[發(fā)明專利]一種用于晶圓解理的繃緊機(jī)構(gòu)、繃膜組件及繃膜方法

在審

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• 申請日: 2021-05-19
• 公開（公告）號: CN113183341A
• 公開（公告）日: 2021-07-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 紀(jì)偉;夏志偉;任邵彬;劉嚴(yán)慶
• 申請（專利權(quán)）人: 精良（北京）電子科技有限公司
• 主分類號: B28D5/00
• 分類號: B28D5/00;H01L21/67
• 代理公司: 北京三聚陽光知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11250
• 代理人: 秦廣成

1.一種用于晶圓解理的繃緊機(jī)構(gòu)(200)，其特征在于，包括：

底座(201)，正面用于放置繃膜架(100)；

頂緊塊(205)，具有四個(gè)，間隔設(shè)置在所述底座(201)的正面的四角處；所述頂緊塊(205)受驅(qū)動(dòng)的滑動(dòng)設(shè)置在所述底座(201)上；所述頂緊塊(205)具有靠近所述底座(201)中心的第一狀態(tài)，也具有遠(yuǎn)離所述底座(201)中心的第二狀態(tài)；所述頂緊塊(205)適于與繃膜架(100)抵接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于晶圓解理的繃緊機(jī)構(gòu)(200)，其特征在于，所述頂緊塊(205)與驅(qū)動(dòng)裝置連接；所述驅(qū)動(dòng)裝置包括：

轉(zhuǎn)盤(206)，轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在所述底座(201)的背面；所述轉(zhuǎn)盤(206)上設(shè)置有驅(qū)動(dòng)槽(207)；所述驅(qū)動(dòng)槽(207)具有靠近所述轉(zhuǎn)盤(206)中心的第一端(208)，也具有遠(yuǎn)離所述轉(zhuǎn)盤(206)中心的第二端(209)；

驅(qū)動(dòng)軸(204)，一端滑動(dòng)設(shè)置在驅(qū)動(dòng)槽(207)內(nèi)，另一端穿過所述底座(201)與頂緊塊(205)連接；所述驅(qū)動(dòng)軸(204)受驅(qū)動(dòng)的滑動(dòng)設(shè)置在所述底座(201)上。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于晶圓解理的繃緊機(jī)構(gòu)(200)，其特征在于，所述底座(201)上設(shè)置有滑動(dòng)槽(202)，所述頂緊塊(205)滑動(dòng)設(shè)置在所述滑動(dòng)槽(202)內(nèi)；所述滑動(dòng)槽(202)的內(nèi)部設(shè)置有貫通底座(201)的長條孔(203)，所述驅(qū)動(dòng)軸(204)滑動(dòng)設(shè)置在所述長條孔(203)內(nèi)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于晶圓解理的繃緊機(jī)構(gòu)(200)，其特征在于，還包括：

連接板(211)，滑動(dòng)設(shè)置滑動(dòng)槽(202)內(nèi)；所述連接板(211)的一端與頂緊塊(205)連接，另一端朝向所述底座(201)的中心伸出與驅(qū)動(dòng)軸(204)連接；

導(dǎo)向桿(212)，一端與底座(201)固定連接，另一端與所述頂緊塊(205)滑動(dòng)連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于晶圓解理的繃緊機(jī)構(gòu)(200)，其特征在于，還包括：

手柄(210)，一端與轉(zhuǎn)盤(206)連接，另一端伸出所述底座(201)。

6.一種繃膜組件，其特征在于，包括：繃緊機(jī)構(gòu)(200)以及與繃緊機(jī)構(gòu)(200)配合使用的繃膜架(100)，所述繃膜架(100)為權(quán)利要求1-5中任一項(xiàng)所述的繃緊機(jī)構(gòu)(200)；所述繃膜架(100)的周長能夠調(diào)節(jié)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的繃膜組件，其特征在于，所述繃膜架(100)包括：

繃膜管(101)組，具有四根圍繞成矩形的繃膜管(101)；所述繃膜管(101)內(nèi)部具有腔體；

張緊角(102)，具有滑動(dòng)插設(shè)到所述繃膜管(101)的腔體內(nèi)的插入端(105)；

彈性件(107)，具有多個(gè)，設(shè)置在繃膜管(101)的腔體內(nèi)；所述彈性件(107)的一端與繃膜管(101)的腔體的內(nèi)壁連接，另一端與所述張緊角(102)的插入端(105)的端部抵接；所述彈性件(107)具有驅(qū)動(dòng)所述張緊角(102)朝向腔體外移動(dòng)的偏壓力。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的繃膜組件，其特征在于，所述張緊角(102)和所述繃膜管(101)之間設(shè)置有限位裝置；

所述限位裝置包括：

限位槽(103)，開設(shè)在所述繃膜管(101)的側(cè)壁上；

限位凸起(104)，一端與張緊角(102)的插入端(105)連接，另一端滑動(dòng)設(shè)置在所述限位槽(103)內(nèi)。