[發明專利]光刻機外圍設備集成監測系統及監測方法

有效

• 申請號: 202110566978.4
• 申請日: 2021-05-24
• 公開（公告）號: CN113406864B
• 公開（公告）日: 2022-10-28
• 發明（設計）人: 楊青;韓雍;謝華;陳欣健;高姝懌
• 申請（專利權）人: 上海順灝新材料科技股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G01D21/02
• 代理公司: 上海灣谷知識產權代理事務所(普通合伙) 31289
• 代理人: 肖進

本發明公開了一種光刻機外圍設備集成監測系統，包括：監控PLC、網絡連接裝置、車間空調系統、空壓機、UPS、通訊模塊、觸摸屏和遠程終端，所述監控PLC采集所述車間空調系統、空壓機和UPS的運行參數，監測運行狀態；所述監控PLC、所述通訊模塊和所述觸摸屏通過所述網絡連接裝置進行通信；所述遠程終端通過互聯網與所述通訊模塊進行通信。本發明對各個設備運行狀態采集和監控，并實時顯示。本發明還公開了光刻機外圍設備集成監測系統的監測方法。

技術領域

本發明涉及光刻機外圍設備技術領域，尤其涉及光刻機外圍設備集成監測系統。

背景技術

光刻機外圍輔助的設備包括車間空調、空壓機等。到目前為止，發現了一些問題。例如：車間的恒溫恒濕空調報警顯示濕度不足進行加熱，使得加熱最后的溫度顯示為42度；還有電加熱工作情況下，因為風機轉速降低而不能及時散熱，將電加熱的支撐塑料架燒得變形；發生空調室外機聲音很大的情況，檢查之后發現是所對應的空開處三相電中，有一項對其他相不是380V，而是一個200多到300V之間的一個變化的一個電壓；其他諸如空壓機、精密空調等設備的運行狀況無法及時獲悉，因此在故障時也不能在第一時間處理。

因此，需要設計將光刻機的外圍設備集成，作為一個整體系統，不僅能夠整體顯示，也能預防性防止事故的發生，提前做好相應的應對措施。

發明內容

本發明的目的在于提供一種光刻機外圍設備集成監測系統，對各個設備運行狀態采集和監控，并實時顯示。

本發明的目的還在于提供基于光刻機外圍設備集成監測系統的監測方法，有效實現監控。

實現上述目的的技術方案是：

一種光刻機外圍設備集成監測系統，包括：監控PLC(可編程邏輯控制器)、網絡連接裝置、車間空調系統、空壓機、UPS(不間斷電源)、通訊模塊、觸摸屏和遠程終端，其中，

所述監控PLC采集所述車間空調系統、空壓機和UPS的運行參數，監測運行狀態；

所述監控PLC、所述通訊模塊和所述觸摸屏通過所述網絡連接裝置進行通信；

所述遠程終端通過互聯網與所述通訊模塊進行通信。

優選的，所述網絡連接裝置為路由器或交換機；

所述遠程終端為電腦或手機。

優選的，所述監控PLC將采集到的各類運行參數通過所述通訊模塊發送到所述遠程終端進行顯示，同時在危急情況發送報警信息給所述遠程終端。

優選的，所述車間空調系統的運行參數包括：廠家溫度、廠家濕度、出風壓力、大氣溫度、壓縮空氣、進出風壓差、出風溫度、進風溫度、冷凝風機狀態、電源狀態、壓縮機工況、電加熱工況、循環風機狀態；

所述空壓機的運行參數包括：壓縮空氣壓力、空壓機狀態。

優選的，所述車間空調系統的廠家溫度信號以及廠家濕度信號通過隔離器一分為二，一部分被車間空調系統繼續使用，另一部分輸入所述監控PLC的模擬量輸入模塊；

所述監控PLC監測電源狀態異常時，輸出信號切斷所述車間空調系統中空調壓縮機和風機的前段交流接觸器；

所述監控PLC監測進出風壓差，當大于預設值時，輸出信號切斷所述車間空調系統中電加熱和壓縮機的交流接觸器；

當大氣溫度大于預設溫度，所述監控PLC輸出信號控制噴霧器對所述車間空調系統中冷凝器間歇性噴霧；

在所述車間空調系統中壓縮機開機之前預設時間，所述監控PLC輸出信號控制噴霧器對所述車間空調系統中冷凝器噴霧；

在空壓機的用氣端安裝壓力變送器，將代表壓縮空氣壓力的電流信號輸入到所述監控PLC的模擬量輸入模塊。