[發(fā)明專利]一種芯片封裝的焊接方法及芯片封裝方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202110582374.9 | 申請日: | 2021-05-26 |
| 公開(公告)號: | CN113410148B | 公開(公告)日: | 2022-06-14 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 劉麗娟;楊元杰;楊天應(yīng) | 申請(專利權(quán))人: | 深圳市時代速信科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/603 | 分類號: | H01L21/603 |
| 代理公司: | 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 44202 | 代理人: | 郭浩輝;顏希文 |
| 地址: | 518000 廣東省深圳市前海深港合作區(qū)前*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 芯片 封裝 焊接 方法 | ||
本發(fā)明涉及芯片封裝技術(shù)領(lǐng)域,公開了一種芯片封裝的焊接方法及芯片封裝方法,所述焊接方法包括:使管殼基板升溫到第一溫度,所述第一溫度低于管殼基板上表面放置的焊料片的熔點,所述焊料片放置于管殼基板上的第一框架內(nèi);將待焊接件放到焊料片上并使管殼基板的溫度升溫到第二溫度,將待焊接件以預(yù)設(shè)的第一壓力沿第一方向往復(fù)移動第一距離并使待焊接件達(dá)到預(yù)設(shè)的第一高度;將管殼基板降溫到第三溫度,所述待焊接件焊接到管殼基板上,其中,所述第三溫度低于焊料片的熔點。有益效果:改進(jìn)芯片封裝過程中的溫度控制方法,以及待焊接件和焊料片的焊接方法,減少芯片焊接過程中待焊接件與基板之間的空洞,提高了產(chǎn)品可靠性。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及芯片封裝技術(shù)領(lǐng)域,特別是涉及一種芯片封裝的焊接方法及芯片封裝方法。
背景技術(shù)
目前,氮化鎵高電子遷移率晶體管射頻功率放大器芯片,硅基高壓功率集成射頻放大器芯片工作時產(chǎn)生大量的熱,在封裝該類芯片時首選導(dǎo)熱性好的封裝工藝。金錫焊工藝采用熔化的金錫焊料將芯片與封裝金屬基體焊接在一起,該工藝焊接強度高、導(dǎo)電性和導(dǎo)熱性能優(yōu)異,被廣泛用于氮化鎵高電子遷移率晶體管射頻功率放大器芯片,硅基高壓功率集成射頻放大器芯片的封裝。
現(xiàn)有技術(shù)中,采用金錫焊工藝進(jìn)行芯片封裝的作業(yè)流程是:清洗物料上的異物——焊接芯片——芯片焊線——封裝。但是由于焊料焊接的作業(yè)溫度較高,加之焊接作業(yè)過程中影響因素眾多,在芯片焊接貼片過程中容易出現(xiàn)芯片底部與基板之間空洞較多的情況,降低了產(chǎn)品的可靠性。
因此需要對現(xiàn)有的芯片封裝過程中的芯片焊接方法進(jìn)行改進(jìn),提高產(chǎn)品的可靠性。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是:提供一種芯片封裝的焊接方法及芯片封裝方法,減少芯片焊接過程中芯片與基板之間的空洞,提高產(chǎn)品可靠性。
為了實現(xiàn)上述目的,本發(fā)明提供了一種芯片封裝的焊接方法,包括:
使管殼基板升溫到第一溫度,所述第一溫度低于管殼基板上表面放置的焊料片的熔點,所述焊料片放置于管殼基板上的第一框架內(nèi)。
將待焊接件放到焊料片上并使管殼基板的溫度升溫到第二溫度,所述第二溫度高于焊料片的熔點。
將待焊接件以預(yù)設(shè)的第一壓力沿第一方向往復(fù)移動第一距離并使待焊接件達(dá)到預(yù)設(shè)的第一高度;其中,所述第一高度為待焊接件到管殼基板上表面的第二距離。
將管殼基板降溫到第三溫度,所述待焊接件焊接到管殼基板上,其中,所述第三溫度低于焊料片的熔點。
進(jìn)一步的,所述將待焊接件以預(yù)設(shè)的第一壓力沿第一方向往復(fù)移動第一距離,具體為:
根據(jù)所述待焊接件到管殼側(cè)壁的距離確定移動的第一方向,當(dāng)待焊接件到管殼左右側(cè)壁的距離滿足預(yù)設(shè)的距離要求時,待焊接件沿管殼左或右側(cè)壁的第一法線左右移動且將第一法線記為X軸;當(dāng)待焊接件到管殼前后側(cè)壁的距離滿足預(yù)設(shè)的距離要求時,待焊接件沿管殼前或后側(cè)壁的第二法線前后移動且將第二法線記為Y軸。
當(dāng)待焊接件沿X軸移動時,所述第一距離為待焊接件在X軸上的長度的百分之四到百分之六。
當(dāng)待焊接件沿Y軸移動時,所述第一距離為待焊接件在Y軸上的長度的百分之四到百分之六。
進(jìn)一步的,所述使管殼基板的溫度為升溫到第二溫度,具體為:
將管殼的溫度以第一升溫速率調(diào)整到第二溫度,且在第二溫度保持第一時間。
進(jìn)一步的,所述第一壓力的取值范圍為零點五牛到零點七牛。
進(jìn)一步的,所述第二距離為焊料片厚度的百分之十到百分之三十。
本發(fā)明還公開了一種芯片封裝方法,包括:
所述待焊接件包括芯片,應(yīng)用上述的焊接方法進(jìn)行芯片與管殼基板的焊接。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





