[發明專利]晶體管在審
| 申請號： | 202110571808.5 | 申請日： | 2021-05-25 |
| 公開（公告）號： | CN113299760A | 公開（公告）日： | 2021-08-24 |
| 發明（設計）人： | 馬可范達爾 | 申請（專利權）人： | 臺灣積體電路制造股份有限公司 |
| 主分類號： | H01L29/78 | 分類號： | H01L29/78;H01L29/41;H01L29/423 |
| 代理公司： | 南京正聯知識產權代理有限公司 32243 | 代理人： | 顧伯興 |
| 地址： | 中國臺灣新竹科*** | 國省代碼： | 臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 晶體管 | ||
【權利要求書】：
1.一種晶體管，包括：
第一柵極結構，包括在垂直方向上隔開地進行堆疊的納米片材；
溝道層，位于所述第一柵極結構上，其中所述溝道層的一部分包繞所述第一柵極結構的所述納米片材；以及
源極/漏極接觸件，位于所述納米片材旁，其中所述源極/漏極接觸件與所述溝道層電連接。
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