[發明專利]光檢測裝置

在審

• 申請號: 202110544596.1
• 申請日: 2016-09-27
• 公開（公告）號: CN113358223A
• 公開（公告）日: 2021-09-07
• 發明（設計）人: 廣瀬真樹;柴山勝己;笠原隆;川合敏光;大山泰生;寺町有未
• 申請（專利權）人: 浜松光子學株式會社
• 主分類號: G01J3/26
• 分類號: G01J3/26
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 楊琦

光檢測裝置具備：法布里?珀羅干涉濾波器，其設置有光透過區域；光檢測器，其檢測透過光透過區域的光；封裝體，其具有開口，收納法布里?珀羅干涉濾波器及光檢測器；及光透過部，其以封擋開口的方式配置于封裝體的內表面，且包含使入射至光透過區域的光透過的帶通濾波器。自平行于線的方向觀察的情況下，法布里?珀羅干涉濾波器的外緣位于較開口的外緣更靠外側的位置，光透過部的外緣位于較法布里?珀羅干涉濾波器的外緣更靠外側的位置。

本申請是申請日為2016年9月27日、申請號為201680058106.4、發明名稱為光檢測裝置的專利申請的分案申請。

技術領域

本發明涉及一種具備具有彼此的距離設為可變的第1鏡及第2鏡的法布里-珀羅干涉濾波器的光檢測裝置。

背景技術

已知有一種光檢測裝置，其具備：法布里-珀羅干涉濾波器，其具有彼此的距離設為可變的第1鏡及第2鏡；光檢測器，其檢測已透過法布里-珀羅干涉過濾器的光；封裝體，其收納法布里-珀羅干涉濾波器及光檢測器；及光透過部，其以封擋封裝體的開口的方式配置于封裝體的內表面(例如，參照專利文獻1)。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：國際公開第15/064758號

發明內容

發明所要解決的問題

在如上所述的光檢測裝置中，自使S/N比及分辨率提高的觀點出發，抑制雜散光(未透過法布里-珀羅干涉濾波器的光透過區域的光)入射至光檢測器極其重要。另外，在法布里-珀羅干涉濾波器中，因為需要極高精度地控制第1鏡與第2鏡的距離，因而為了抑制由于使用環境溫度的變化而在法布里-珀羅干涉濾波器產生的應力的變動，謀求封裝體內的溫度的均勻化也極其重要。

因此，本發明的一個方式的目的在于提供一種光檢測特性高的光檢測裝置。

解決問題的技術手段

本發明的一個方式所涉及的光檢測裝置具備：法布里-珀羅干涉濾波器，其具有相互的距離為可變的第1鏡及第2鏡，且在規定的線上設置有使與第1鏡與第2鏡的距離相應的光透過的光透過區域；光檢測器，其在線上配置于法布里-珀羅干涉濾波器的第1側，且檢測已透過光透過區域的光；封裝體，其具有在線上位于法布里-珀羅干涉濾波器的第2側的開口，收納法布里-珀羅干涉濾波器及光檢測器；及光透過部，其以封擋開口的方式配置于封裝體的內表面，且包含使入射至光透過區域的光透過的帶通濾波器；在自平行于線的方向觀察的情況下，法布里-珀羅干涉濾波器的外緣位于較開口的外緣更靠外側，光透過構件的外緣位于較法布里-珀羅干涉濾波器的外緣更靠外側。

在該光檢測裝置中，法布里-珀羅干涉濾波器的外緣位于較封裝體的開口的外緣更靠外側，包含帶通濾波器的光透過部的外緣位于較法布里-珀羅干涉濾波器的外緣更靠外側。由此，可抑制由于封裝體的開口處的光的入射角、封裝體的開口處的衍射等而使光經由光透過部的側面(除了平行于規定的線的方向上彼此相對的光透過構件的光入射面及光出射面的面)進入封裝體內而成為雜散光。另外，可抑制由于封裝體的開口處的光的入射角、封裝體的開口處的衍射等而成為雜散光的光入射至光檢測器。再有，與例如光透過部的外緣位于較法布里-珀羅干涉濾波器的外緣更靠內側的情況相比，由于光透過部的熱容量、及光透過部與封裝體的熱連接面積變大，因而作為結果可謀求封裝體內的溫度的均勻化。根據以上所述，在該光檢測裝置中，光檢測特性變高。