[發(fā)明專利]一種劃切頭裝置及具有其的芯片解理設(shè)備

在審

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• 申請日: 2021-05-19
• 公開（公告）號: CN113183342A
• 公開（公告）日: 2021-07-30
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 紀偉;夏志偉;劉嚴慶;任邵彬
• 申請（專利權(quán)）人: 精良（北京）電子科技有限公司
• 主分類號: B28D5/00
• 分類號: B28D5/00;B28D7/00;H01L21/67;H01L21/78
• 代理公司: 北京三聚陽光知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11250
• 代理人: 秦廣成

本發(fā)明提供的一種劃切頭裝置及具有其的芯片解理設(shè)備，屬于芯片解理技術(shù)領(lǐng)域，劃切頭裝置包括：固定座；劃切刀，通過位置控制結(jié)構(gòu)和壓力控制結(jié)構(gòu)設(shè)置在固定座；所述位置控制結(jié)構(gòu)滑動設(shè)置在所述固定座上；所述位置控制結(jié)構(gòu)具有第一驅(qū)動組件，所述第一驅(qū)動組件驅(qū)動所述劃切刀到達和遠離劃切位置；所述壓力控制結(jié)構(gòu)設(shè)置在所述位置控制結(jié)構(gòu)上；所述壓力控制結(jié)構(gòu)具有第二驅(qū)動組件，所述第二驅(qū)動組件提供所述劃切刀劃切力的施加和釋放；本發(fā)明的劃切頭裝置，可以針對待解理的晶圓調(diào)節(jié)切割刀的劃切位置和切割力度，實現(xiàn)精準劃切，增加劃切成功的概率，降低損失。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及芯片解理技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種劃切頭裝置及具有其的芯片解理設(shè)備。

背景技術(shù)

結(jié)晶礦物受力后，由其自身結(jié)構(gòu)的原因造成晶體沿一定結(jié)晶方向裂開成光滑平面的性質(zhì)，稱為解理；裂開的光滑平面稱為解理面。

在解理的過程中，需要先用金剛石刀或者砂輪制成的切割刀在半導(dǎo)體晶片襯底上劃切割線，然后沿著切割線分離芯片；現(xiàn)有的切割刀通過氣缸驅(qū)動，實現(xiàn)切割。

但是，現(xiàn)有的切割刀的位置無法精準調(diào)節(jié)，同時對于切割力度也無法調(diào)整，因此常導(dǎo)致切割失敗，造成損失。

發(fā)明內(nèi)容

因此，本發(fā)明要解決的技術(shù)問題在于克服現(xiàn)有技術(shù)中的現(xiàn)有的切割刀的位置無法精準調(diào)節(jié)，同時對于切割力度也無法調(diào)整，因此常導(dǎo)致切割失敗，造成損失的缺陷，從而提供一種劃切頭裝置。

本發(fā)明還提供一種具有上述劃切頭裝置的芯片解理設(shè)備。

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供的一種劃切頭裝置，包括：

固定座；

劃切刀，通過位置控制結(jié)構(gòu)和壓力控制結(jié)構(gòu)設(shè)置在固定座；

所述位置控制結(jié)構(gòu)滑動設(shè)置在所述固定座上；所述位置控制結(jié)構(gòu)具有第一驅(qū)動組件，所述第一驅(qū)動組件驅(qū)動所述劃切刀到達和遠離劃切位置；

所述壓力控制結(jié)構(gòu)設(shè)置在所述位置控制結(jié)構(gòu)上；所述壓力控制結(jié)構(gòu)具有第二驅(qū)動組件，所述第二驅(qū)動組件提供所述劃切刀劃切力的施加和釋放。

作為優(yōu)選方案，所述位置控制結(jié)構(gòu)包括：

底座，受驅(qū)動的滑動設(shè)置在固定座上；

轉(zhuǎn)動支架，受到第一驅(qū)動組件的驅(qū)動，轉(zhuǎn)動設(shè)置在所述底座上；所述轉(zhuǎn)動支架的一端設(shè)置有弧形滑槽，所述壓力控制結(jié)構(gòu)與所述弧形滑槽滑動連接。

作為優(yōu)選方案，所述第一驅(qū)動組件包括：

第一氣缸，設(shè)置在所述底座上；所述轉(zhuǎn)動支架通過驅(qū)動連桿與所述第一氣缸連接；

第一彈性件，一端與轉(zhuǎn)動支架連接，另一端與底座連接；所述第一彈性件具有驅(qū)動所述劃切刀遠離劃切位置的驅(qū)動力。

作為優(yōu)選方案，所述位置控制結(jié)構(gòu)還包括：

限位連桿，一端與驅(qū)動連桿的靠近所述第一氣缸的一端連接，另一端呈彎折狀朝向遠離所述驅(qū)動連桿的方向延伸；

限位旋鈕，沿豎直方向與所述底座轉(zhuǎn)動連接，具有用于阻擋在所述限位連桿運動路徑的阻擋端。

作為優(yōu)選方案，所述壓力控制結(jié)構(gòu)包括：

安裝座，具有間隔設(shè)置的至少兩個定位支柱，所述定位支柱滑動插設(shè)在所述弧形滑槽內(nèi)；所述安裝座上具有用于與所述轉(zhuǎn)動支架固定的安裝孔；

第二氣缸，與安裝座連接；所述第二氣缸的驅(qū)動端與所述劃切刀連接；

第二彈性件，一端與安裝座連接，另一端與劃切刀連接；所述第二彈性件具有與所述第二氣缸相反方向的驅(qū)動力。

作為優(yōu)選方案，還包括：