[發明專利]光檢測裝置

在審

• 申請號: 202110544596.1
• 申請日: 2016-09-27
• 公開（公告）號: CN113358223A
• 公開（公告）日: 2021-09-07
• 發明（設計）人: 廣瀬真樹;柴山勝己;笠原隆;川合敏光;大山泰生;寺町有未
• 申請（專利權）人: 浜松光子學株式會社
• 主分類號: G01J3/26
• 分類號: G01J3/26
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 楊琦

1.一種光檢測裝置，其特征在于，

具備：

法布里-珀羅干涉濾波器，其具有相互的距離為可變的第1鏡及第2鏡，且在規定的線上設置有使與所述第1鏡與所述第2鏡的距離相應的光透過的光透過區域；

光檢測器，其在所述線上配置于所述法布里-珀羅干涉濾波器的第1側，且檢測透過所述光透過區域的光；

封裝體，其具有在所述線上位于所述法布里-珀羅干涉濾波器的第2側的開口，收納所述法布里-珀羅干涉濾波器及所述光檢測器；

光透過部，其包含使經由所述開口入射至所述光透過區域的光透過的帶通濾波器；及

粘結構件，其相對于所述封裝體的內表面固定所述光透過部，

自平行于所述線的方向觀察的情況下，所述法布里-珀羅干涉濾波器的外緣位于較所述開口的外緣更靠近外側的位置，所述光透過部的外緣位于較所述法布里-珀羅干涉濾波器的所述外緣更靠近外側的位置，

所述粘結構件包含在自平行于所述線的方向觀察的情況下自所述光透過部的所述外緣朝外側突出的部分，覆蓋所述光透過部的光出射面的一部分的區域。

2.如權利要求1所述的光檢測裝置，其特征在于，

所述光透過部還包含設置有所述帶通濾波器的光透過構件，

自平行于所述線的方向觀察的情況下，所述光透過構件的外緣位于較所述法布里-珀羅干涉濾波器的所述外緣更靠近外側的位置。

3.如權利要求2所述的光檢測裝置，其特征在于，

自平行于所述線的方向觀察的情況下，所述帶通濾波器的外緣位于較所述法布里-珀羅干涉濾波器的所述外緣更靠近外側的位置。

4.如權利要求2或3所述的光檢測裝置，其特征在于，

所述光透過構件的厚度為所述法布里-珀羅干涉濾波器與所述光透過構件的距離乘以0.5后的值以上的值。

5.如權利要求2至4中任一項所述的光檢測裝置，其特征在于，

所述法布里-珀羅干涉濾波器具有支撐所述第1鏡及所述第2鏡的硅基板，

所述光檢測器具有形成有光電轉換區域的InGaAs基板。

6.如權利要求2至5中任一項所述的光檢測裝置，其特征在于，

所述帶通濾波器設置于所述光透過構件的光出射面。

7.如權利要求2至6中任一項所述的光檢測裝置，其特征在于，

還具備：

引線接腳，其貫通所述封裝體；及

導線，其將所述法布里-珀羅干涉濾波器的端子與所述引線接腳電連接。

8.如權利要求1所述的光檢測裝置，其特征在于，

所述帶通濾波器的形狀為多邊形板狀，

所述封裝體具有：形成有所述開口的第1壁部；隔著所述法布里-珀羅干涉濾波器、所述帶通濾波器及所述光檢測器而與所述第1壁部相對的第2壁部；以及包圍所述法布里-珀羅干涉濾波器、所述帶通濾波器及所述光檢測器的圓筒狀的側壁部，

所述粘結構件相對于所述第1壁部的內表面固定所述帶通濾波器，

自平行于所述線的方向觀察的情況下，所述帶通濾波器的外緣位于較所述法布里-珀羅干涉濾波器的所述外緣更靠近外側的位置。

9.如權利要求8所述的光檢測裝置，其特征在于，

還具備以封擋所述開口的方式配置于所述第1壁部的所述內表面的光透過構件，

所述帶通濾波器通過所述粘結構件而固定于所述光透過構件的內表面，

所述粘結構件配置于與所述光透過構件的所述內表面相對的所述帶通濾波器的光入射面的整個區域。

10.如權利要求8所述的光檢測裝置，其特征在于，

還具備以封擋所述開口的方式配置于所述第1壁部的所述內表面的光透過構件，

所述帶通濾波器通過所述粘結構件而固定于所述光透過構件的內表面，

所述粘結構件未配置于與所述光透過構件的所述內表面相對的所述帶通濾波器的光入射面中除了角區域的區域，而配置于所述角區域。