[發明專利]半導體熱處理設備及其排氣壓力調節裝置

在審

• 申請號: 202110560139.1
• 申請日: 2021-05-21
• 公開（公告）號: CN113324048A
• 公開（公告）日: 2021-08-31
• 發明（設計）人: 閆曉騰;楊帥;楊慧萍
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: F16K1/04
• 分類號: F16K1/04;F16K27/02;F16K27/08;F16K31/50;F16K31/60;F16K37/00;F16K41/02;H01L21/67
• 代理公司: 北京國昊天誠知識產權代理有限公司 11315
• 代理人: 施敬勃

1.一種半導體熱處理設備中的排氣壓力調節裝置，其特征在于，包括主體(100)、調節桿(200)、調節板(300)和密封組件(400)，其中，

所述主體(100)設置有第一通道(110)，所述第一通道(110)包括調節段(111)和流通段(112)，所述調節段(111)與所述流通段(112)連通；

所述半導體熱處理設備包括排氣管路，所述調節段(111)的側壁上開設有通孔(120)，所述通孔(120)用于連通所述排氣管路和所述調節段(111)；

所述密封組件(400)設置于所述調節段(111)遠離所述流通段(112)的一端，所述密封組件(400)與所述主體(100)密封配合，部分所述調節桿(200)穿過所述密封組件(400)伸入所述調節段(111)中，所述調節桿(200)可在所述調節段(111)中移動，且所述調節桿(200)與所述密封組件(400)密封配合；

所述調節板(300)呈平板狀，設置于所述調節桿(200)伸入所述調節段(111)的一端處，可隨調節桿(200)的移動在所述調節段(111)中移動，所述通孔(120)的橫截面中具有兩個相對的調節邊，兩個所述調節邊在第一方向上的間距相等，所述第一方向與所述調節板(300)的移動方向相互垂直。

2.根據權利要求1所述的排氣壓力調節裝置，其特征在于，所述通孔(120)的橫截面為矩形。

3.根據權利要求1所述的排氣壓力調節裝置，其特征在于，所述調節桿(200)上設置有刻度線。

4.根據權利要求1所述的排氣壓力調節裝置，其特征在于，所述密封組件(400)包括軸套(410)、密封蓋(420)和密封件(430)，

所述軸套(410)、密封蓋(420)和密封件(430)套設于所述調節桿(200)，所述軸套(410)與所述調節桿(200)螺紋配合，且所述軸套(410)與所述主體(100)靠近所述調節段(111)的一端固定連接，

所述密封蓋(420)和所述密封件(430)位于所述軸套(410)遠離所述調節段(111)的一端，所述密封件(430)位于所述軸套(410)和所述密封蓋(420)之間，

所述密封蓋(420)與所述軸套(410)螺紋配合，且所述密封件(430)通過所述密封蓋(420)緊固于所述軸套(410)遠離所述調節段(111)的一端。

5.根據權利要求4所述的排氣壓力調節裝置，其特征在于，所述密封組件(400)還包括第一密封圈(440)，所述軸套(410)遠離所述調節段(111)的一端設置有第一密封槽；所述第一密封圈(440)設置于所述第一密封槽，且套設于所述調節桿(200)；所述密封件(430)至少部分位于所述第一密封槽，且擠壓所述第一密封圈(440)，使所述第一密封圈(440)密封所述軸套(410)與所述調節桿(200)之間的間隙。

6.根據權利要求4所述的排氣壓力調節裝置，其特征在于，所述密封組件(400)還包括第二密封圈(450)，所述主體(100)遠離所述流通段(112)的一端設置有第二密封槽，所述第二密封圈(450)設置于所述第二密封槽，且套設于軸套(410)，所述第二密封圈(450)與所述軸套(410)和所述調節段(111)抵觸密封。

7.根據權利要求1所述的排氣壓力調節裝置，其特征在于，還包括側進氣連接件(500)和第三密封圈(600)，所述主體(100)的外側壁上環繞所述通孔(120)還開設有第三密封槽，所述側進氣連接件(500)中設置有第二通道(510)，所述側進氣連接件(500)的一端設置有側進氣轉接板(520)，所述側進氣連接件(500)通過所述側進氣轉接板(520)與所述主體(100)的外側壁連接，所述通孔(120)可通過所述第二通道(510)與所述排氣管路連通，所述第三密封圈(600)設置在所述第三密封槽中，與所述側進氣轉接板(520)和所述主體(100)抵觸密封。