[發明專利]一種SIC晶圓隱形加工方法

有效

• 申請號: 202110570113.5
• 申請日: 2021-05-25
• 公開（公告）號: CN113199135B
• 公開（公告）日: 2022-12-16
• 發明（設計）人: 黃永忠;何劉;楊鵬;劉強;徐萬宇;趙磊
• 申請（專利權）人: 成都萊普科技股份有限公司
• 主分類號: B23K26/02
• 分類號: B23K26/02;B23K26/082;B23K26/38;B23K26/046;B65G47/91
• 代理公司: 成都九鼎天元知識產權代理有限公司 51214
• 代理人: 賈年龍

1.一種SIC晶圓隱形加工方法，其特征在于，包括：

步驟1：上電并打開工控機電腦單元，初始化整體設備；

步驟2：將晶圓裝入料盒；

步驟3：對料盒進行掃描，確認需要進行切割的料盒層數，并進行記錄存儲；

步驟4：調入相應產品切割參數文件，開始加工；

步驟5：從料盒中取出需要進行加工的晶圓，并將其放入加工載臺；

步驟6：調用大視場相機，對晶圓進行調平；

步驟7：調用小視場相機，抓取晶圓的切割道，進行切割定位；

步驟8：根據切割參數文件以及切割定位信息，調用同軸影像系統進行切割，切割完畢后回收至料盒；

所述步驟1之前還包括對大視場相機、小視場相機和同軸影像系統的旋轉中心進行調試；

大視場相機的調試過程包括：將加工載臺上的晶圓移動到大視場相機的鏡頭下方，使加工載臺的旋轉軸中心與大視場相機的鏡頭中心初步重合；在晶圓的加工面上找一個特征點，記住其位置坐標，然后旋轉三次加工載臺，每次旋轉的角度小于90°，記住每次旋轉后特征點的位置坐標，將經第一次旋轉、第二次旋轉和第三次旋轉后得到的位置坐標依次連接在一起，構成一段圓弧，找出該圓弧所在圓的圓心位置坐標，將圓心位置坐標作為大視場相機的旋轉中心坐標，完成對大視場相機的調試；

小視場相機的調試過程包括：將加工載臺上的晶圓移動到小視場相機的鏡頭下方，使加工載臺的旋轉軸中心與小視場相機的鏡頭中心初步重合；在晶圓的加工面上找一個特征點，記住其位置坐標，然后旋轉三次加工載臺，每次旋轉的角度小于90°，記住每次旋轉后特征點的位置坐標，將經第一次旋轉、第二次旋轉和第三次旋轉后得到的位置坐標依次連接在一起，構成一段圓弧，找出該圓弧所在圓的圓心位置坐標，將圓心位置坐標作為小視場相機的旋轉中心坐標，完成對小視場相機的調試；

同軸影像系統的調試過程包括：將加工載臺上的晶圓移動到同軸影像系統中聚焦鏡的鏡頭下方，使加工載臺的旋轉軸中心與小視場相機的鏡頭中心初步重合；在晶圓的加工面上找一個特征點，記住其位置坐標，然后旋轉三次加工載臺，每次旋轉的角度小于90°，記住每次旋轉后特征點的位置坐標，將經第一次旋轉、第二次旋轉和第三次旋轉后得到的位置坐標依次連接在一起，構成一段圓弧，找出該圓弧所在圓的圓心位置坐標，將圓心位置坐標作為同軸影像系統的旋轉中心坐標，完成對同軸影像系統的調試；

采用SIC晶圓隱形劃片機，包括機箱，所述機箱內部設置有機架，其特征在于，還包括：料盒、掃描平臺、定位切割單元、加工載臺、第一夾取單元和第二夾取單元；

所述料盒用于儲放晶圓，所述料盒放置在所述掃描平臺上；

所述掃描平臺活動安裝在所述機架上，可進行上下移動；

所述第一夾取單元和第二夾取單元活動安裝在所述機架上；所述第一夾取單元和第二夾取單元位于掃描平臺與加工載臺之間；

所述第一夾取單元用于從料盒中取出晶圓，并將晶圓輸送給第二夾取單元；

所述第二夾取單元用于將第一夾取單元取出的晶圓輸送給加工載臺；

所述機架上安裝有支撐平臺，所述支撐平臺由上下兩層支撐板搭接而成，所述加工載臺活動安裝在下層支撐板上；

所述定位切割單元包括小視場相機、大視場相機、全景相機和同軸影像系統；

所述全景相機安裝在機架上，位于第一夾取單元的上方；

所述小視場相機、大視場相機和同軸影像系統位于加工載臺的上方；

所述小視場相機、大視場相機和同軸影像系統安裝在同一個連接件上，所述連接件活動安裝在上層支撐板上，可進行上下移動；

所述加工載臺通過XY方向直線電機模組活動安裝在所述下層支撐板上，加工載臺下方還安裝有旋轉電機，用于實現加工載臺的旋轉；

所述第一夾取單元包括移動夾爪和定位軌道，所述移動夾爪通過Y方向直線移動模組安裝在所述機架上，所述定位軌道安裝在所述機架上，且所述定位軌道位于所述第二夾取單元下方；

所述同軸影像系統包括CCD相機、納米電機、聚焦鏡和激光測距儀，所述CCD相機、納米電機、聚焦鏡和激光測距儀皆安裝在所述連接件上，所述納米電機位于聚焦鏡的上方，用于對聚焦鏡進行微調；

所述掃描平臺通過第一Z方向直線移動模組安裝在所述機架上；

所述第二夾取單元包括第一機械手和第二機械手，所述第一機械手和第二機械手通過YZ方向直線移動模組安裝在所述機架上；

還包括工控機電腦單元和人機交互單元，所述料盒、掃描平臺、定位切割單元、加工載臺、第一夾取單元和第二夾取單元皆通過所述工控機電腦單元控制運作；所述人機交互單元與所述工控機電腦單元連接，實現人機交互；

所述連接件通過第二Z方向直線移動模組安裝在所述上層支撐板上，使連接件可在上層支撐板上沿Z方向進行上下運動。