[發明專利]一種氣浮運輸過渡的方法

有效

• 申請號: 202110549124.5
• 申請日: 2021-05-20
• 公開（公告）號: CN113511517B
• 公開（公告）日: 2022-05-20
• 發明（設計）人: 王紹凱;蔣荷潔;史維佳;譚久彬
• 申請（專利權）人: 哈爾濱工業大學
• 主分類號: B65G51/03
• 分類號: B65G51/03
• 代理公司: 北京文苑專利代理有限公司 11516
• 代理人: 陳佳

本發明涉及一種氣浮運輸過渡的方法，屬于運輸方法技術領域，包括以下步驟:設定系統壓力，獲取高速氣浮板的橫向間隙、以及高速氣浮板和精密氣浮板之間的距離值；根據系統壓力、薄型柔性物體的厚度、橫向間隙、高速氣浮板和精密氣浮板之間的距離值，獲取薄型柔性物體在高速氣浮板上時的氣膜厚度和撓度、以及獲取薄型柔性物體在精密氣浮板上時的氣膜厚度；根據薄型柔性物體在高速氣浮板上時的氣膜厚度和撓度、薄型柔性物體在精密氣浮板上時的氣膜厚度，計算高速氣浮板和精密氣浮板的高度差值；基于高度差值調節高速氣浮板和/或精密氣浮板的高度。利用不同氣浮區域氣膜厚度的差異，使薄型柔性物體在氣浮運輸系統的不同區域之間穩定、安全的過渡。

技術領域

本發明屬于運輸方法技術領域，具體涉及一種氣浮運輸過渡的方法。

背景技術

薄型柔性物體，例如晶圓、FPD、LCD等產品在運輸和處理過程中，任何與之不必要的物理接觸均會增加其損壞的風險并降低產品的合格率，而此問題的主要解決方案就是在運輸和處理過程中采用氣浮運輸。

在以上的氣浮運輸系統中通常存在精密氣浮板和高速氣浮板。精密氣浮板用作穩定而高精度的支撐物體，并在此區域進行檢查、加熱、涂布、蝕刻等操作。其余對運輸精度要求相對較低的區域為高速氣浮板，用于遠離處理區域的物體的一般支撐。以AOI設備的氣浮運輸系統布局為例，可參考專利CN1580875A題名為“傳送和約束大型扁平柔性介質的高精度氣浮軸承分軸臺”，專利CN 106081627A題名為“一種高速氣浮板的使用方法”。薄型柔性物體需要在不同氣浮區域間安全、穩定的過渡。然而，不同氣浮區域的氣膜厚度不一致，運輸穩定性和被支承物體的變形也不一致。因此需要在其銜接部分采取措施，防止懸浮的被支承物體碰撞下面的氣浮運輸系統。

目前防止被支承物體在氣浮區域銜接位置碰撞的常規過渡解決方案主要有四種。第一種常規方案為通過提高供氣壓力，使氣膜厚度大于被支承物體的最大撓度，以留出足夠的余留保證其在銜接位置的安全。但隨著氣膜厚度的增加，運輸的穩定性也隨之降低。

如圖7，第二種常規方案為在銜接處設置高壓氣浮塊800作壓力補償裝置，使被支承物體的大撓度位置被抬高，避免碰撞。

如圖8，第三種常規方案為在銜接處的氣浮區域設置壓力分區900，間接調控被支承物體對應位置的最大撓度，避免碰撞。第四種為通過增加高速氣浮板數量以減小被支承物最大撓度。第二、三種方案不但使被支承物體在銜接處受到額外壓力的激勵，增加振動，壓力補償裝置和壓力分區還會增加氣浮運輸系統設備的成本。第四種方案增加氣浮運輸系統設備的成本。

為了解決以上問題，本發明提供一種氣浮運輸過渡的方法，利用不同氣浮區域的氣膜厚度的差異，在無需額外壓力補償裝置、不改變氣膜厚度、使用最少數量的高速氣浮板的情況下，使薄型柔性物體在氣浮運輸系統的不同區域之間穩定、安全的過渡。

發明內容

針對上述現有技術中存在的問題，本發明的目的在于提供一種氣浮運輸過渡的方法,利用不同氣浮區域的氣膜厚度的差異，在無需額外壓力補償裝置、不改變氣膜厚度、使用最少數量的高速氣浮板的情況下，使薄型柔性物體在氣浮運輸系統的不同區域之間穩定、安全的過渡。

為了實現上述發明目的，本發明提供的一個技術方案如下：

一種氣浮運輸過渡的方法,包括以下步驟:步驟S100、選定高速氣浮板和精密氣浮板，設定系統壓力，獲取高速氣浮板的橫向間隙、以及所述高速氣浮板和所述精密氣浮板之間的距離值；

步驟S200、根據所述系統壓力、待傳送的薄型柔性物體的厚度、所述橫向間隙、所述高速氣浮板和所述精密氣浮板之間的距離值，獲取所述薄型柔性物體在高速氣浮板上時的氣膜厚度和撓度、以及獲取所述薄型柔性物體在所述精密氣浮板上時的氣膜厚度；

步驟S300、根據所述薄型柔性物體在高速氣浮板上時的氣膜厚度和撓度、所述薄型柔性物體在所述精密氣浮板上時的氣膜厚度，計算所述高速氣浮板和所述精密氣浮板的高度差值；