[發(fā)明專利]聚焦方法及裝置、聚焦設(shè)備和存儲介質(zhì)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110563449.9
• 申請日: 2021-05-24
• 公開（公告）號: CN113299575B
• 公開（公告）日: 2023-03-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳魯;魏林鵬;黃有為;張嵩
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳中科飛測科技股份有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66
• 代理公司: 北京清亦華知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11201
• 代理人: 邵泳城

1.一種聚焦方法，其特征在于，包括：

通過第一傳感器接收待測件反射的第一光源發(fā)射的光線以生成光信號，并根據(jù)所述光信號確定所述待測件和聚焦設(shè)備的距離值；

根據(jù)所述距離值調(diào)節(jié)所述待測件和所述聚焦設(shè)備之間的距離，以使得所述待測件位于第一預(yù)設(shè)高度；

通過第二傳感器接收傾斜入射所述待測件，且被所述待測件反射的第二光源發(fā)射的光線以生成檢測圖像；及

根據(jù)所述檢測圖像及所述第一預(yù)設(shè)高度對應(yīng)的調(diào)節(jié)范圍調(diào)節(jié)所述待測件和所述聚焦設(shè)備之間的距離，以使得所述待測件處于第二預(yù)設(shè)高度；

所述根據(jù)所述光信號確定所述待測件和聚焦設(shè)備的距離值，包括：根據(jù)所述光信號的強(qiáng)度、顏色或波長確定所述距離值。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的聚焦方法，其特征在于，還包括：

在所述檢測圖像包含光斑時(shí)，確定所述待測件處于所述第二預(yù)設(shè)高度。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的聚焦方法，其特征在于，所述根據(jù)所述檢測圖像及所述第一預(yù)設(shè)高度對應(yīng)的調(diào)節(jié)范圍調(diào)節(jié)所述待測件和所述聚焦設(shè)備之間的距離，以使得所述待測件處于第二預(yù)設(shè)高度，包括：

確定所述第二光源發(fā)射的光線在所述檢測圖像中形成的光斑位置；

根據(jù)所述光斑位置和所述檢測圖像的預(yù)設(shè)位置的偏差，調(diào)節(jié)所述待測件和所述聚焦設(shè)備之間的距離；及

在所述光斑位置與所述預(yù)設(shè)位置的偏差小于預(yù)設(shè)偏移范圍時(shí)，確定所述待測件處于所述第二預(yù)設(shè)高度。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的聚焦方法，其特征在于，所述確定所述第二光源發(fā)射的光線在所述檢測圖像中形成的光斑位置，包括：

根據(jù)預(yù)設(shè)閾值及所述檢測圖像的每個(gè)像素的像素值，將所述檢測圖像轉(zhuǎn)化為二值圖像；及

根據(jù)所述二值圖像確定所述光斑位置。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的聚焦方法，其特征在于，所述根據(jù)所述光斑位置和所述檢測圖像的預(yù)設(shè)位置的偏差，調(diào)節(jié)所述待測件和所述聚焦設(shè)備之間的距離，包括：

根據(jù)所述光斑位置和所述檢測圖像的預(yù)設(shè)位置的相對位置，確定所述光斑的移動(dòng)方向和移動(dòng)距離；

根據(jù)所述移動(dòng)方向確定距離調(diào)節(jié)方式以及根據(jù)所述移動(dòng)距離確定調(diào)節(jié)距離；

根據(jù)所述距離調(diào)節(jié)方式和調(diào)節(jié)距離，調(diào)節(jié)所述待測件和所述聚焦設(shè)備之間的距離。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的聚焦方法，其特征在于，所述根據(jù)所述移動(dòng)方向確定距離調(diào)節(jié)方式，包括：

在所述移動(dòng)方向?yàn)榈谝环较驎r(shí)，增大所述待測件和所述聚焦設(shè)備之間的距離；

在所述移動(dòng)方向?yàn)榈诙较驎r(shí)，減小所述待測件和所述聚焦設(shè)備之間的距離，所述第二方向和所述第一方向相反，所述預(yù)設(shè)位置位于所述光斑的移動(dòng)軌跡上。

7.一種聚焦裝置，其特征在于，包括：

第一確定模塊，用于通過第一傳感器接收待測件反射的第一光源發(fā)射的光線以生成光信號，并根據(jù)所述光信號確定所述待測件和聚焦設(shè)備的距離值；

第一調(diào)節(jié)模塊，用于根據(jù)所述距離值調(diào)節(jié)所述待測件和所述聚焦設(shè)備之間的距離，以使得所述待測件位于第一預(yù)設(shè)高度；

生成模塊，用于通過第二傳感器接收傾斜入射所述待測件，且被所述待測件反射的第二光源發(fā)射的光線以生成檢測圖像；及

第二調(diào)節(jié)模塊，用于根據(jù)所述檢測圖像及所述第一預(yù)設(shè)高度對應(yīng)的調(diào)節(jié)范圍調(diào)節(jié)所述待測件和所述聚焦設(shè)備之間的距離，以使得所述待測件處于第二預(yù)設(shè)高度；

所述根據(jù)所述光信號確定所述待測件和聚焦設(shè)備的距離值，包括：根據(jù)所述光信號的強(qiáng)度、顏色或波長確定所述距離值。