[發(fā)明專利]一種提高含鎢靶材焊接結(jié)合率的方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110574093.9
• 申請(qǐng)日: 2021-05-25
• 公開（公告）號(hào): CN113290293A
• 公開（公告）日: 2021-08-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 姚力軍;邊逸軍;潘杰;王學(xué)澤;趙欣雨
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號(hào): B23K1/00
• 分類號(hào): B23K1/00;B23K1/08;B23K1/20;C23C14/34
• 代理公司: 北京遠(yuǎn)智匯知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11659
• 代理人: 王巖

本發(fā)明提供了一種提高含鎢靶材焊接結(jié)合率的方法，所述方法包括以下步驟：將含鎢靶材的焊接面進(jìn)行清洗處理，然后采用物理氣相沉積法對(duì)靶材的濺射面進(jìn)行鍍膜，得到鍍膜靶材；將鍍膜靶材和背板的焊接面上浸潤(rùn)釬料后焊接，得到靶材組件。本發(fā)明所述方法針對(duì)傳統(tǒng)鍍膜方法在靶材鍍膜上存在的缺陷，采用物理氣相沉積法根據(jù)特定靶材的特性選擇合適的鍍膜工藝，使其滿足后續(xù)浸潤(rùn)及焊接的要求，所得鍍膜層致密性高，從而能夠提高焊接結(jié)合率，得到合格的靶材組件；所述方法操作簡(jiǎn)單，鍍膜品質(zhì)高，可減少返工，降低成本，應(yīng)用前景廣闊。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于靶材制備技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種提高含鎢靶材焊接結(jié)合率的方法。

背景技術(shù)

靶材是一種用于濺射鍍膜的濺射源，在利用靶材進(jìn)行濺射鍍膜之前，需要將靶材固定至背板上形成靶材組件，背板能夠被固定安裝至濺射基臺(tái)上，以支撐靶材，并傳導(dǎo)熱量。靶材與背板的固定通常采用焊接結(jié)合的方式，通過在焊接面上涂布焊料，加熱至焊料熔化后，將靶材和背板的焊接面相對(duì)設(shè)置并貼合，待焊料凝固后形成靶材組件。

對(duì)于靶材焊接時(shí)焊料的選擇，通常選擇低熔點(diǎn)金屬，將其浸潤(rùn)到焊接面上，以便于后續(xù)焊接的均勻性和穩(wěn)定性，但對(duì)于無法浸潤(rùn)或浸潤(rùn)性不佳的靶材材質(zhì)，通常需要使用化學(xué)方法在焊接面鍍一層易浸潤(rùn)層，來提高焊接面的浸潤(rùn)性，從而使難浸潤(rùn)材質(zhì)達(dá)到焊接條件。目前使用的鍍易浸潤(rùn)層的方法主要有化學(xué)鍍膜和電解鍍膜，前者依據(jù)氧化還原反應(yīng)原理，利用強(qiáng)還原劑在含有金屬離子的溶液中，將金屬離子還原成金屬而沉積在材料表面形成致密鍍層，后者則是采用電解液沉積鍍膜，但上述方法鍍層附著力較低，均勻性不足，容易造成焊接強(qiáng)度和焊接結(jié)合率的降低。

基于上述方法存在的缺陷，目前也有采用其他方法進(jìn)行焊接前的鍍膜。CN101543923A公開了一種靶材與背板的焊接方法，包括：提供鉭靶材和背板，在鉭靶材的焊接面上形成金屬中間層，在背板的焊接面上添加釬料，進(jìn)行釬焊處理，加熱熔化釬料將鉭靶材焊接至背板形成靶材組件，對(duì)靶材組件進(jìn)行保溫?zé)釘U(kuò)散處理，冷卻靶材組件，并進(jìn)行機(jī)械加工去除多余的釬料。該方法是采用等離子噴涂法在靶材焊接面上形成金屬中間層，但針對(duì)的靶材種類單一，適用范圍較窄。

CN 110937911A公開了一種靶材組件形成方法，包括：提供陶瓷靶材，所述陶瓷靶材具有靶材焊接面；提供金屬背板，所述金屬背板具有背板焊接面；將所述靶材焊接面鍍鎳，形成鎳鍍層；在所述鎳鍍層表面和背板焊接面上放置釬料，對(duì)陶瓷靶材以及金屬背板進(jìn)行焊接，形成靶材組件。該方法并未明確鍍鎳時(shí)的具體工藝，且針對(duì)的是陶瓷靶材的鍍膜，并未涉及到金屬靶材。

綜上所述，對(duì)于特定種類金屬靶材的焊接，還需采用合適的鍍膜工藝，以提高釬料對(duì)焊接面的浸潤(rùn)性，保證焊接層的均勻性，從而提高焊接結(jié)合率。

發(fā)明內(nèi)容

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，本發(fā)明的目的在于提供一種提高含鎢靶材焊接結(jié)合率的方法，所述方法針對(duì)特定材質(zhì)的靶材，通過在靶材焊接前進(jìn)行鍍膜，提高釬料在焊接面上的浸潤(rùn)性，從而保證焊料分布的均勻性，避免浸潤(rùn)焊接過程中出現(xiàn)氣泡，進(jìn)而提高靶材的焊接結(jié)合率以及焊接強(qiáng)度。

為達(dá)此目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案：

本發(fā)明提供了一種提高含鎢靶材焊接結(jié)合率的方法，所述方法包括以下步驟：

(1)將含鎢靶材的焊接面進(jìn)行清洗處理，然后采用物理氣相沉積法對(duì)靶材的濺射面進(jìn)行鍍膜，得到鍍膜靶材；

(2)將步驟(1)得到的鍍膜靶材和背板的焊接面上浸潤(rùn)釬料后焊接，得到靶材組件。