[發(fā)明專利]光刻機外圍設(shè)備集成監(jiān)測系統(tǒng)及監(jiān)測方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110566978.4
• 申請日: 2021-05-24
• 公開（公告）號: CN113406864B
• 公開（公告）日: 2022-10-28
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 楊青;韓雍;謝華;陳欣健;高姝懌
• 申請（專利權(quán)）人: 上海順灝新材料科技股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G01D21/02
• 代理公司: 上海灣谷知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31289
• 代理人: 肖進

1.一種光刻機外圍設(shè)備集成監(jiān)測系統(tǒng)，其特征在于，包括：監(jiān)控PLC、網(wǎng)絡(luò)連接裝置、車間空調(diào)系統(tǒng)、空壓機、UPS、通訊模塊、觸摸屏和遠程終端，其中，

所述監(jiān)控PLC采集所述車間空調(diào)系統(tǒng)、空壓機和UPS的運行參數(shù)，監(jiān)測運行狀態(tài)；

所述監(jiān)控PLC、所述通訊模塊和所述觸摸屏通過所述網(wǎng)絡(luò)連接裝置進行通信；

所述遠程終端通過互聯(lián)網(wǎng)與所述通訊模塊進行通信；

所述車間空調(diào)系統(tǒng)的運行參數(shù)包括：廠家溫度、廠家濕度、出風壓力、大氣溫度、壓縮空氣、進出風壓差、出風溫度、進風溫度、冷凝風機狀態(tài)、電源狀態(tài)、壓縮機工況、電加熱工況、循環(huán)風機狀態(tài)；

所述空壓機的運行參數(shù)包括：壓縮空氣壓力、空壓機狀態(tài)；

所述車間空調(diào)系統(tǒng)的廠家溫度信號以及廠家濕度信號通過隔離器一分為二，一部分被車間空調(diào)系統(tǒng)繼續(xù)使用，另一部分輸入所述監(jiān)控PLC的模擬量輸入模塊；

所述監(jiān)控PLC監(jiān)測電源狀態(tài)異常時，輸出信號切斷所述車間空調(diào)系統(tǒng)中空調(diào)壓縮機和風機的前段交流接觸器；

所述監(jiān)控PLC監(jiān)測進出風壓差，當大于預(yù)設(shè)值時，輸出信號切斷所述車間空調(diào)系統(tǒng)中電加熱和壓縮機的交流接觸器；

當大氣溫度大于預(yù)設(shè)溫度，所述監(jiān)控PLC輸出信號控制噴霧器對所述車間空調(diào)系統(tǒng)中冷凝器間歇性噴霧；

在所述車間空調(diào)系統(tǒng)中壓縮機開機之前預(yù)設(shè)時間，所述監(jiān)控PLC輸出信號控制噴霧器對所述車間空調(diào)系統(tǒng)中冷凝器噴霧；

在空壓機的用氣端安裝壓力變送器，將代表壓縮空氣壓力的電流信號輸入到所述監(jiān)控PLC的模擬量輸入模塊。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻機外圍設(shè)備集成監(jiān)測系統(tǒng)，其特征在于，所述網(wǎng)絡(luò)連接裝置為路由器或交換機；

所述遠程終端為電腦或手機。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻機外圍設(shè)備集成監(jiān)測系統(tǒng)，其特征在于，所述監(jiān)控PLC將采集到的各類運行參數(shù)通過所述通訊模塊發(fā)送到所述遠程終端進行顯示，同時在危急情況發(fā)送報警信息給所述遠程終端。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻機外圍設(shè)備集成監(jiān)測系統(tǒng)，其特征在于，還包括：光刻機專用的精密空調(diào)的空調(diào)PLC，以及在所述監(jiān)控PLC控制下與所述空壓機一起進行輪詢工作的第二臺空壓機；

