標(biāo)定。

附圖說(shuō)明

為了更清楚地說(shuō)明本申請(qǐng)實(shí)施例的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，應(yīng)當(dāng)理解，以下附圖僅示出了本申請(qǐng)的某些實(shí)施例，因此不應(yīng)被看作是對(duì)范圍的限定，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他相關(guān)的附圖。