[發明專利]用于透射電鏡樣品的多規格顯微鏡聯動分析樣品臺

在審

• 申請號: 202110563225.8
• 申請日: 2021-05-21
• 公開（公告）號: CN113155871A
• 公開（公告）日: 2021-07-23
• 發明（設計）人: 林君浩;趙爾鼎
• 申請（專利權）人: 南方科技大學
• 主分類號: G01N23/04
• 分類號: G01N23/04;G01N23/2251;G01N23/2202;G01N23/2206;G01N21/84
• 代理公司: 深圳市創富知識產權代理有限公司 44367
• 代理人: 曾敬

本發明提供了一種用于透射電鏡樣品的多規格顯微鏡聯動分析樣品臺，該樣品臺包括單元體、儀器兼容外殼、裝配器。其中，單元體對TEM grid起到承載、固定作用；儀器兼容外殼有多種規格，其形狀分別與所使用的儀器相適配，可固定單元體進而適用于不同的儀器中，實現多種儀器聯用分析；裝配器上開設三個固定槽，可直接固定TEM grid，也可固定單元體和儀器兼容外殼。本發明以TEM grid為基礎，通過模塊化的外部結構設計實現了對不同儀器的兼容，一次裝入TEM grid后僅需更換相應的儀器兼容外殼即可在多個儀器之間聯用。作為一種通用樣品臺方案，本發明適用于二維材料從轉移制備到PLM觀察、AFM表征、SEM分析的全過程，充分增強了實驗的便利性并提高了實驗效率。

技術領域

本發明涉及電鏡分析技術領域，具體涉及一種用于透射電鏡樣品的多規格顯微鏡聯動分析樣品臺。

背景技術

對于敏感材料尤其是敏感二維材料而言，在惰性氣體保護的手套箱系統中進行樣品制備和表征需要多種設備的協同配合，由于各設備來自不同廠家，其規格型號和應用需求存在差異，因此TEM樣品從制備到基本表征分析需要在不同的儀器樣品臺上多次切換。

TEM grid尺寸小并且結構脆弱，在手套箱系統中制TEM樣品步驟復雜操作困難。制作好的樣品位于TEM gird上，在不同儀器上的表征切換樣品臺/杯需要多次轉移、裝載/固定和取出，這個過程極大的增加了樣品被污染和損壞的風險，也導致了實驗效率低下。

發明內容

本發明旨在針對現有技術的技術缺陷，提供一種用于透射電鏡樣品的多規格顯微鏡聯動分析樣品臺，以解決常規裝載結構和手套箱系統不兼容的技術問題。

本發明要解決的另一技術問題是，常規裝載結構不能和PLM、AFM和SEM等多規格儀器觀察表征兼容。

本發明要解決的再一技術問題是，常規裝載結構無法直接用來制備二維材料的透射電鏡樣品。

本發明要解決的又一技術問題是，常規裝載結構需要外聯真空設備，系統復雜性高，結構占用空間過大。

為實現以上技術目的，本發明采用以下技術方案：

用于透射電鏡樣品的多規格顯微鏡聯動分析樣品臺，包括單元體，儀器兼容外殼，裝配器。

所述單元體包括TEM grid固定核心，TEM grid，墊圈，空心固定螺絲，內螺紋盲孔，通孔，其中，在TEM grid固定核心的下端開設有內螺紋盲孔，在內螺紋盲孔的頂端開設有通孔，通孔的直徑小于內螺紋盲孔的直徑，TEM grid位于內螺紋盲孔頂端，空心固定螺絲擰在內螺紋盲孔中將TEM grid壓緊固定，在空心固定螺絲與TEM grid之間墊置有墊圈。

在所述儀器兼容外殼上開設有與TEM grid固定核心外形相配合的插槽。

在裝配器上開設有與TEM grid固定核心外形相配合的單元體固定槽，開設有與TEM grid外形相配合的TEM grid固定槽，開設有與所述儀器兼容外殼外形相配合的儀器兼容外殼固定槽。

作為優選，所述儀器兼容外殼為二維材料轉移外殼，二維材料轉移外殼的外形與二維材料轉移平臺相適配。

作為優選，所述儀器兼容外殼為AFM測試兼容外殼，AFM測試兼容外殼的外形與AFM相適配。

作為優選，所述儀器兼容外殼為SEM測試兼容外殼，SEM測試兼容外殼的外形與SEM相適配。

作為優選，還包括定位螺絲，所述單元體插接在儀器兼容外殼的所述插槽中，定位螺絲將單元體和儀器兼容外殼緊固連接。