所述空調(diào)PLC讀取精密空調(diào)的運行數(shù)據(jù)，并通過所述網(wǎng)絡(luò)連接裝置傳送至所述監(jiān)控PLC。

5.一種基于權(quán)利要求4所述光刻機外圍設(shè)備集成監(jiān)測系統(tǒng)的監(jiān)測方法，其特征在于，包括：

步驟S1，設(shè)置通訊網(wǎng)路，調(diào)整為每0.5秒正半周期；

步驟S2，調(diào)用車間空調(diào)程序，對車間空調(diào)系統(tǒng)監(jiān)控；

步驟S3，調(diào)用精密空調(diào)程序，對空調(diào)PLC監(jiān)控；

步驟S4，調(diào)整為每0.5秒負半周期；

步驟S5，調(diào)用UPS程序，對UPS監(jiān)控；

步驟S6，調(diào)用空壓機程序，對空壓機監(jiān)控；

步驟S7，檢查空壓機是否工作，其在工作時空壓機在觸摸屏中累計工作次數(shù)；

步驟S8，檢查是否達到報警條件，達到時輸出聲光報警；

步驟S2包括：

依次讀取車間空調(diào)系統(tǒng)中原空調(diào)溫度模擬量、變送器進風口溫度、變送器回風口溫度、出風口風壓值、出進風口壓差、戶外環(huán)境溫度、數(shù)字量壓縮機運行狀態(tài)、數(shù)字量電加熱運行狀態(tài)、數(shù)字量冷凝風機運行狀態(tài)和數(shù)字量電源檢測器狀態(tài)；

判斷變送器溫度是否正常以及讀取數(shù)值是否合理，若否，設(shè)置報警標志位溫度變送器有誤；若是，進入下一步驟；

判斷變送器風壓力是否正常以及讀取數(shù)值是否合理，若否，設(shè)置報警標志位風壓變送器有誤，若是，進入下一步驟；

判斷變送器溫度是否低于設(shè)定值，若是，設(shè)置報警標志位溫度低；若否，停止壓縮機運行；

判斷變送器溫度是否大于設(shè)定值，若是，設(shè)置報警標志位溫度高；若否，進入下一步驟；

判斷變送器風壓是否低于正常值90%，若是，設(shè)置告警標志位，觸摸屏顯示相關(guān)信息；若否，進入下一步驟；

判斷變送器風壓是否低于正常值80%，若是，設(shè)置告警標志位，停止電加熱，停止壓縮機；若否，進入下一步驟；

檢查電源是否正常，若否，設(shè)置電源報警標志位，停機；若是，進入下一步驟；

判斷戶外溫度是否大于30度，若是，判斷冷凝風機是否運行，若是，打開電磁閥，冷凝器持續(xù)噴霧；

判斷戶外溫度是否大于35度，若是，判斷冷凝風機是否運行，若是，打開電磁閥，冷凝器持續(xù)噴霧，若否，打開電磁閥，冷凝器間歇性噴霧；

步驟S3包括：

從指定存儲空間讀取精密空調(diào)的運行參數(shù)；

溫度對應(yīng)數(shù)值進行雙精度到實數(shù)轉(zhuǎn)換，濕度對應(yīng)數(shù)值進行雙精度到實數(shù)轉(zhuǎn)換；

判斷溫度是否超過上極限值，若是，設(shè)置報警標志位，超過上極限值；若否，進入下一步驟；

判斷溫度是否超過下極限值，若是，設(shè)置報警標志位，超過下極限值；若否，結(jié)束；

步驟S6包括：

從指定存儲空間讀取第二臺空壓機的運行參數(shù)；

數(shù)字量輸入第一臺空壓機判斷其運行情況；

讀取模擬量輸入，獲得壓縮空氣壓力值；

首次開機設(shè)置開機標志位；

判斷是否首次開機，若否，保持原工作權(quán)；若是，設(shè)置工作權(quán)，將工作權(quán)給第一臺空壓機；

第一臺空壓機是否工作滿1.5小時，若否，保持原工作權(quán)；若是，切換工作權(quán)，第一臺空壓機停機，第二臺空壓機工作；

第一臺空壓機送電工作滿30分鐘并且壓力低于下極限時，設(shè)置報警標志位，目前工作權(quán)對應(yīng)空壓機工作不足，或者有漏氣點；兩臺空壓機一起工作；

步驟S7包括：

檢查第一臺空壓機是否工作，若是，第一臺空壓機對應(yīng)存儲器里數(shù)值累加1；

判斷第一臺空壓機對應(yīng)存儲器里數(shù)值是否到達了最大值，若是，第一臺空壓機對應(yīng)存儲器里數(shù)值清零；

檢查第二臺空壓機是否工作，若是，第二臺空壓機對應(yīng)存儲器里數(shù)值累加1；

判斷第二臺空壓機對應(yīng)存儲器里數(shù)值是否到達了最大值，若是，第二臺空壓機對應(yīng)存儲器里數(shù)值清零。